【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体设备，特别是涉及热电偶的清洗冶具及清洗装置。
技术介绍
1、半导体加工过程中需采用热电偶进行温度传感工作。为保证热电偶测温的准确，需保持热电偶的清洁，故需对热电偶及时进行清洗。
2、由于热电偶是由石英套管和尾部的电源线组成，电源线不能触碰氢氟酸清洗液，对热电偶清洗时，只能清洗热电偶的石英套管。由于热电偶具有上述结构及清洗要求，目前业内所使用的洗管机都不能用于对热电偶进行清洗，只能清洗石英件和石英管。因此，如何实现热电偶的清洗成为亟需解决的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述问题，提供一种热电偶的清洗冶具以及热电偶的清洗装置，具有能够实现热电偶进行清洗的优点。
2、根据一些实施例，第一方面，本申请提供一种热电偶的清洗冶具，热电偶包括套管以及电源线；套管呈l型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；电源线设置于竖直套管远离水平套管的一端；热电偶的清洗冶具包括冶具主体，水平夹具以及竖直夹具，冶具主体包括水平部以及竖直部，水平部与竖直部的端部固定连接...
【技术保护点】
1.一种热电偶的清洗冶具，所述热电偶包括套管以及电源线；所述套管呈L型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；所述电源线设置于所述竖直套管远离所述水平套管的一端；其特征在于，所述热电偶的清洗冶具包括：
2.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述竖直夹具的顶面低于所述竖直套管的顶面。
3.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平部与所述竖直部相互垂直。
4.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平套管的形状和所述竖直套管的形状均为圆柱形；所述竖直夹具的形状与所述水平夹具形状均为具有缺口的
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【技术特征摘要】
1.一种热电偶的清洗冶具，所述热电偶包括套管以及电源线；所述套管呈l型，包括相连接的水平套管以及竖直套管；所述电源线设置于所述竖直套管远离所述水平套管的一端；其特征在于，所述热电偶的清洗冶具包括：
2.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述竖直夹具的顶面低于所述竖直套管的顶面。
3.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平部与所述竖直部相互垂直。
4.根据权利要求1所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平套管的形状和所述竖直套管的形状均为圆柱形；所述竖直夹具的形状与所述水平夹具形状均为具有缺口的环形。
5.根据权利要求4所述的热电偶的清洗冶具，其特征在于，所述水平夹具和所述竖直夹具均为弹性夹具。
6.根据权利要求5所...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘恒，
申请(专利权)人：上海积塔半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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