一种PCVD微波单元串联装置制造方法及图纸

一种PCVD微波单元串联装置，涉及通信及半导体制造技术领域。其包括多个微波单元和驱动单元，多个微波单元的微波反应腔首尾相连，形成用于供反应管穿设的反应通道，且驱动单元可以用于驱动多个微波单元同步转动，以调节反应通道的角度，本申请提供的PCVD微波单元串联装置，通过将多个微波单元的微波反应腔串连，显著增加了反应通道的总长度，避免将微波单元的微波腔体来回往复运动，提高了反应管的利用率，保证了沉积效果，解决了相关技术中需要将微波单元的微波腔体来回往复运动，导致反应管利用率低、沉积效果差、有效产出不高的问题，且在与驱动单元的配合下，通过调节反应通道的角度，解决了反应通道过长反应管不好穿设及拆卸的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及通信及半导体制造，特别涉及一种pcvd微波单元串联装置。

技术介绍

1、目前，大多数光纤厂pcvd沉积设备微波腔体通过来回往复运动，结合sicl4与o2微波加热的方式反应可以得到sio2，通常受微波传导机理限制，pcvd微波腔体很难做长，通常腔体长度在200毫米左右，然而参与的反应管长度一般可达到1800毫米长度，因此为将反应气体均匀沉积在管内壁，相关技术中，会将微波腔体往复来回运动，以使整根反应管能均匀沉积。

2、然而，目前的主要问题在于微波系统单元很重，通常80kg以上，且当运行到反应管两端时需要快速回头反向，因此反应腔体必需进行加减速，加减速段的速度是不均匀的，也导致此区域的反应效果不理想，无法提供有效产出；且采用上述的方法时，一般1800毫米的反应管，最后得到的有效棒长不超过1300毫米，损失较大；另外，由于反应管比微波腔体长很多，微波腔体需要来回运动，导致移动时反应管大部分裸露在腔体外部，在反应过程中存在冷却，容易导致内壁沉积不均匀、气泡等问题，进而导致管裂发生；最后，频繁加减速对于设备的冲击较大，加快了设备的损坏。

技术实现思路

1、本申请实施例提供一种pcvd微波单元串联装置，可以解决相关技术中需要将微波单元的微波腔体来回往复运动，导致反应管利用率低、沉积效果差、有效产出不高的问题。

2、第一方面，提供了一种pcvd微波单元串联装置，其包括：

3、多个微波单元，所述微波单元包括微波反应腔，多个所述微波反应腔首尾相连，以形成用于供反应管穿设的反应通道；

4、驱动单元，其与多个所述微波单元均相连，所述驱动单元用于驱动多个所述微波单元同步转动，以调节所述反应通道的角度。

5、结合第一方面，在一种实施方式中，所述驱动单元包括工作台，所述工作台上设有载台板，所述载台板与所述微波单元相连，所述工作台和载台板之间设有驱动组件，所述驱动组件用于驱动所述载台板转动，以带动所有所述微波单元同步转动。

6、结合第一方面，在一种实施方式中，所述驱动组件包括驱动电机，所述驱动电机设于所述工作台上，所述载台板的底部设有齿条件，所述齿条件与所述载台板和所述驱动电机均相连，所述驱动电机利用所述齿条件驱动所述载台板相对所述工作台转动。

7、结合第一方面，在一种实施方式中，位于端部的至少一所述微波单元的微波反应腔上设有第一传感器，所述第一传感器用于与设于其同侧的端头上的第二传感器匹配，以辅助所述驱动电机调节所述反应通道的角度。

8、结合第一方面，在一种实施方式中，所述工作台上设有环形导轨，所述环形导轨上滑设有至少一滑块，所述滑块与所述载台板相连。

9、结合第一方面，在一种实施方式中，多个所述微波单元沿竖直方向错位设置，以使多个所述微波反应腔首尾相连后形成水平设置的反应通道。

10、结合第一方面，在一种实施方式中，所述载台板上设有多个间隔设置的连接件，所述连接件用于连接所述载台板和位于上方的所述微波单元。

11、结合第一方面，在一种实施方式中，所述微波单元包括磁控管，所述磁控管上依次设有直波导、双向耦合器和弯波导，所述弯波导远离所述双向耦合器的一端与所述微波反应腔相连。

12、结合第一方面，在一种实施方式中，多个所述微波反应腔相邻的端部之间卡接和/或螺栓连接。

13、结合第一方面，在一种实施方式中，所述微波反应腔为金属材质。

14、本申请提供的技术方案带来的有益效果至少包括：

15、本申请实施例提供了一种pcvd微波单元串联装置，通过将多个微波单元的微波反应腔首尾相连，形成用于供反应管穿设的反应通道，且驱动单元可以用于驱动多个微波单元同步转动，以调节反应通道的角度，解决了相关技术中需要将微波单元的微波腔体来回往复运动，导致反应管利用率低、沉积效果差、有效产出不高的问题，本pcvd微波单元串联装置通过将多个微波单元的微波反应腔串连，显著增加了反应通道的总长度，避免将微波单元的微波腔体来回往复运动，提高了反应管的利用率，保证了沉积效果，且在与驱动单元的配合下，通过调节反应通道的角度，解决了反应通道过长后反应管不好穿设以及拆卸的问题。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于，其包括：

2.如权利要求1所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

3.如权利要求2所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

4.如权利要求3所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

5.如权利要求2所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

6.如权利要求2所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

7.如权利要求2所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

8.如权利要求1所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

9.如权利要求1所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

10.如权利要求1所述的一种PCVD微波单元串联装置，其特征在于：

【技术特征摘要】

1.一种pcvd微波单元串联装置，其特征在于，其包括：

2.如权利要求1所述的一种pcvd微波单元串联装置，其特征在于：

3.如权利要求2所述的一种pcvd微波单元串联装置，其特征在于：

4.如权利要求3所述的一种pcvd微波单元串联装置，其特征在于：

5.如权利要求2所述的一种pcvd微波单元串联装置，其特征在于：

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【专利技术属性】
技术研发人员：曾革胜，吕净宇，郭浩，张以登，
申请(专利权)人：烽火通信科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：