【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备，具体而言，涉及一种冷却装置。
技术介绍
1、半导体封装过程中，半导体热处理设备包括立式热处理设备和卧式热处理设备，以lpcvd(低压化学气相淀积)设备为例，其主要通入反应气体，利用其在反应腔室内，实现化学沉积作用，其中反应腔室主要利用管路实现气体流入以及排出。因此，在反应腔室过程中存在高温气体排出，如何冷却高温气体防止内爆问题，目前存在各种设计，然而，现有的冷却方式均为固定式结构，即在管路周围直接设置冷却管路，拆装不便，并且针对特殊管路结构，例如折弯情况较为严重的区域，安装不便。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种冷却装置，其采用分体式结构，能够通过可拆卸拼接方式现场安装，安装方便，且适用性更好。
2、本技术的实施例是这样实现的：
3、第一方面，本技术提供一种冷却装置，包括第一冷却座和第二冷却座，所述第一冷却座与所述第二冷却座可拆卸连接，所述第一冷却座的内侧壁设置有第一容纳半槽，所述第二冷却座的内侧壁设置有第二容纳半槽，所述第一容纳半槽和所述第二容纳半槽对应设置并拼接形成用于装配管路的装配通孔，所述第一冷却座内还设置有第一循环冷却水道，且所述第一冷却座的外侧壁设置有与所述第一循环冷却水道连通的第一冷却液进口和第一冷却液出口；所述第二冷却座内还设置有第二循环冷却水道，且所述第二冷却座的外侧壁设置有与所述第二循环冷却水道连通的第二冷却液进口和第二冷却液出口。
4、在可选的实施方式中，所述第一冷却座上还设置有第一冷凝管，所
5、在可选的实施方式中，所述第一冷凝管固定设置在所述第一冷却座沿所述装配通孔轴线方向上的两侧端面。
6、在可选的实施方式中，所述第二冷却座上还设置有第二冷凝管，所述第二冷凝管与所述第二循环冷却水道连通，并外露于所述第二冷却座的外部。
7、在可选的实施方式中，所述第二冷凝管固定设置在所述第二冷却座沿所述装配通孔轴线方向上的两侧端面。
8、在可选的实施方式中，所述第一冷却座的表面设置有第一冷凝孔，所述第一冷凝孔与所述第一循环冷却水道相隔绝，用于排出所述第一冷却座内部产生的冷凝水；所述第二冷却座的表面设置有第二冷凝孔，所述第二冷凝孔与所述第二循环冷却水道相隔绝，用于排出所述第二冷却座内部产生的冷凝水。
9、在可选的实施方式中，所述第一冷凝孔贯穿所述第一冷却座，所述第二冷凝孔贯穿所述第二冷却座。
10、在可选的实施方式中，所述第一冷凝孔的轴线方向、所述第二冷凝孔的轴线方向以及所述装配通孔的轴线方向相互平行。
11、在可选的实施方式中，所述第一冷却座的内侧壁还设置有固定凸块，所述第二冷却座的内侧壁对应设置有固定凹槽，所述固定凸块装配在所述固定凹槽中，以使所述第一冷却座和所述第二冷却座拼接在一起。
12、在可选的实施方式中，所述第一容纳半槽和所述第二容纳半槽的内壁上均设置有定位纹路。
13、本技术实施例的有益效果包括：
14、本技术实施例提供的冷却装置，第一冷却座和第二冷却座可拆卸连接，且第一冷却座的内侧壁设置有第一容纳半槽，第二冷却座的内侧壁设置有第二容纳班草，第一容纳半槽和第二容纳半槽对应拼接形成装配通孔，即第一冷却座和第二冷却座装配在管路的上下侧，使得管路装配在装配通孔中，实现冷却装置的安装，采用分体可拆卸的方式，安装方便，并且第一冷却座和第二冷却座均具有独立的循环冷却水道，能够控制第一冷却座和第二冷却座的长度，在折弯或较短管路上仍然能够实现安装。相较于现有技术，本技术提供的冷却装置，其采用分体式结构，能够通过可拆卸拼接方式现场安装，安装方便，且适用性更好。
