下载一种分子泵的技术资料

文档序号:40922096

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及真空设备技术领域,其目的是提供一种分子泵。这种分子泵可对气体进行选择性压缩,能筛选出所需特定气体。上述分子泵包括:分子泵泵体和渗透膜,且分子泵泵体具有进气口和排气口;分子泵泵体内部设置有叶片级,渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。