【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体,特别涉及一种波导测试链路的绘制方法、装置及电子设备。
技术介绍
1、波导是硅基光电子学中一种无源器件,可以作为光信号的传输通道,波导类型包括直波导、弯曲波导和锥型波导。由于单个波导器件的波导传输损耗较低,一旦波导传输损耗的准确度较低,则对于包括大量波导器件的芯片,受干扰影响后芯片传输损耗偏差较大。通常的,可以设计波导测试链路(其中包括大量重复波导器件),通过测试波导测试链路中的传输损耗,进而单个波导器件的确定波导传输损耗,以此提高波导传输损耗的准确度,进而降低芯片传输损耗。
2、在相关技术中,如果波导传输损耗小于0.01db,测试波导测试链路中可能包括至少100个波导器件,可以通过手动方式绘制测试波导测试链路。假设测试波导测试链路为弯曲波导级联结构,首先,如图1中的(a)所示,确定波导器件的波导参数(包括内径、外径和波导宽度);然后,如图1中的(b)所示,根据波导参数绘制四个旋转方向不同的波导器件;接下来,如图1中的(c)所示,将四个旋转方向不同的波导器件拼成一个周期重复弯曲波导单元;接下来,如图1中的(d
...【技术保护点】
1.一种波导测试链路的绘制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述波导特征参数包括波导函数、波导长度和至少一个波导宽度;所述链路特征参数包括波导起始位置、波导数量、链路行数、链路列数和行间距。
3.根据权利要求2所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述符合预置条件包括以下至少一项:所述波导长度大于0;所述波导宽度大于0;所述波导数量为所述至少一个波导器件的整数倍;所述链路行数为偶数;在所述波导函数为直线函数的情况下,所述行间距大于所述至少一个波导宽度的宽度平均值;在所述波导函数为曲线的情况
...【技术特征摘要】
1.一种波导测试链路的绘制方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述波导特征参数包括波导函数、波导长度和至少一个波导宽度;所述链路特征参数包括波导起始位置、波导数量、链路行数、链路列数和行间距。
3.根据权利要求2所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述符合预置条件包括以下至少一项:所述波导长度大于0;所述波导宽度大于0;所述波导数量为所述至少一个波导器件的整数倍;所述链路行数为偶数;在所述波导函数为直线函数的情况下,所述行间距大于所述至少一个波导宽度的宽度平均值;在所述波导函数为曲线的情况下,所述行间距大于所述波导函数的最大值与最小值的差值。
4.根据权利要求2所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述根据所述波导特征参数,确定周期性重复的第一波导单元,包括:
5.根据权利要求2所述的波导测试链路的绘制方法,其特征在于,所述根据波导互连规则,确定行间互连的...
【专利技术属性】
技术研发人员:申鑫鹏,高颖,
申请(专利权)人:北方集成电路技术创新中心北京有限公司,
类型:发明
国别省市:
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