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【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于晶体生产,具体为一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计和方法。
技术介绍
1、晶体生长技术是利用物质的物理化学性质控制相变过程,获得具有一定结构、尺寸、形状和形状的晶体的技术。现有的晶体生长方法多选择使用提拉法,在使用提拉法来生产晶体时,首先需要将待生长的晶体的原料放置在耐高温的坩埚中加热使其熔化,接着调整炉内的温度,使熔体的上部处于过冷状态,接着在拉晶杆的底端安装一粒籽晶,让籽晶接触熔体表面,待籽晶的表面稍微熔化后,提拉并转动籽晶杆,使熔体处于过冷状态而结晶在籽晶上,在不断的提拉与旋转中,逐渐生长出圆柱状晶体,若拉晶杆不保持垂直状态,此时生产出来的晶体柱会出现形状歪斜等质量问题,影响晶体生产。
2、而在现有的晶体生长设备中,为了保证拉晶杆的垂直度,通常采用将拉晶杆与设备的基座进行固定连接,使拉晶杆预先与设备的基座垂直,再将设备的基座固定连接再调平后的固定平台上,使拉晶杆与固定平台垂直,此种方法需要对固定平台进行调平,具有调平时间长,需要过多的依赖相关技术人员的经验的问题,同时在设备装备检修后需要重新调平,严重影响晶体生产设备的工作效率。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计和方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为了实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,包括固定支架,所述固定支架的上表面螺栓连接有固定底座,还包括:
3、水平部,所述
4、调平部,所述调平部包括液压缸和连通管,所述液压缸和连通管均固定连接在所述固定支架的内部,所述液压缸的伸缩端活动套接在所述连通管的内部,所述连通管的两端均活动套接有顶杆,所述固定支架的顶部开设有多个对称的安装槽,所述安装槽内转动安装有棘轮,所述棘轮的顶部固定安装有螺杆,所述螺杆的一端贯穿固定底座,两个所述螺杆上螺纹连接有顶板。
5、优选地,所述转动管的外表面转动安装有对称的滑动环,所述转动管的外表面固定连接有对称的定位环,所述定位环的外表面开设有对称的定位孔,所述滑动环均抵接于套管的两端,所述定位环分别抵接于滑动环的两端。
6、优选地,所述铰接外壳的外表面开设有多组对称的安装孔,所述安装孔与所述定位孔相通,所述安装孔内螺纹连接有固定螺丝,所述固定螺丝的螺纹端抵接在所述转动管的外表面,所述铰接外壳的外表面固定连接有水平尺。
7、优选地,所述夹爪的内部固定连接有电机,所述电机的输出轴固定套接有联轴器,所述联轴器的另一端固定套接有拉晶杆。
8、优选地,还包括长晶炉,所述长晶炉固定安装在地面,所述长晶炉的内部填充有长晶液。
9、优选地,所述拉晶杆的底端固定连接有籽晶,所述拉晶杆底端位于所述长晶炉的内部,所述籽晶的底端与所述长晶液接触。
10、优选地,所述安装槽内还铰接有止回爪,所述止回爪与所述棘轮的外表面啮合,多个所述棘轮的旋转方向相同,所述螺杆上螺纹连接有止退螺母,所述止退螺母位于固定底座与顶板之间。
11、优选地,所述长晶炉的顶部固定安装有炉盖,所述固定支架固定安装在垂直方向的导轨上,沿导轨做垂直运动。
12、优选的,本专利技术还提供了一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的方法,包括如下步骤:
13、s1、将固定支架安装在垂直移动的导轨上,并将调平部安装在固定支架的内部;
14、s2、将固定底座通过螺栓连接在固定支架的顶部,将水平部的铰接外壳铰接在固定底座上;
15、s3、开启调平部将铰接外壳调整为水平状态;
16、s4、将水平部除固定螺丝的其它部件安装在铰接外壳内;
17、s5、将电机安装在水平部的夹爪内;
18、s6、待水平部的转动管不再转动后,使用固定螺丝将转动管与铰接外壳固定。
19、本专利技术的有益效果如下:
20、1、本专利技术通过设置的水平部与调平部,使得通过开启气缸推动连通管内的液体,使连通管内的顶杆上升,根据连通器的物理特性,此时两根顶杆的顶面处于同一水平高度,顶杆上升时回推动顶板向上,此时铰接外壳的两端被顶板抬升至同一水平高度,使得水平部处于水平状态,此种方法相较于传统的使用千分表进行找平,不仅通过使用连通器内部液面处于同一水平面的特性将活塞顶起,活塞将铰接外壳两端顶起使铰接外壳两端水平而节省了调平时间,同时因操作简单也减少了专业操作人员的参与。
21、2、本专利技术通过设置的调平部的棘轮、螺杆以及与两个螺杆螺纹连接的顶板,在顶板上升的过程中,螺杆根据顶板的上升发生转动,在顶板将要下移同时螺杆将要反方向转动时,螺杆底部的棘轮被止回爪卡死无法回转,带动螺杆无法回转,同时顶板因为其两端均螺纹连接有螺杆,使得顶板无法通过自身的旋转向下移动,使得顶板在上移之后无法向下移动,在夹爪安装电机后,水平部不会因两端重量不同而失去水平状态,使得水平部更易保持水平状态,同时调平部不仅可以将水平部调整至水平位置,还可以从下方支撑水平部,。
