【技术实现步骤摘要】
本技术涉及人工晶体炉，尤其涉及一种用于晶体炉的阀门清理装置。
技术介绍
1、以多/单晶硅为例，多/单晶硅在整个生产过程中，受坩埚容量的限制，当坩埚内的原料拉制完毕后，必须停炉(逐渐降低加热器的加热功率，当炉内的温度降低到室温后，打开炉室)，取出拉制好的晶棒，然后往坩埚内重新放入原料，原料放入后，启动电源，对坩埚重新加热，当坩埚内的原料熔化后开始新一轮晶棒的拉制，大大降低了生产的效率，本申请人为了进一步提高晶体炉的生产效率，提出了一种用于人工晶体炉的加料装置(申请号为202322659033.4)，该申请通过在立柱上设置升降机构和旋转机构，并通过升降机构和旋转机构来驱动加料筒的升降和旋转，可以实现在不停炉的状态下往坩埚内添加原料，有效的提高了生产效率等。
2、上述专利申请在实际应用中发现，在加料过程中，碎料通过石英托与石英筒之间的间隙流入坩埚内部，由于碎料颗粒度较小，且处于热场内部，部分料粉尘会上扬从上面掉落在阀门的密封环处，而密封环处为旋板阀密封，粉尘的存在在一定程度上会影响旋板阀的密封性能，从而造成设备的故障率提高等。p>
3、那么如本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶体炉的阀门清理装置，包括加料机构(1)、阀门主体(3)和气体分流环(8)，其特征是：在所述加料机构(1)的下端头或阀门主体(3)的上端头设有气体分流环(8)，所述气体分流环(8)的中部设有进气腔(7)，所述进气腔(7)的下面间隔设有复数个吹气口，每个吹气口的出气端分别对应阀门主体(3)上的阀门密封环(9)，进气腔(7)连通外部气源。
2.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述每个吹气口的出气端分别设有吹气嘴(11)。
3.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述每个吹气口的出气端分别设有吹
【技术特征摘要】
1.一种用于晶体炉的阀门清理装置，包括加料机构(1)、阀门主体(3)和气体分流环(8)，其特征是：在所述加料机构(1)的下端头或阀门主体(3)的上端头设有气体分流环(8)，所述气体分流环(8)的中部设有进气腔(7)，所述进气腔(7)的下面间隔设有复数个吹气口，每个吹气口的出气端分别对应阀门主体(3)上的阀门密封环(9)，进气腔(7)连通外部气源。
2.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述每个吹气口的出气端分别设有吹气嘴(11)。
3.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述每个吹气口的出气端分别设有吹气管(10)。
4.根据权利要求1或2任一权利要求所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述每个吹气口的出气端与吹气嘴(11)之间分别设有吹气管(10)。
5.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清理装置，其特征是：所述气体分流环(8)设置在加料机构(1)的下端头时，气体分流环(8)的上端面连接加料机构(1)上加料机构下法兰(2)的下面，气体分流环(8)的第一结构为气体分流环(8)为环形结构，在气体分流环(8)的上面设有向下凹陷的环形槽，在环形槽的开口端设有盖板使环形槽形成一个密闭的腔体，所述密闭的腔体为进气腔(7)，在进气腔(7)的下底面间隔设有复数个吹气口，在进气腔(7)的侧壁上设有贯通至加料机构下法兰(2)外缘面的进气孔，所述进气孔的外端头连接进气口(5)，所述进气口(5)连接气源。
6.根据权利要求1所述的用于晶体炉的阀门清...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘朝轩，范飞，邵玮，蔺红辉，王兴龙，
申请(专利权)人：洛阳长缨新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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