【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及人工晶体材料制备领域，具体涉及一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置。
技术介绍
1、人工晶体炉是制备人工晶体材料时的专用设备，其中人工晶体炉的核心技术为如何控制坩埚内熔液的温度梯度，也就是说在人工晶体材料制备时如何提供一个合适的热场是其中的关键技术之一。
2、专利技术人通过检索发现，采用直拉法拉制硅棒的技术已经非常成熟，并在人工晶体制备领域得到了广泛的应用，但是现有直拉法在拉制硅棒时，首先将硅料放置在坩埚内，然后启动加热器对坩埚内的硅料进行加热，此时，由于现有结构的环状加热器套接在坩埚的外围，在对坩埚加热时，热量是从坩埚的埚壁向坩埚的中心传递，坩埚的埚壁因靠近加热器，坩埚的中心部位远离加热器，因此坩埚的温度分布为自坩埚的内侧壁至坩埚的中心部位逐渐降低(这是本领域的技术常识)，也就是说离加热器越近，温度越高，待坩埚内的硅料熔化后，设置在坩埚中心部位上方的上提拉机构带动一根籽晶下降，当籽晶的下端头与坩埚内的熔液接触并熔为一体，此时为了确保熔液能跟随籽晶上升，通过降低加热器的加热功率，增大熔液的粘稠度(因直拉法...
【技术保护点】
1.一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，包括侧加热器(5)、保温板、下加热器(9)、下加热器升降电极(10)、下轴(13)、坩埚(18)和侧加热器电极(20)，所述坩埚(18)设置在炉体内，坩埚(18)的下面连接下轴(13)，在坩埚(18)的外围设有侧加热器(5)，所述侧加热器(5)连接侧加热器电极(20)，在坩埚(18)的下方设有下加热器(9)，所述下加热器(9)连接下加热器升降电极(10)，在下加热器(9)的下方设有上下升降的保温板。
2.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，通过保温板隔离下加热器...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，包括侧加热器(5)、保温板、下加热器(9)、下加热器升降电极(10)、下轴(13)、坩埚(18)和侧加热器电极(20)，所述坩埚(18)设置在炉体内，坩埚(18)的下面连接下轴(13)，在坩埚(18)的外围设有侧加热器(5)，所述侧加热器(5)连接侧加热器电极(20)，在坩埚(18)的下方设有下加热器(9)，所述下加热器(9)连接下加热器升降电极(10)，在下加热器(9)的下方设有上下升降的保温板。
2.根据权利要求1所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，通过保温板隔离下加热器(9)的热量散失形成所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置。
3.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板的外径与炉体的内壁或炉体内壁上的保温筒(3)接近将炉体分割为上下两个腔体。
4.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板的直径小于所述炉体的内壁的直径；或者，所述保温板的直径小于所述炉体内壁上的保温筒(3)的直径。
5.根据权利要求2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述坩埚(18)的下面连接坩埚托盘(14)，坩埚托盘(14)的下端面连接下轴(13)。
6.根据权利要求5所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述坩埚托盘(14)的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒(15)。
7.根据权利要求2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述坩埚(18)的下面设有至少一层向下延伸的上保温筒(15)。
8.根据权利要求1、2、6或7中任一项所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板的上面设有至少一层向上延伸的下保温筒(16)，下加热器(9)处于下保温筒(16)内。
9.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述下加热器升降电极(10)的外缘面上套接有保温板支撑管(11)，在下加热器(9)下方的保温板支撑管(11)上设有保温板；
10.根据权利要求9所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板支撑管(11)下端头的内缘面与下加热器升降电极(10)外缘面之间设有绝缘隔套(12)。
11.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板包括保温盘体(6)、盖板(7)和保温材料(8)，在所述保温盘体(6)的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔，在保温盘体(6)的开口端设有盖板(7)，在保温盘体(6)内的腔体内设有保温材料(8)。
12.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述保温板为至少一层石墨板、石墨毡或碳碳复合板，在保温板的上面设有下轴穿孔，在所述下轴穿孔的外围设有下加热器升降电极穿孔。
13.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述炉体的内壁设有侧壁保温层(4)，在侧壁保温层(4)的内缘面设有保温筒(3)，在炉体的炉底上设有底部保温层(1)，在底部保温层(1)的上面设有底部石墨板(2)。
14.根据权利要求1或2所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述炉体设置在机架的上面，在所述机架内设有用于下加热器升降电极(10)升降和下轴(13)升降及旋转的升降装置(22)。
15.根据权利要求14所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述下加热器升降电极(10)及下轴(13)的下端头分别连接设置在炉体下方升降装置(22)中的升降板。
16.根据权利要求14所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述升降装置(22)包括下加热器升降电极(10)、导向件、升降支撑座(2214)、升降板(2215)、升降机构、下轴(13)和升降滑块(22115)，在所述升降支撑座(2214)的立板上设有至少一根导向件，在每根导向件上分别设有升降滑块(22115)，在升降支撑座(2214)的底板上设有升降机构，升降机构中的升降器连接升降板(2215)形成升降单元，所述升降单元连接升降滑块(22115)，在升降板(2215)上设有下轴(13)，在下轴(13)外围的升降板(2215)上设有至少两个下加热器升降电极(10)，所述下轴(13)及两下加热器升降电极(10)的上端头穿过炉底分别连接坩埚和下加热器形成所述的用于人工晶体炉中下加热器与下轴的升降装置。
17.根据权利要求16所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述导向件为导轨(2213)或导向光柱。
18.根据权利要求16所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述升降机构为螺旋升降机(2216)或电动推杆。
19.根据权利要求18所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述螺旋升降机(2216)为丝杠升降型螺旋升降机或螺母升降型螺旋升降机。
20.根据权利要求19所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述螺旋升降机(2216)设置为丝杠升降型螺旋升降机时，螺旋升降机(2216)中的升降器为升降箱体，升降箱体的动力输入轴连接升降电机。
21.根据权利要求19所述的提高人工晶体炉中坩埚中部熔液温度的装置，其特征在于，所述螺旋升降机(2216)设置为螺母升降型螺旋升降机时，螺旋升降机(2216)中的升降器为升降螺母，所述螺旋升降机(2216)的第一动力输入轴连接快速升降电机(2217)，螺旋升降机(2216)的第二动力输入轴连接慢速升降减速机(22116)的动力输出轴，所述慢速升降减速...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱振业，
申请(专利权)人：洛阳长缨新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。