一种加热均匀的真空镀膜加热板制造技术

一种加热均匀的真空镀膜加热板，包括加热板本体，所述加热板本体由一个环形板构成的，所述环形板的外侧具有凸起的手柄部，所述手柄部的一侧设置有侧热组件，所述环形板的一侧设置有传热组件，所述传热组件的一端与加热组件进行连接；所述传热组件为一根长条的加热丝构成的，所述加热丝的起始端位于手柄部上，其尾端位于环形板上；所述加热丝的中部形成若干弧形段；所述测热组件为固定于手柄部上的双支热电偶，该双支热电偶包括设置于手柄部上的第一加热丝、第二加热丝和连接段，所述第一加热丝的一端与连接段连接，其连接段的另一端与加热组件连接，所述第二加热丝的一端与连接段，其另一端与加热组件进行连接。本技术具有加热均匀的优点。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及加热设备，尤其涉及到一种加热均匀的真空镀膜加热板。

技术介绍

1、加热板，是镀膜设备最常用的一种加热结构，且目前已成为常用的镀膜技术之一，通过加热器将底板加热，使得设备内的工艺气体升温到工艺温度，催化工艺气体附着到待镀工件上形成薄膜的过程。薄膜的厚度及均匀性与加热速度和镀膜时间等都有密切的关系。

2、现有技术中的加热板，主要是加热器组装到底板上的组装式结构，存在导热不太快速、且均匀性达不到工艺要求，研发一种加热均匀的真空镀膜加热板是急需解决的问题。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种加热均匀的真空镀膜加热板，该加热板加热速度更快、温度分布均匀，且连续使用的受命更长。

2、本技术为解决其技术问题所采用的技术方案是：

3、一种加热均匀的真空镀膜加热板，包括：

4、加热板本体，所述加热板本体由一个环形板构成的，所述环形板的外侧具有凸起的手柄部，所述手柄部的一侧设置有侧热组件，所述环形板的一侧设置有传热组件，所述传热组件的一端与加热组件进行连接。

5、在技术一或多个实施方式中，所述传热组件为一根长条的加热丝构成的，所述加热丝的起始端位于手柄部上，其尾端位于环形板上；所述加热丝的中部形成若干弧形段。

6、在技术一或多个实施方式中，所述测热组件为固定于手柄部上的双支热电偶，该双支热电偶包括设置于手柄部上的第一加热丝、第二加热丝和连接段，所述第一加热丝的一端与连接段连接，其连接段的另一端与加热组件连接，所述第二加热丝的一端与连接段，其另一端与加热组件进行连接。

7、在技术一或多个实施方式中，所述第一加热丝与第二加热丝的中部形成u型段，所述第一加热丝与第二加热丝的路径有部分相重叠。

8、在技术一或多个实施方式中，所述手柄部上开设有两个沉头孔，所述第一加热丝的外侧端位于其中一个沉头孔内。

9、在技术一或多个实施方式中，所述环形板上固定有若干组固定孔。

10、在技术一或多个实施方式中，所述手柄部与环形板的连接处形成圆角。

11、在技术一或多个实施方式中，所述环形板上还设置有若干热电偶，所述热电偶安装于加热丝上。

12、本技术的优点在于：

13、本技术通过改进加热器分区及排布结构，使得组装后的加热器能提高功率，从而达到加热速度快、温度补偿能力足且温度均匀的目的。

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【技术保护点】

1.一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述传热组件为一根长条的加热丝(3)构成的，所述加热丝(3)的起始端位于手柄部(2)上，其尾端位于环形板(1)上；所述加热丝的中部形成若干弧形段。

3.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述测热组件为固定于手柄部(2)上的双支热电偶，该双支热电偶包括设置于手柄部(2)上的第一加热丝(4)、第二加热丝(5)和连接段(6)，所述第一加热丝(4)的一端与连接段(6)连接，其连接段(6)的另一端与加热组件连接，所述第二加热丝(5)的一端与连接段(6)，其另一端与加热组件进行连接。

4.根据权利要求3所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述第一加热丝(4)与第二加热丝(5)的中部形成U型段，所述第一加热丝(4)与第二加热丝(5)的路径有部分相重叠。

5.根据权利要求3所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述手柄部(2)上开设有两个沉头孔(7)，所述第一加热丝(4)的外侧端位于其中一个沉头孔(7)内。

6.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述环形板(1)上固定有若干组固定孔(8)。

7.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述手柄部(2)与环形板(1)的连接处形成圆角(9)。

8.根据权利要求2所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述环形板(1)上还设置有若干热电偶，所述热电偶安装于加热丝(3)上。

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【技术特征摘要】

1.一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述传热组件为一根长条的加热丝(3)构成的，所述加热丝(3)的起始端位于手柄部(2)上，其尾端位于环形板(1)上；所述加热丝的中部形成若干弧形段。

3.根据权利要求1所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板，其特征在于：所述测热组件为固定于手柄部(2)上的双支热电偶，该双支热电偶包括设置于手柄部(2)上的第一加热丝(4)、第二加热丝(5)和连接段(6)，所述第一加热丝(4)的一端与连接段(6)连接，其连接段(6)的另一端与加热组件连接，所述第二加热丝(5)的一端与连接段(6)，其另一端与加热组件进行连接。

4.根据权利要求3所述的一种加热均匀的真空镀膜加热板...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏林，黄永杰，
申请(专利权)人：上海宏端精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：