【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于非金属矿深加工,更具体地,涉及一种反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法。
技术介绍
1、《半导体用透明石英玻璃管》jc/t597-2011规定:羟基含量应小于等于220×10-6;《半导体用透明石英玻璃棒》jc/t2064-2011中规定:羟基含量应小于等于220×10-6;《电光源用透明石英玻璃管》jc/t598-2007规定:a)高压汞灯管:羟基含量小于等于10×10-6;b)金属卤化灯管羟基含量小于等于3×10-6;c)卤钨灯管、其他灯用石英玻璃管:由供需双方商定。总之,中高纯度的石英玻璃材料对羟基含量有严格的要求。
2、透明石英玻璃及其制品是以高纯石英砂粉为原料,在高温电炉中以氢气或惰性气体或氢气+氮气或氢气+氮气+惰性气体为保护性气体进行熔制成玻璃液,再经机械成型、切割、冷却、清洗、脱羟等工序而成。石英玻璃制品的羟基来源与两个部分:一个是石英砂本身含有的羟基,还有一部分是在高温熔制过程中保护气体h2与石英玻璃sio2发生化学反应而产生的羟基,以前者占比更高。石英砂本身含有的羟基主要来自石英晶体
...【技术保护点】
1.一种反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述保护气体为惰性气体。
3.如权利要求2所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述惰性气体为氖气或氩气中的一种。
4.如权利要求1所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述步骤S6中重复步骤S4和步骤S5共5次。
5.如权利要求1所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述石英砂的纯度
...【技术特征摘要】
1.一种反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述保护气体为惰性气体。
3.如权利要求2所述的反复相变结构裂断羟基原理对石英砂脱羟基的方法,其特征在于,所述惰性气体...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄小卫,刘华林,郝文涛,
申请(专利权)人:蒙城繁枫真空科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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