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本发明涉及一种晶圆烘烤的热排系统及热排方法，腔室内设置有机台，所述机台上用于安装热板；集风单元具有集风腔，所述集风腔的入口设置在机台上邻近热板的位置；热排管路单元的一端与所述集风腔的出口连通，另一端通过排风扇与厂务热排管道连通。本发明的热排...
该专利属于北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司授权不得商用。

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