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本技术提供一种冷却装置，涉及半导体设备技术领域，该冷却装置包括第一冷却座和第二冷却座，第一冷却座与第二冷却座可拆卸连接，第一冷却座的内侧壁设置有第一容纳半槽，第二冷却座的内侧壁设置有第二容纳半槽，第一冷却座内还设置有第一循环冷却水道，且第一...
该专利属于甬矽半导体（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过甬矽半导体（宁波）有限公司授权不得商用。

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