用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法技术

本发明专利技术涉及加热器领域，公开了一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。本发明专利技术的用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，设有通孔和安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，位于通孔处，加热丝盘嵌入在底板的安装凹槽内，加热丝的端部穿设在通孔和固定法兰上，底板的顶面设有喷铝层，喷铝层用于覆盖加热丝。本发明专利技术的用于CVD镀膜的板状加热器，加热丝设置在底板的安装凹槽内，通过喷铝层覆盖，使用时加热丝不与工艺气体接触，不会被反应、腐蚀；加热丝通过喷铝层覆盖，加热器的厚度减薄至20mm左右，使加热器的厚度大大减小，降低了材料成本。降低了材料成本。降低了材料成本。

【技术实现步骤摘要】
用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法


[0001]本专利技术实施例涉及加热器领域，具体涉及一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法。

技术介绍

[0002]化学气相沉积，简称CVD(Chemical vapor deposition)，是一种化工技术，该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在中温或高温条件下，在衬底表面上进行化学反应以生成薄膜的方法，化学气相淀积已成为无机合成化学的一个新领域。
[0003]化学气相沉积(CVD)装置的反应器，通过电加热器加热。加热器的加热丝为不锈钢丝，为了防止工艺气体与不锈钢中的镍反应，需将加热丝密封在铝板中。
[0004]但现有技术中的用于CVD镀膜的加热器，加热丝布设在两块铝板之间，两块铝板之间通过焊接密封，使得加热器的厚度和重量增加，增加了材料成本。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种用于CVD镀膜的板状加热器及其加工方法，以解决上述
技术介绍
中的问题。
[0006]本专利技术实施例提供一种用于CVD镀膜的板状加热器，包括：底板、加热丝和固定法兰；
[0007]所述底板为铝材质的矩形板，所述底板设有通孔，所述底板的顶面设有安装凹槽；
[0008]所述固定法兰设置在所述底板的底面上，位于所述通孔处；
[0009]所述加热丝盘绕在所述底板上，嵌入在所述安装凹槽内，且所述加热丝的端部穿设在所述通孔和所述固定法兰上，用于与外部电源电性连接；
[0010]所述底板的顶面设有喷铝层，所述喷铝层用于覆盖所述加热丝。
[0011]基于上述方案可知，本专利技术的用于CVD镀膜的板状加热器，通过设置底板、加热丝和固定法兰，底板为铝材质的矩形板，底板的顶面设有安装凹槽，固定法兰设置在底板的底面上，加热丝嵌入在底板的安装凹槽内，加热丝的端部穿设在固定法兰上，底板的顶面设有喷铝层，加热丝被包裹在喷铝层内。本专利技术的用于CVD镀膜的板状加热器，加热丝设置在底板的安装凹槽内，通过喷铝层覆盖，使用时加热丝不与工艺气体接触，不会被反应、腐蚀；加热丝通过喷铝层覆盖，加热器的厚度减薄至20mm左右，使加热器的厚度大大减小，降低了材料成本。
[0012]在一种可行的方案中，所述喷铝层通过铝熔射的方法形成。
[0013]在一种可行的方案中，所述安装凹槽的深度大于所述加热丝的直径，使所述加热丝隐藏于所述安装凹槽内。
[0014]在一种可行的方案中，所述底板在所述安装凹槽的两侧设有凸出铆块，所述凸出铆块用于固定所述加热丝。
[0015]在一种可行的方案中，相邻的两个所述凸出铆块之间的距离为30mm。
[0016]在一种可行的方案中，所述加热丝包括：第一加热丝、第二加热丝和第三加热丝；
[0017]所述第一加热丝和所述第三加热丝分别设置在所述底板的中部和外侧，所述第二加热丝位于所述第一加热丝和第三加热丝之间，所述第一加热丝、所述第二加热丝和所述第三加热丝的密集度依次增大。
[0018]在一种可行的方案中，还包括：多个固定柱；
[0019]所述底板设有多个安装孔；
[0020]多个所述固定柱分别穿设在多个所述安装孔内，所述固定柱凸出于所述底板的底面，所述固定柱用于固定。
[0021]本专利技术实施例还提供一种用于CVD镀膜的板状加热器的加工方法，包括以下步骤：
[0022]S1提供底板；
[0023]S2在所述底板上加工通孔和安装凹槽；
[0024]S3在所述底板上铺设加热丝；
[0025]S4敲铆，在所述安装凹槽的两侧形成凸出铆块；
[0026]S5电弧喷铝，形成喷铝层。
[0027]在一种可行的方案中，在步骤S5之前，还包括：
[0028]S501对所述底板和所述加热丝喷砂。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本专利技术中的现有加热器的示意图；
[0031]图2为本专利技术实施例一中的用于CVD镀膜的板状加热器的示意图；
[0032]图3为本专利技术实施例一中的板状加热器的背面示意图；
[0033]图4为本专利技术实施例一中的图3中的局部放大图；
[0034]图5为本专利技术实施例一中的加热丝的安装示意图；
[0035]图6为本专利技术实施例一中的图5中的局部放大图；
[0036]图7为本专利技术实施例一中的板状加热器的剖视示意图；
[0037]图8为本专利技术实施例二中的板状加热器的加工流程图。
[0038]图中标号：
[0039]1、底板；11、通孔；12、安装凹槽；13、喷铝层；14、凸出铆块；15、固定柱；2、加热丝；21、第一加热丝；22、第二加热丝；23、第三加热丝；3、固定法兰；10、铝板、20加热丝。
具体实施方式
[0040]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员
在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0041]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0042]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，也可以是成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，也可以是通讯连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介的间接连接，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0043]下面以具体地实施例对本专利技术的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
[0044]如本申请
技术介绍
中的描述，化学气相沉积(CVD)装置的反应器，通过电加热器加热。加热器的加热丝为不锈钢丝，为了防止工艺气体与不锈钢中的镍反应，需将加热丝密封在铝板中。
[0045]本申请的专利技术人发现，现有技术中的用于CVD镀膜的加热本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于CVD镀膜的板状加热器，其特征在于，包括：底板、加热丝和固定法兰；所述底板为铝材质的矩形板，所述底板设有通孔，所述底板的顶面设有安装凹槽；所述固定法兰设置在所述底板的底面上，位于所述通孔处；所述加热丝盘绕在所述底板上，嵌入在所述安装凹槽内，且所述加热丝的端部穿设在所述通孔和所述固定法兰上，用于与外部电源电性连接；所述底板的顶面设有喷铝层，所述喷铝层用于覆盖所述加热丝。2.根据权利要求1所述的用于CVD镀膜的板状加热器，其特征在于，所述喷铝层通过铝熔射的方法形成。3.根据权利要求2所述的用于CVD镀膜的板状加热器，其特征在于，所述安装凹槽的深度大于所述加热丝的直径，使所述加热丝隐藏于所述安装凹槽内。4.根据权利要求3所述的用于CVD镀膜的板状加热器，其特征在于，所述底板在所述安装凹槽的两侧设有凸出铆块，所述凸出铆块用于固定所述加热丝。5.根据权利要求4所述的用于CVD镀膜的板状加热器，其特征在于，相邻的两个所述凸出铆块之间的距离为30mm。6.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐宏林，吴杰，黄永杰，
申请(专利权)人：上海宏端精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：