【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆制造领域，更具体地，本专利技术涉及一种晶圆烘烤的热排系统；本专利技术还涉及一种热排方法。
技术介绍
1、涂胶设备热板烘烤是半导体制造工艺中的重要步骤，晶圆在涂覆光阻材料后，需要放入烘烤设备中进行高温烘烤。通常情况下，机械手首先将涂布光阻的晶圆送入热板单元，之后密封盖下降与热板形成封闭工艺腔体环境，热板按照设置的温度进行加热，在加热过程中受热光阻产生的大量挥发物主要由密封盖的热排系统排出。待烘烤工艺结束后，升起密封盖，晶圆表面少量的残留挥发物由厂务热排抽走，机械手将晶圆传送至冷板静置冷却，完成烘烤工艺。
2、在加热烘烤的过程中，需要将烘烤后产生的大量有机蒸汽排出。烘烤的温度越高，则产生的有机蒸汽越多。现有的涂胶设备热板烘烤单元的热排系统无法满足高温下对有机挥发物的环境控制要求，有机蒸汽会冷凝，极易在晶圆表面形成大量的球形缺陷(<1um的球形缺陷)，影响产品的良率。尤其是在设备维护周期的后期，由于容腔内壁存在沉积物，大概率会在晶圆表面形成球形缺陷。而且高温工艺中大量球形缺陷无法用增加有限的厂务热排来解决。
3、另外，现有技术中，各热板单元的环境用压强来表征好坏，不能准确反映热排对环境的抽风能力。热板烘烤各腔室整体与厂务系统热排连接，调节能力有限。
技术实现思路
1、本专利技术为了解决现有技术中晶圆高温烘烤时容易在晶圆表面形成球形缺陷的问题，提供了一种晶圆烘烤的热排系统及晶圆烘烤的热排方法。
2、根据本专利技术的第一方面，提供了
3、至少一个腔室，所述腔室内设置有机台，所述机台上用于安装热板；
4、至少一个集风单元，所述集风单元具有集风腔，所述集风腔的入口设置在机台上邻近热板的位置；
5、热排管路单元，所述热排管路单元的一端与所述集风腔的出口连通，另一端通过排风扇与厂务热排管道连通。
6、在本专利技术一个实施方式中，所述集风腔的入口具有与热板的至少部分外轮廓相适配的形状，所述集风腔的入口被构造为环绕所述热板的部分外轮廓设置。
7、在本专利技术一个实施方式中，所述集风单元整体呈扁平的l形结构，其包括近似水平向所述热板方向延伸的水平段，垂直于该水平段的垂直段，以及连接所述水平段和垂直段且呈圆弧状的过渡段；所述集风腔的入口设置在水平段上，出口设置在垂直段。
8、在本专利技术一个实施方式中，所述水平段由过渡段至其入口的位置呈喇叭状的扩口结构。
9、在本专利技术一个实施方式中，在所述集风腔的水平段设置有匀风板，从所述入口进入到集风腔中的气流被配置为经过所述匀风板后流出。
10、在本专利技术一个实施方式中，所述集风腔中位于匀风板的后方设置有风速测量组件，所述风速测量组件被配置为测量经过匀风板之后的气流的风速。
11、在本专利技术一个实施方式中，在所述垂直段还设置有过滤片，所述集风腔的垂直段设置有插口，所述过滤片以可插接的形式从所述插口插入垂直段中，以对流过的气流进行过滤。
12、在本专利技术一个实施方式中，所述过渡段的外壁设置有散热片。
13、在本专利技术一个实施方式中，所述机台上位于热板外侧的位置还设置有呈圆弧状的导风墙，所述导风墙被配置为用于将气流导入集风腔的入口。
14、在本专利技术一个实施方式中，所述导风墙设置有至少两个，两个所述导风墙分别位于集风腔入口的两侧。
15、在本专利技术一个实施方式中，所述热排管路单元包括弯管，所述弯管被构造为可拆卸地安装在所述热排管路单元中，所述弯管被构造为采用透明材质，或者具有透明视窗。
16、在本专利技术一个实施方式中，每个所述集风单元对应一个热板，每个集风单元通过各自的热排管路单元连通到厂务热排管道。
17、在本专利技术一个实施方式中，还包括控制单元，所述控制单元基于集风腔中风速测量组件测量的风速信息，向所述排风扇发出相应的控制指令。
18、在本专利技术一个实施方式中，还包括气体过滤器，所述气体过滤器被构造为将过滤后的气流送入到所述腔室中。
19、在本专利技术一个实施方式中，还包括气体过滤器，所述气体过滤器被构造为将过滤后的气体送入到所述腔室中。
20、根据本专利技术的第二方面，还提供了一种晶圆烘烤的热排方法，由上述的热排系统实施，包括：
21、将热板盖体与机台扣合在一起，晶圆在密封腔中的热板上进行烘烤，同时热板盖体上的风道对密封腔中的蒸汽进行抽取；
22、在热板盖体打开的过程中，集风单元周围的蒸汽通过入口进入到集风腔中，并通过受控于排风扇的热排管路单元进入到厂务热排管道中进行排放。
23、本专利技术的热排系统及热排方法，当热板盖体打开后，高温的有机蒸汽在从密封腔扩散出来由于遇冷而冷凝之前，便会被集风腔的入口吸入，通过热排管路单元进入厂务热排管道中进行排放。由此可避免残留挥发物在晶圆表面形成球形缺陷，提高了产品的良率。同时采用集风单元及时将热板盖体打开后扩散的残留的挥发物排放掉，也可以减少挥发物在热板盖体及热板上的冷凝，这延长了设备的维护周期，提高了设备的在线时间，由此提高了产率。
24、通过以下参照附图对本专利技术的示例性实施例的详细描述，本专利技术的其它特征及其优点将会变得清楚。
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1.一种晶圆烘烤的热排系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述集风腔的入口具有与热板(80)的至少部分外轮廓相适配的形状，所述集风腔的入口被构造为环绕所述热板(80)的部分外轮廓设置。
