【技术实现步骤摘要】
本技术涉及集成电路,特别是涉及一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备。
技术介绍
1、集成电路是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构。
2、已知申请号为:cn202020282266.0的授权专利,其公开了一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,包括承物台,所述承物台下方设有支腿,所述承物台上方设有柜体,所述柜体顶部设有贯穿柜体内壁的第一安装槽,所述第一安装槽内设有第一电机,所述第一电机输出轴末端穿出第一安装槽并固定连接有主杆,所述主杆上滑动套接有中空圆环。该方案能自动的将金属碎屑从芯片上的元件缝隙内清除,避免工人与芯片直接接触而损坏芯片,也能自动清理从芯片上掉落的金属碎屑,降低了工人的工作量,提高了工作效率。
3、然而在实施相关技术中发现上述方案存在以下问题:其在使用时,清理的质量效果较差,其仅依靠风力吹落碎屑进行清理,不便于对芯片上附着的油污渍、指纹和
...【技术保护点】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述喷洒机构包括固定安装在安装板(3)顶部另一侧的储液箱(9)与固定安装在储液箱(9)一侧的泵体(10),所述泵体(10)的输出端穿过安装板(3)固定连接有喷洒管(11)。
3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述储液箱(9)的顶部一侧固定安装有注液管,所述泵体(10)的输入端延伸至储液箱(9)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设
...【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述喷洒机构包括固定安装在安装板(3)顶部另一侧的储液箱(9)与固定安装在储液箱(9)一侧的泵体(10),所述泵体(10)的输出端穿过安装板(3)固定连接有喷洒管(11)。
3.根据权利要求2所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述储液箱(9)的顶部一侧固定安装有注液管,所述泵体(10)的输入端延伸至储液箱(9)的内部。
4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设备,其特征在于,所述移动机构包括转动连接在无尘箱(1)内顶部内壁两侧之间的螺杆(12)与固定安装在无尘箱(1)内顶部内壁两侧之间且位于螺杆(12)两侧的导杆(13)、螺纹连接在螺杆(12)表面并和导杆(13)相滑动连接的安装块(14)、以及设在无尘箱(1)一侧的驱动件。
5.根据权利要求4所述的一种用于集成电路芯片的自动化清洁设...
【专利技术属性】
技术研发人员:李强,余文武,毛志信,
申请(专利权)人:芯创天门电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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