一种自动稳压分子泵及其控制方法技术

本发明专利技术涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本发明专利技术通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开了流口，采用电磁阀连接不同的涡轮真空级，实现不同的压缩比，从而将真空气压调整为需要的压力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空泵，具体涉及一种自动稳压分子泵及其控制方法。

技术介绍

1、真空的应用，是依靠真空泵来获得真空。真空泵的种类，有捕获型真空泵与压缩型真空泵，压缩型真空泵有分子泵等。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵本身由转速较高的电动机直联驱动，其抽气性能或者说压缩比可以通过调节电机转速来进行调节，但是高速电机的速度调节响应比较慢，需要较长时间才能将转速升高或者降低。在很多真空应用场合，尤其在给真空系统内部加入各种工艺试剂或者工艺气体的时候，往往需要较快的响应速度迅速调整压缩比从而实现稳定的气压，然而这时候通过调节分子泵转速来调节压缩比是来不及的。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种自动稳压分子泵及其控制方法，以解决通过调节电机转速来进行调节压缩比时效慢的问题。

2、第一方面，本专利技术提供了一种自动稳压分子泵，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，

2.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵还包括：第二电磁阀组，所述第二电磁阀组通过微孔与每级流口引出的气路连接。

3.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述第一电磁阀组包括多个第一电磁阀，所述第一电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第一电磁阀均与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

4.根据权利要求2所述的自动稳压分子...

【技术特征摘要】

1.一种自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，

2.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵还包括：第二电磁阀组，所述第二电磁阀组通过微孔与每级流口引出的气路连接。

3.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述第一电磁阀组包括多个第一电磁阀，所述第一电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第一电磁阀均与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

4.根据权利要求2所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述第二电磁阀组包括多个第二电磁阀，所述第二电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第二电磁阀均通过微孔与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

5.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述控制系统还与所述电机连接，所述控制系...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝猛，李赏，宋海燕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：