【技术实现步骤摘要】
本申请涉及薄膜检测设备，特别是涉及一种测量装置。
技术介绍
1、在薄膜制备之后需要对其进行检测，对于薄膜来说较为重要的薄膜参数是薄膜的厚度，以及薄膜的光学常数，例如折射率和吸收系数等。为此，相关技术中提供了一种采用椭圆偏振法测量薄膜的椭偏参数ψ和δ的椭偏仪，以根据椭偏参数ψ和δ获得薄膜的厚度和光学常数。
2、然而，薄膜的应力是薄膜制备的另一关键因素，尤其是针对多层薄膜并需要进一步加工的产品，薄膜的应力将直接影响成品率，相关技术中的椭偏仪存在难以同时检测薄膜的应力的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对相关技术中的椭偏仪难以同时检测薄膜应力的问题，提供一种能够同时检测薄膜的厚度、光学常数以及应力的测量装置。
2、根据本申请的一个方面，提供一种测量装置，包括：
3、椭偏仪，包括载物台、起偏器和第一接收组件，所述载物台具有用于承载待测量样品的载物平面，所述起偏器和所述第一接收组件分别位于所述载物平面沿与所述载物平面平行的第一方向的两侧，所述起偏器用于向所述载物平面上的所述待测量样品发射线偏振入射光，以经所述待测量样品反射后产生椭圆偏振反射光，所述第一接收组件用于对所述椭圆偏振反射光进行分析，以测量所述椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的反射系数的振幅比，以及所述椭圆偏振反射光的所述p偏振光和所述s偏振光的相位差；以及
4、应力测量机构，沿所述第一方向设置于所述起偏器和所述第一接收组件之间，并沿与载物平面垂直的第二方向与所述载物平面间隔
5、上述测量装置，通过设置椭偏仪，测量椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的反射系数的振幅比，以及椭圆偏振反射光的p偏振光和s偏振光的相位差，以获得待测量样品的厚度，以及待测量样品的折射率和吸收系数等光学常数。通过设置应力测量机构，以测量待测量样品的曲率，进而计算待测量样品的应力。如此，使测量装置能够分别实现对待测量样品的厚度、光学常数和应力的测量，使测量装置具有更多功能。
6、在其中一个实施例中，所述应力测量机构包括光源组件和第二接收组件；
7、所述光源组件沿所述第二方向与所述载物平面间隔设置，且用于向所述载物平面上的所述待测量样品发射所述入射光束；
8、所述第二接收组件设于所述光源组件沿所述第一方向的一侧，且用于接收所述反射光束并对所述反射光束进行分析。
9、在其中一个实施例中，所述光源组件包括激光器和第一光阑，沿所述第二方向，所述第一光阑位于所述激光器和所述载物平面之间；
10、所述激光器用于向所述第一光阑发射第一光束；
11、所述第一光阑用于对所述第一光束进行整形，以向所述载物平面发射沿所述第二方向的所述入射光束。
12、在其中一个实施例中，所述应力测量机构还包括沿所述第二方向设于所述光源组件和所述载物平面之间的分束器；
13、所述分束器被配置为能够使所述入射光束从所述分束器穿过，且所述分束器用于接收所述反射光束，并使所述反射光束经所述分束器反射后沿所述第一方向发射至所述第二接收组件。
14、在其中一个实施例中，所述应力测量机构还包括第一透镜，沿所述第一方向，所述第一透镜位于所述分束器和所述载物平面之间；
15、所述第一透镜用于接收经所述待测量样品后产生的所述反射光束，并用于将接收到的所述反射光束聚焦至所述分束器的中心，以使所述分束器能够将经所述第一透镜聚焦后的所述反射光束反射至所述第二接收组件。
16、在其中一个实施例中，所述第二接收组件包括第二透镜、第一探测器和第一控制器，沿所述第一方向，所述第二透镜位于所述第一探测器和所述分束器之间，所述第一控制器与所述第一探测器电连接；
17、所述第二透镜用于接收经所述分束器反射后的所述反射光束，并用于将接收到的所述反射光束发射至所述第一探测器；
18、所述第一探测器用于接收所述第二透镜发射的所述反射光束，并用于将接收到的所述反射光束生成第一信号传输至所述第一控制器；
19、所述第一控制器用于将所述第一信号进行处理并得到所述待测量样品的曲率。
20、在其中一个实施例中，所述载物台包括具有所述载物平面的承载件，以及与所述承载件连接的调节件；
21、所述承载件能够沿所述第一方向相对所述调节件移动。
22、在其中一个实施例中，所述调节件能够带动所述承载件一同绕平行所述第一方向的轴线转动。
23、在其中一个实施例中，所述载物台还包括与所述调节件连接的旋转件，所述承载件借助于所述旋转件与所述调节件连接；
24、所述旋转件用于驱动所述承载件绕平行所述第二方向的轴线相对所述调节件转动。
25、在其中一个实施例中，所述第一接收组件包括光谱仪和与所述光谱仪连接的第二探测器；
26、所述光谱仪用于接收所述椭圆偏振反射光，并用于对所述椭圆偏振反射光分光后入射所述第二探测器；
27、所述第二探测器用于获取同一偏振角度对应的所述椭圆偏振反射光的所有波长的光强信息。
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1.一种测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构包括光源组件和第二接收组件；
3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述光源组件包括激光器和第一光阑，沿所述第二方向，所述第一光阑位于所述激光器和所述载物平面之间；
4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构还包括沿所述第二方向设于所述光源组件和所述载物平面之间的分束器；
5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构还包括第一透镜，沿所述第一方向，所述第一透镜位于所述分束器和所述载物平面之间；
6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，所述第二接收组件包括第二透镜、第一探测器和第一控制器，沿所述第一方向，所述第二透镜位于所述第一探测器和所述分束器之间，所述第一控制器与所述第一探测器电连接；
7.根据权利要求1至6任一项所述的测量装置，其特征在于，所述载物台包括具有所述载物平面的承载件，以及与所述承载件连接的调节件；
8.根据权利要求7所述的测量装置，
9.根据权利要求7所述的测量装置，其特征在于，所述载物台还包括与所述调节件连接的旋转件，所述承载件借助于所述旋转件与所述调节件连接；
10.根据权利要求1至6任一项所述的测量装置，其特征在于，所述第一接收组件包括光谱仪和与所述光谱仪连接的第二探测器；
...【技术特征摘要】
1.一种测量装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构包括光源组件和第二接收组件；
3.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述光源组件包括激光器和第一光阑，沿所述第二方向，所述第一光阑位于所述激光器和所述载物平面之间；
4.根据权利要求2所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构还包括沿所述第二方向设于所述光源组件和所述载物平面之间的分束器；
5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，所述应力测量机构还包括第一透镜，沿所述第一方向，所述第一透镜位于所述分束器和所述载物平面之间；
6.根据权利要求5所述的测量装置，其特征在于，所述第二接收组件包括第...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙伟，余桂龙，张殷，孙紫娟，徐胜，
申请(专利权)人：苏州岚创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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