【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空设备，具体涉及一种分子泵。
技术介绍
1、分子泵以易清洁、操作方便、性能稳定等优势，在无污染的高真空和超高真空领域获得了广泛应用。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩并驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。
2、压缩比作为衡量分子泵性能的重要指标之一，其具体定义是指在理想的测试环境下在前真空法兰测量的压力与在高真空法兰测量的压力之比。这个性能指标是特定的，即分子泵对所有气体分子均具有压缩性，对气体压缩的选择特性差异不大。比如分子泵对氦气和氮气都具有压缩特性，只是据气体分子质量不同，压缩比值具有一定差异。现有的分子泵无法对气体进行选择性压缩，不能筛选出所需的特定气体。
技术实现思路
1、因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中的分子泵无法对气体进行选择性压缩，不能筛选出所需的特定气体的缺陷，从而提供一种可对气体进行选择性压缩，能筛选出所需特定气体的分子泵。
2、为了解决上述问题，本专利技术提供了一种分子泵，包括：
3、分子泵泵体和渗透膜，且所述分子泵泵体具有进气口和排气口；
4、所述分子泵泵体内部设置有叶片级，所述渗透膜设置于所述叶片级与所述分子泵泵体内壁之间；
5、或所述分子泵泵体内部设置有拖动级，所述渗透膜设置于所述拖动级与所述分子泵泵体内壁之间；
6、或所述分子泵泵体内部设置有所述叶片级和所述拖动级，所述叶片级靠近所述进气口一侧，所述拖动级靠
7、可选的，所述渗透膜通过固定结构与所述分子泵泵体连接。
8、可选的，所述固定结构为成型于所述分子泵泵体内壁的卡槽，所述渗透膜与所述卡槽卡接。
9、可选的，所述固定结构与所述分子泵泵体内壁连接处气密封。
10、可选的，分子泵还包括温控组件，所述温控组件设置于所述分子泵泵体外壁。
11、可选的，所述温控组件包括温控板。
12、可选的，还包括温度监测器，所述温度检测器与所述温控板电连接。
13、可选的，所述渗透膜为石英膜。
14、可选的，所述分子泵泵体内还设置有主轴，所述叶片级和/或所述拖动级设置于所述主轴上。
15、可选的，所述叶片级与所述分子泵泵体内壁和/或所述拖动级与所述分子泵泵体内壁之间的所述渗透膜均沿所述主轴的轴向间隔设置有多个。
16、本专利技术具有以下优点：
17、1.本专利技术提供的分子泵，包括：分子泵泵体和渗透膜，且分子泵泵体具有进气口和排气口。分子泵泵体内部设置有叶片级，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有拖动级，渗透膜设置于拖动级与分子泵泵体内壁之间；或分子泵泵体内部设置有叶片级和拖动级，叶片级靠近进气口一侧，拖动级靠近排气口一侧，渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁以及拖动级与分子泵泵体内壁之间。三种情况对应于三种不同的分子泵泵体，即涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵，适用范围较广。并且由于在叶片级和/或拖动级设置了渗透膜，可以对进气口进入分子泵泵体内的气体进行选择性压缩，然后从排气口排出经筛选的所需特定气体。
18、2.本专利技术提供的分子泵，渗透膜通过固定结构与分子泵泵体连接，优选的固定结构可以为卡槽，渗透膜与卡槽卡接。通过设置固定结构来实现渗透膜的安装，简单可靠。
19、3.本专利技术提供的分子泵，在固定结构和分子泵泵体内壁连接处气密封，以防止进气口处的气体从固定结构和分子泵泵体内壁连接处流走，影响分子泵选择性压缩气体的效果。
20、4.本专利技术提供的分子泵，还包括温控组件，温控组件设置在分子泵泵体的外壁。温控组件包括温控板，温控板通电即可进行加热，并且控制电流或电压大小可调节温控板的温度。通过温控板对分子泵泵体内部加热，可以改变气体分子的热运动，进而改变气体分子的渗透量，从而改变分子泵对该气体分子的压缩比。使得分子泵不仅可以对气体进行选择性压缩，还能实现不同的压缩比，分子泵的性能更加优越，适用范围更广。
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1.一种分子泵，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述渗透膜(4)通过固定结构与所述分子泵泵体(1)连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，所述固定结构为成型于所述分子泵泵体(1)内壁的卡槽(5)，所述渗透膜(4)与所述卡槽(5)卡接。
4.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，所述固定结构与所述分子泵泵体(1)内壁连接处气密封。
5.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，还包括温控组件，所述温控组件设置于所述分子泵泵体(1)外壁。
6.根据权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述温控组件包括温控板(6)。
7.根据权利要求6所述的分子泵，其特征在于，还包括温度检测器，所述温度检测器与所述温控板(6)电连接。
8.根据权利要求1-7任一项所述的分子泵，其特征在于，所述渗透膜(4)为石英膜。
9.根据权利要求1-7任一项所述的分子泵，其特征在于，所述分子泵泵体(1)内还设置有主轴(7)，所述叶片级(2)和/或所述拖动级(3)设置于所述主轴(7
10.根据权利要求9所述的分子泵，其特征在于，所述叶片级(2)与所述分子泵泵体(1)内壁和/或所述拖动级(3)与所述分子泵泵体(1)内壁之间的所述渗透膜(4)均沿所述主轴(7)的轴向间隔设置有多个。
...【技术特征摘要】
1.一种分子泵，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，所述渗透膜(4)通过固定结构与所述分子泵泵体(1)连接。
3.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，所述固定结构为成型于所述分子泵泵体(1)内壁的卡槽(5)，所述渗透膜(4)与所述卡槽(5)卡接。
4.根据权利要求2所述的分子泵，其特征在于，所述固定结构与所述分子泵泵体(1)内壁连接处气密封。
5.根据权利要求1所述的分子泵，其特征在于，还包括温控组件，所述温控组件设置于所述分子泵泵体(1)外壁。
6.根据权利要求5所述的分子泵，其特征在于，所述温控组件包括温...
【专利技术属性】
技术研发人员：张旋，郝猛，宋海燕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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