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一种PCVD微波单元串联装置，涉及通信及半导体制造技术领域。其包括多个微波单元和驱动单元，多个微波单元的微波反应腔首尾相连，形成用于供反应管穿设的反应通道，且驱动单元可以用于驱动多个微波单元同步转动，以调节反应通道的角度，本申请提供的PCV...
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