擦粉器制造技术

本技术属于晶圆加工技术领域，公开了一种擦粉器。该擦粉器包括擦拭件、第一部件和第二部件，擦拭件由硅胶材质制成，擦拭件用于擦拭晶圆上的粉末，第一部件的第一端与擦拭件连接，第二部件安装在第一部件的第二端，第一部件与第二部件之间形成供操作人员抓握的空腔。操作人员手持擦粉器控制擦拭件移动擦拭，防止手滑掉落，可通过轻压擦拭件的方式从而使得擦拭件表面全部与晶圆表面紧密接触，提高晶圆表面粉末的擦拭均匀性，防止粉末残留过多，硅胶材质制成的擦拭件表面细腻，更好地保护晶圆，防止划伤晶圆表面。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆加工，尤其涉及一种擦粉器。

技术介绍

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，玻璃钝化工艺是晶圆生产的重要环节，玻璃钝化工艺是指在晶圆表面的沟槽中涂覆填充玻璃粉，使得在晶圆上加工电子元件时，切割后形成玻璃保护层。涂覆的方式包括手工刮涂和自动化设备涂覆，通过涂覆使得晶圆的表面以及沟槽内均涂覆有玻璃粉，玻璃粉很难保证涂覆均匀，故而在将玻璃粉涂刷在晶圆上后，需要对晶圆片上的玻璃粉进行擦拭，以保证玻璃粉厚度均匀。

2、现有技术中，常采用纸片擦拭晶圆，纸片易变形使得沟槽中的玻璃粉易被带出，采用纸片擦拭时纸片易手滑掉落，且擦拭时纸片局部与晶圆接触使得晶圆表面受力不均，导致沟槽中玻璃粉厚度均匀性差，且纸片表面粗糙使得无法擦净多余玻璃粉，致使玻璃粉残留过多甚至可能划伤晶圆表面，影响晶圆的质量和生产效率。

3、即，现有技术中采用纸片擦拭晶圆存在纸片易手滑掉落、擦拭后晶圆表面的玻璃粉均匀性差、玻璃粉残留过多甚至可能划伤晶圆表面的缺点。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种擦粉器，以解决现有技术采用纸片擦拭晶圆存在纸片易手滑掉落、擦拭后晶圆表面的玻璃粉均匀性差、玻璃粉残留过多甚至可能划伤晶圆表面的问题。

2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：

3、本技术提供一种擦粉器，该擦粉器包括：

4、擦拭件，所述擦拭件由硅胶材质制成，所述擦拭件用于擦拭晶圆上的粉末；

5、第一部件，所述第一部件的第一端与所述擦拭件连接；</p>

6、第二部件，所述第二部件安装在所述第一部件的第二端，所述第一部件与所述第二部件之间形成供操作人员抓握的空腔。

7、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第二部件的横截面积大于所述第一部件的横截面积以形成所述空腔。

8、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第一部件与所述第二部件一体成型。

9、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第一部件和所述第二部件通过连接件可拆卸连接。

10、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第一部件呈柱状，所述擦拭件呈板状，所述第一部件的轴线方向与所述擦拭件垂直。

11、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第二部件呈圆盘状，且所述第一部件安装在所述第二部件的中心位置。

12、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述第一部件和所述第二部件均由弹性材质制成。

13、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述弹性材质为橡胶。

14、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述擦拭件与所述第一部件之间采用硅胶连接。

15、作为一种擦粉器的可选技术方案，所述擦拭件与所述第一部件可拆卸连接。

16、有益效果：

17、本技术提供一种擦粉器，该擦粉器包括擦拭件、第一部件和第二部件，第一部件两端分别于擦拭件和第二部件连接，第一部件与第二部件之间形成供操作人员抓握的空腔，手持擦粉器控制擦拭件移动擦拭，防止手滑掉落，擦拭件由硅胶材质制成，可通过轻压擦拭件的方式从而使得擦拭件表面全部与晶圆表面紧密接触，提高晶圆表面粉末的擦拭均匀性，防止粉末残留过多，硅胶材质制成的擦拭件表面细腻，更好地保护晶圆，防止划伤晶圆表面。

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【技术保护点】

1.擦粉器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的擦粉器，其特征在于，所述第二部件(30)的横截面积大于所述第一部件(20)的横截面积以形成所述空腔。

3.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)与所述第二部件(30)一体成型。

4.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)和所述第二部件(30)通过连接件可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)呈柱状，所述擦拭件(10)呈板状，所述第一部件(20)的轴线方向与所述擦拭件(10)垂直。

6.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第二部件(30)呈圆盘状，且所述第一部件(20)安装在所述第二部件(30)的中心位置。

7.根据权利要求1所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)和所述第二部件(30)均由弹性材质制成。

8.根据权利要求7所述的擦粉器，其特征在于，所述弹性材质为橡胶。

9.根据权利要求1所述的擦粉器，其特征在于，所述擦拭件(10)与所述第一部件(20)之间采用硅胶连接。

10.根据权利要求1所述的擦粉器，其特征在于，所述擦拭件(10)与所述第一部件(20)可拆卸连接。

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【技术特征摘要】

1.擦粉器，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的擦粉器，其特征在于，所述第二部件(30)的横截面积大于所述第一部件(20)的横截面积以形成所述空腔。

3.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)与所述第二部件(30)一体成型。

4.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)和所述第二部件(30)通过连接件可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的擦粉器，其特征在于，所述第一部件(20)呈柱状，所述擦拭件(10)呈板状，所述第一部件(20)的轴线方向与所述擦拭件(10)垂直。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓洁，侯康，
申请(专利权)人：马鞍山市槟城电子有限公司，
类型：新型
国别省市：