【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及精密光路调制领域，具体涉及一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜及方法。
技术介绍
1、精密偏摆镜是光路调制领域的关键执行部件，在光机器件控制光束、航天器姿态稳定及微角度测量等方面具有重要的应用价值。现有的技术中，采用柔性机构设计的偏摆镜多采用音圈电机结合胡克铰链的方式实现精密偏摆运动，并且由于其并联的机构特点，导致轴间耦合问题较为严重。
2、混合磁阻驱动器具有电极常数大，响应快，行程大的优点。其提供的麦克斯韦力虽具有较大的非线性特点，通过搭配永磁体形成永磁回路能够大大的减轻驱动器的非线性输出特点。但基于混合磁驱动器通常用于平面多轴运动和快刀伺服机构中，但现有利用混合磁驱动器的设备应用于精密偏摆镜时，仍存在因并联导致轴间耦合较为严重的问题，使得精密偏摆镜难以实现所需的精密控制。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对现有技术存在的缺陷，提供一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜及方法，设置内框和外框的嵌套结构，并分别通过连接臂接入驱动组件的电枢，由驱动组件分别驱动内框和外框的动作，利用混合磁阻力驱动件提高驱动行程和响应效率，实现不同方向偏摆动作的串联，削弱轴间耦合问题，提高调节精度，满足精密偏摆镜的调节需求。
2、本专利技术的第一目的是提供一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜，采用以下方案：
3、包括：
4、框架组件，包括内框和套设于内框外的外框，偏摆镜片设于内框，内框通过第一转轴连接外框，外框通过轴线垂直于第一转轴的第二转轴连接固定板；
...【技术保护点】
1.一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述驱动组件包括永磁体环、磁轭和线圈绕组，磁轭呈C型并在C型的开口处形成驱动部，永磁体环呈矩形环，四个磁轭分别对应分布在永磁体环的四个角位置，线圈绕组绕设于磁轭，电枢一端延伸至驱动部内。
3.如权利要求2所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述永磁体环穿过C型的磁轭内部，同一磁轭上的两组线圈绕组布设于永磁体环的两侧。
4.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述第一转轴和第二转轴为柔性枢轴，第一转轴轴线两侧分别设有第二转轴，第二转轴轴线两侧分别设有第一转轴，第一转轴轴线和第二转轴轴线共面且正交。
5.如权利要求4所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，连接于外框的两根外连接臂相对于第二转轴轴线对称布置，连接于内框的两根内连接臂相对于第一转轴轴线对称布置。
6.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述内连接臂和外连接臂分别连接有位移传感器，内连接臂跨过外框连接
7.如权利要求6所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，还包括底座，固定板、驱动组件分别安装于底座，底座上设有位于外框外的安装板，位移传感器安装于安装板。
8.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述内连接臂所连接的电枢为杆状电枢，沿轴向深入驱动部。
9.一种如权利要求1-8中任一项所述混合磁阻力直驱精密偏摆镜的工作方法，其特征在于，包括：
10.如权利要求9所述混合磁阻力直驱精密偏摆镜的工作方法，其特征在于，驱动部为驱动组件形成的间隙结构，保持电枢与驱动组件的其他部件相离。
...【技术特征摘要】
1.一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述驱动组件包括永磁体环、磁轭和线圈绕组，磁轭呈c型并在c型的开口处形成驱动部，永磁体环呈矩形环，四个磁轭分别对应分布在永磁体环的四个角位置，线圈绕组绕设于磁轭，电枢一端延伸至驱动部内。
3.如权利要求2所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述永磁体环穿过c型的磁轭内部，同一磁轭上的两组线圈绕组布设于永磁体环的两侧。
4.如权利要求1所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，所述第一转轴和第二转轴为柔性枢轴，第一转轴轴线两侧分别设有第二转轴，第二转轴轴线两侧分别设有第一转轴，第一转轴轴线和第二转轴轴线共面且正交。
5.如权利要求4所述的混合磁阻力直驱精密偏摆镜，其特征在于，连接于外框的两根外连接臂相对于第二转轴轴线对称布置，连接于内框的两根内连接臂相对于...
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