3.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述集风单元(4)整体呈扁平的L形结构，其包括近似水平向所述热板(80)方向延伸的水平段(40)，垂直于该水平段(40)的垂直段(41)，以及连接所述水平段(40)和垂直段(41)且呈圆弧状的过渡段(42)；所述集风腔的入口设置在水平段(40)上，出口设置在垂直段(41)。
4.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，所述水平段(40)由过渡段(42)至其入口的位置呈喇叭状的扩口结构。
5.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，在所述集风腔的水平段(40)设置有匀风板(44)，从所述入口进入到集风腔中的气流被配置为经过所述匀风板(44)后流出。
6.根据权利要求5所述的热排系统，其特征在于，所述集风腔中位于匀风板(44)的后方设置有风速测量组件(45)
7.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，在所述垂直段(41)还设置有过滤片(46)，所述集风腔的垂直段(41)设置有插口(47)，所述过滤片(46)以可插接的形式从所述插口(47)插入垂直段(41)中，以对流过的气流进行过滤。
8.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，所述过渡段(42)的外壁设置有散热片(43)。
9.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述机台(8)上位于热板(80)外侧的位置还设置有呈圆弧状的导风墙(9)，所述导风墙(9)被配置为用于将气流导入集风腔的入口。
10.根据权利要求9所述的热排系统，其特征在于，所述导风墙(9)设置有至少两个，两个所述导风墙(9)分别位于集风腔入口的两侧。
11.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述热排管路单元(5)包括弯管(51)，所述弯管(51)被构造为可拆卸地安装在所述热排管路单元(5)中，所述弯管(51)被构造为采用透明材质，或者具有透明视窗。
12.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，每个所述集风单元(4)对应一个热板(80)，每个集风单元(4)通过各自的热排管路单元(5)连通到厂务热排管道(7)。
13.根据权利要求1至12任一项所述的热排系统，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元基于集风腔中风速测量组件(45)测量的风速信息，向所述排风扇(6)发出相应的控制指令。
14.根据权利要求1至12任一项所述的热排系统，其特征在于，还包括气体过滤器(2)，所述气体过滤器(2)被构造为将过滤后的气流送入到所述腔室(1)中。
15.一种晶圆烘烤的热排方法，由根据权利要求1至14任一项所述的热排系统实施，其特征在于，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘烤的热排系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述集风腔的入口具有与热板(80)的至少部分外轮廓相适配的形状，所述集风腔的入口被构造为环绕所述热板(80)的部分外轮廓设置。
3.根据权利要求1所述的热排系统，其特征在于，所述集风单元(4)整体呈扁平的l形结构，其包括近似水平向所述热板(80)方向延伸的水平段(40)，垂直于该水平段(40)的垂直段(41)，以及连接所述水平段(40)和垂直段(41)且呈圆弧状的过渡段(42)；所述集风腔的入口设置在水平段(40)上，出口设置在垂直段(41)。
4.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，所述水平段(40)由过渡段(42)至其入口的位置呈喇叭状的扩口结构。
5.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，在所述集风腔的水平段(40)设置有匀风板(44)，从所述入口进入到集风腔中的气流被配置为经过所述匀风板(44)后流出。
6.根据权利要求5所述的热排系统，其特征在于，所述集风腔中位于匀风板(44)的后方设置有风速测量组件(45)，所述风速测量组件(45)被配置为测量经过匀风板(44)之后的气流的风速。
7.根据权利要求3所述的热排系统，其特征在于，在所述垂直段(41)还设置有过滤片(46)，所述集风腔的垂直段(41)设置有插口(47)，所述过滤片(46)以可插接的形式从所述插口(47)插入垂直段(41)中，以对流过的气流...
【专利技术属性】
技术研发人员：何军，崔澎，
申请(专利权)人：北方集成电路技术创新中心北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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