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一种分子泵制造技术
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下载一种分子泵的技术资料
文档序号:40922096
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本发明涉及真空设备技术领域,其目的是提供一种分子泵。这种分子泵可对气体进行选择性压缩,能筛选出所需特定气体。上述分子泵包括:分子泵泵体和渗透膜,且分子泵泵体具有进气口和排气口;分子泵泵体内部设置有叶片级,渗透膜设置于叶片级与分子泵泵体内壁之...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。
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