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1.一种冷却装置，其特征在于，包括第一冷却座和第二冷却座，所述第一冷却座与所述第二冷却座可拆卸连接，所述第一冷却座的内侧壁设置有第一容纳半槽，所述第二冷却座的内侧壁设置有第二容纳半槽，所述第一容纳半槽和所述第二容纳半槽对应设置并拼接形成用于装配管路的装配通孔，所述第一冷却座内还设置有第一循环冷却水道，且所述第一冷却座的外侧壁设置有与所述第一循环冷却水道连通的第一冷却液进口和第一冷却液出口；所述第二冷却座内还设置有第二循环冷却水道，且所述第二冷却座的外侧壁设置有与所述第二循环冷却水道连通的第二冷却液进口和第二冷却液出口。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷却座上还设置有第一冷凝管，所述第一冷凝管与所述第一循环冷却水道连通，并外露于所述第一冷却座的外部。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷凝管固定设置在所述第一冷却座沿所述装配通孔轴线方向上的两侧端面。
4.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第二冷却座上还设置有第二冷凝管，所述第二冷凝管与所述第二循环冷却水道连通，并外露于所述第二冷却座的外部。
5.根据权利要求4所述的冷却装置，其特征在于，所述第二冷凝管固定设置在所述第二冷却座沿所述装配通孔轴线方向上的两侧端面。
6.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷却座的表面设置有第一冷凝孔，所述第一冷凝孔与所述第一循环冷却水道相隔绝，用于排出所述第一冷却座内部产生的冷凝水；所述第二冷却座的表面设置有第二冷凝孔，所述第二冷凝孔与所述第二循环冷却水道相隔绝，用于排出所述第二冷却座内部产生的冷凝水。
7.根据权利要求6所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷凝孔贯穿所述第一冷却座，所述第二冷凝孔贯穿所述第二冷却座。
8.根据权利要求7所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷凝孔的轴线方向、所述第二冷凝孔的轴线方向以及所述装配通孔的轴线方向相互平行。
9.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷却座的内侧壁还设置有固定凸块，所述第二冷却座的内侧壁对应设置有固定凹槽，所述固定凸块装配在所述固定凹槽中，以使所述第一冷却座和所述第二冷却座拼接在一起。
10.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一容纳半槽和所述第二容纳半槽的内壁上均设置有定位纹路。
...【技术特征摘要】
1.一种冷却装置，其特征在于，包括第一冷却座和第二冷却座，所述第一冷却座与所述第二冷却座可拆卸连接，所述第一冷却座的内侧壁设置有第一容纳半槽，所述第二冷却座的内侧壁设置有第二容纳半槽，所述第一容纳半槽和所述第二容纳半槽对应设置并拼接形成用于装配管路的装配通孔，所述第一冷却座内还设置有第一循环冷却水道，且所述第一冷却座的外侧壁设置有与所述第一循环冷却水道连通的第一冷却液进口和第一冷却液出口；所述第二冷却座内还设置有第二循环冷却水道，且所述第二冷却座的外侧壁设置有与所述第二循环冷却水道连通的第二冷却液进口和第二冷却液出口。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷却座上还设置有第一冷凝管，所述第一冷凝管与所述第一循环冷却水道连通，并外露于所述第一冷却座的外部。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第一冷凝管固定设置在所述第一冷却座沿所述装配通孔轴线方向上的两侧端面。
4.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第二冷却座上还设置有第二冷凝管，所述第二冷凝管与所述第二循环冷却水道连通，并外露于所述第二冷却座的外部。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：何正鸿，高源，张聪，李永帅，
申请(专利权)人：甬矽半导体宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：
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