22、3、本专利技术通过设置的转动管,在与转动管一端固定连接的夹爪在安装电机后,其根据重力使得电机的输出轴保持垂直状态,在这之后,使用固定螺丝将转动管与铰接外壳相固定,使得转动管与铰接外壳相对固定无法转动,从而使电机以及通过联轴器与电机输出轴相连的拉晶杆保持垂直状态,较传统调整垂直度的方法,此方法使用重力确保电机在静止使其输出轴处于垂直状态,不仅使用方便,还减少了对专业人员的依赖。
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1.一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,包括固定支架(1),所述固定支架(1)的上表面螺栓连接有固定底座(2),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述转动管(303)的外表面转动安装有对称的滑动环(304),所述转动管(303)的外表面固定连接有对称的定位环(305),所述定位环(305)的外表面开设有对称的定位孔(306),所述滑动环(304)均抵接于套管(302)的两端,所述定位环(305)分别抵接于滑动环(304)的两端。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述铰接外壳(301)的外表面开设有多组对称的安装孔,所述安装孔与所述定位孔(306)相通,所述安装孔内螺纹连接有固定螺丝(314),所述固定螺丝(314)的螺纹端抵接在所述转动管(303)的外表面,所述铰接外壳(301)的外表面固定连接有水平尺(315)。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述夹爪(313)的内部固定连接有电
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:还包括长晶炉(10),所述长晶炉(10)固定安装在地面,所述长晶炉(10)的内部填充有长晶液。
6.根据权利要求5所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述拉晶杆(7)的底端固定连接有籽晶(8),所述拉晶杆(7)底端位于所述长晶炉(10)的内部,所述籽晶(8)的底端与所述长晶液接触。
7.根据权利要求6所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述安装槽(48)内还铰接有止回爪(47),所述止回爪(47)与所述棘轮(46)的外表面啮合,多个所述棘轮(46)的旋转方向相同,所述螺杆(44)上螺纹连接有止退螺母(49),所述止退螺母(49)位于固定底座(2)与顶板(45)之间。
8.根据权利要求7所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述长晶炉(10)的顶部固定安装有炉盖(9),所述固定支架(1)固定安装在垂直方向的导轨上,沿导轨做垂直运动。
9.根据权利要求8所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的方法,包括如下步骤:
...【技术特征摘要】
1.一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,包括固定支架(1),所述固定支架(1)的上表面螺栓连接有固定底座(2),其特征在于,还包括:
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述转动管(303)的外表面转动安装有对称的滑动环(304),所述转动管(303)的外表面固定连接有对称的定位环(305),所述定位环(305)的外表面开设有对称的定位孔(306),所述滑动环(304)均抵接于套管(302)的两端,所述定位环(305)分别抵接于滑动环(304)的两端。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述铰接外壳(301)的外表面开设有多组对称的安装孔,所述安装孔与所述定位孔(306)相通,所述安装孔内螺纹连接有固定螺丝(314),所述固定螺丝(314)的螺纹端抵接在所述转动管(303)的外表面,所述铰接外壳(301)的外表面固定连接有水平尺(315)。
4.根据权利要求3所述的一种晶体生长设备晶杆快速调整垂直度的设计,其特征在于:所述夹爪(313)的内部固定连接有电机(5),所述电机(5)的输出轴固定套接有联轴器(6),所述联轴器(6)...
【专利技术属性】
技术研发人员:潘宇,郝文涛,黄小卫,刘华林,
申请(专利权)人:蒙城繁枫真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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