下载一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜及方法的技术资料

文档序号:41060770

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本发明提供一种混合磁阻力直驱精密偏摆镜及方法,涉及精密光路调制领域,针对目前精密偏摆镜轴间耦合严重影响调节精度的问题,设置内框和外框的嵌套结构,并分别通过连接臂接入驱动组件的电枢,由驱动组件分别驱动内框和外框的动作,利用混合磁阻力驱动件提高...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。

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