【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体运输，尤其涉及一种用于运输晶舟盒的运输车。
技术介绍
1、晶圆是硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，而晶舟盒则是用来周转和存储加工后晶圆的工具，常被称为晶片载体。由于晶圆的娇贵特性，晶圆对环境的要求很高，比如：一般情况下，晶圆需要在湿度为四十度至六十度的无尘环境下才能开拆查验。在运输过程中，需要保证晶圆不会因为振动而出现破片、裂片的情况。
2、晶舟盒主要通过运输推车进行运输。现有的用于运输晶舟盒的运输推车，多为开放式的，一般需要先将晶圆放置在晶舟盒，再将晶舟盒进行铝箔袋真空包装，外部再用泡沫纸箱包装。不仅操作麻烦，而且运输成本高。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的上述不足，本技术所要解决的技术问题在于：提出一种使用便捷、运输成本低，且适用范围广的用于运输晶舟盒的运输车。
2、本技术解决其技术问题采用的技术方案是，提出一种用于运输晶舟盒的运输车，所述晶舟盒可供晶圆存放，所述运输车包括：
3、存放箱和箱门，所述箱门可开启和关闭地设置在所述存放箱上，且当所述箱门开启时，所述晶舟盒可被装入至所述存放箱中；当所述箱门关闭时，所述箱门和所述存放箱围成一密封存放空间；所述存放箱上设有可供气体充入的气体充入口；
4、行走轮，设置在所述存放箱的底部。
5、进一步地，所述存放箱中设有用于检测所述存放箱内湿度的湿度传感器。
6、进一步地，所述存放箱设有开口，所述晶舟盒可从所述开口被装入至所述存放箱中，所述箱门活动地
7、所述存放箱上沿所述开口的周向设有一密封圈，当所述箱门关闭时，所述箱门与所述密封圈相抵；或者，所述箱门上设有一密封圈，当所述箱门关闭时，所述密封圈围于所述开口的周向，且与所述存放箱相抵。
8、进一步地，所述存放箱中设有置物架，且所述置物架可升降运动地设置在所述存放箱中；
9、当所述晶舟盒装入至所述存放箱中后，所述晶舟盒被所述置物架支撑，且可被夹持固定在所述置物架和所述存放箱之间。
10、进一步地，所述存放箱中沿其高度方向设有导轨，所述置物架可升降运动地设置在所述导轨上；
11、所述置物架上设有锁止件，且所述锁止件可将所述置物架锁止在所述导轨上，当所述锁止件将所述置物架解锁后，所述置物架可沿所述导轨升降运动。
12、进一步地，所述置物架具有导滑块，所述导滑块可升降运动地设置在所述导轨上；
13、所述导滑块上设有螺纹孔，所述锁止件包括螺纹杆，所述螺纹杆活动地设置在所述螺纹孔中；且所述螺纹杆可穿过所述螺纹孔抵在所述导轨上，以将所述置物架锁止在所述导轨上。
14、进一步地，所述螺纹杆上设有手柄，顺时针转动所述手柄，可将所述置物架锁止在所述导轨上；逆时针转动所述手柄，可将所述置物架从所述导轨上解锁。
15、进一步地，所述存放箱中具有若干横向隔板，若干所述横向隔板将存放箱的存放空间分隔成多层，且每层设有多个所述置物架。
16、进一步地，所述存放箱的两侧设有固定座，所述固定座用于将所述存放箱固定于货运车中；所述固定座具有开口朝上的u形槽。
17、进一步地，所述存放箱上设有显示器，所述显示器与所述湿度传感器电连接或者通信连接，且所述显示器可显示所述湿度传感器所检测到的湿度值；
18、所述行走轮上设有减震弹性件。
19、与现有技术相比，本技术至少具有以下有益效果：
20、本技术中，关闭存放箱上的箱门，可形成一个密封存放空间，可将氮气或者其他气体从气体充入口充入至密封存放空间中，进而调节密封存放空间中的湿度。当将存放有晶圆的晶舟盒放入该密封存放空间进行运输，无需进行铝箔袋真空包装以及外部的泡沫纸箱包装，可有效节约包装和运输成本。另外，在存放箱中设置了湿度传感器监控其内部湿度。晶舟盒放置在可升降的置物架上，可将晶舟盒夹紧固定，保证运输稳定性，且可适用于不同规格的晶舟盒。
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1.一种用于运输晶舟盒的运输车，所述晶舟盒可供晶圆存放，其特征在于，所述运输车包括：
2.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中设有用于检测所述存放箱内湿度的湿度传感器。
3.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱设有开口，所述晶舟盒可从所述开口被装入至所述存放箱中，所述箱门活动地设置在所述开口处；
4.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中设有置物架，且所述置物架可升降运动地设置在所述存放箱中；
5.根据权利要求4所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中沿其高度方向设有导轨，所述置物架可升降运动地设置在所述导轨上；
6.根据权利要求5所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述置物架具有导滑块，所述导滑块可升降运动地设置在所述导轨上；
7.根据权利要求6所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述螺纹杆上设有手柄，顺时针转动所述手柄，可将所述置物架锁止在所述导轨上；逆时针转动所述手柄，可将所述置物架从所
8.根据权利要求4或5或6所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中具有若干横向隔板，若干所述横向隔板将存放箱的存放空间分隔成多层，且每层设有多个所述置物架。
9.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱的两侧设有固定座，所述固定座用于将所述存放箱固定于货运车中；所述固定座具有开口朝上的U形槽。
10.根据权利要求2所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱上设有显示器，所述显示器与所述湿度传感器电连接或者通信连接，且所述显示器可显示所述湿度传感器所检测到的湿度值；
...【技术特征摘要】
1.一种用于运输晶舟盒的运输车，所述晶舟盒可供晶圆存放，其特征在于，所述运输车包括：
2.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中设有用于检测所述存放箱内湿度的湿度传感器。
3.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱设有开口，所述晶舟盒可从所述开口被装入至所述存放箱中，所述箱门活动地设置在所述开口处；
4.根据权利要求1所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中设有置物架，且所述置物架可升降运动地设置在所述存放箱中；
5.根据权利要求4所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述存放箱中沿其高度方向设有导轨，所述置物架可升降运动地设置在所述导轨上；
6.根据权利要求5所述的用于运输晶舟盒的运输车，其特征在于，所述置物架具有导滑块，所述导滑块可升...
【专利技术属性】
技术研发人员：冯岳，朱寒寒，
申请(专利权)人：甬矽半导体宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：
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