一种自动稳压分子泵及其控制方法技术

技术编号：40972125 阅读：2 留言：0更新日期：2024-04-18 21:21

本发明专利技术涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本发明专利技术通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开了流口，采用电磁阀连接不同的涡轮真空级，实现不同的压缩比，从而将真空气压调整为需要的压力。

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【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空泵，具体涉及一种自动稳压分子泵及其控制方法。

技术介绍

1、真空的应用，是依靠真空泵来获得真空。真空泵的种类，有捕获型真空泵与压缩型真空泵，压缩型真空泵有分子泵等。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵本身由转速较高的电动机直联驱动，其抽气性能或者说压缩比可以通过调节电机转速来进行调节，但是高速电机的速度调节响应比较慢，需要较长时间才能将转速升高或者降低。在很多真空应用场合，尤其在给真空系统内部加入各种工艺试剂或者工艺气体的时候，往往需要较快的响应速度迅速调整压缩比从而实现稳定的气压，然而这时候通过调节分子泵转速来调节压缩比是来不及的。

技术实现思路

1、有鉴于此，本专利技术提供了一种自动稳压分子泵及其控制方法，以解决通过调节电机转速来进行调节压缩比时效慢的问题。

2、第一方面，本专利技术提供了一种自动稳压分子泵，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，

3、多级所述正向涡轮和多级所述反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上，所述正向涡轮用于正向抽气，所述反向涡轮用于反向抽气；

4、所述第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；

5、所述真空规与所述控制系统连接，所述真空规用于检测自动稳压分子泵泵口的压力值，并将所述压力值发送给控制系统；</p>

6、所述控制系统还与所述第一电磁阀组连接，所述控制系统根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制所述第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。

7、在一种可选的实施方式中，所述自动稳压分子泵还包括：第二电磁阀组，所述第二电磁阀组通过微孔与每级流口引出的气路连接。

8、在一种可选的实施方式中，所述第一电磁阀组包括多个第一电磁阀，所述第一电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第一电磁阀均与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

9、在一种可选的实施方式中，所述第二电磁阀组包括多个第二电磁阀，所述第二电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第二电磁阀均通过微孔与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

10、在一种可选的实施方式中，所述控制系统还与所述电机连接，所述控制系统还根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制所述电机的转速。

11、第二方面，本专利技术提供了一种自动稳压分子泵的控制方法，基于第一方面所述的自动稳压分子泵，所述控制方法包括：

12、获取目标真空压力；

13、根据所述目标真空压力设定自动稳压分子泵的转速；

14、读取真空规检测的压力值；

15、根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态。

16、在一种可选的实施方式中，所述根据所述目标真空压力设定自动稳压分子泵的转速包括：

17、判断所述目标真空压力的真空级别，所述真空级别包括第一真空段和第二真空段，所述第一真空段级别低于所述第二真空段，所述第一真空段和第二真空段之和等于抽真空压力范围；

18、当所述目标真空压力属于所述第一真空段时，将自动稳压分子泵的转速设为第一转速；

19、当所述目标真空压力属于所述第二真空段时，将自动稳压分子泵的转速设为第二转速。

20、在一种可选的实施方式中，所述根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态包括：

21、当所述压力值差于所述目标真空压力时，关闭所述第一电磁阀组中的预设电磁阀；

22、当所述压力值优于所述目标真空压力时，打开所述第一电磁阀组中的预设电磁阀。

23、在一种可选的实施方式中，所述当所述压力值优于所述目标真空压力时，打开所述第一电磁阀组中的预设电磁阀，包括：

24、打开第二电磁阀组中的预设电磁阀；

25、判断所述压力值是否优于所述目标真空压力，当所述压力值优于所述目标真空压力时，打开所述第一电磁阀组中的预设电磁阀。

26、在一种可选的实施方式中，判断所述压力值是否优于所述目标真空压力，当所述压力值优于所述目标真空压力时，调整自动稳压分子泵的转速以及第一电磁阀组、第二电磁阀组的开关状态。

27、本专利技术提供了一种自动稳压分子泵，自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上，正向涡轮用于正向抽气，反向涡轮用于反向抽气；第一电磁阀组与每级流口引出的气路连接；真空规与控制系统连接，真空规用于检测自动稳压分子泵泵口的压力值，并将压力值发送给控制系统；控制系统还与第一电磁阀组连接，控制系统根据目标真空压力和真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态，短接不同的涡轮级，从而调整压缩比。本专利技术通过设计分子泵反向涡轮，利用反向涡轮主动降低压缩比，并在各级涡轮的密封壳体上开了流口，采用电磁阀连接不同的涡轮真空级，通过开关电磁阀，连接不同的流口，实现不同的压缩比，从而将真空气压调整为需要的压力。

28、本专利技术提供了一种自动稳压分子泵的控制方法，所述控制方法包括：获取目标真空压力；根据所述目标真空压力设定自动稳压分子泵的转速；读取真空规检测的压力值；根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态。通过控制第一电磁阀组的开关状来改变分子泵的压缩比，响应速度快，可以自动调整实现需要控制到的目标气压，通过应用本专利技术的技术用户实现同样目标的真空系统复杂性大为降低，也可以减少为了调整气压导致的试剂及气体的浪费，综合降低真空应用的成本。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵各级涡轮的密封壳体上开有流口，所述自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，

2.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述自动稳压分子泵还包括：第二电磁阀组，所述第二电磁阀组通过微孔与每级流口引出的气路连接。

3.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述第一电磁阀组包括多个第一电磁阀，所述第一电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第一电磁阀均与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

4.根据权利要求2所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述第二电磁阀组包括多个第二电磁阀，所述第二电磁阀与涡轮一一对应设置，每个所述第二电磁阀均通过微孔与其对应的涡轮的流口及相邻涡轮的流口引出的气路连接。

5.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述控制系统还与所述电机连接，所述控制系统还根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制所述电机的转速。

6.一种自动稳压分子泵的控制方法，其特征在

7.根据权利要求6所述的自动稳压分子泵的控制方法，其特征在于，所述根据所述目标真空压力设定自动稳压分子泵的转速包括：

8.根据权利要求6所述的自动稳压分子泵的控制方法，其特征在于，所述根据目标真空压力和所述真空规检测的压力值的差值，控制第一电磁阀组的开关状态包括：

9.根据权利要求8所述的自动稳压分子泵的控制方法，其特征在于，所述当所述压力值优于所述目标真空压力时，打开所述第一电磁阀组中的预设电磁阀，包括：

10.根据权利要求9所述的自动稳压分子泵的控制方法，其特征在于，判断所述压力值是否优于所述目标真空压力，当所述压力值优于所述目标真空压力时，调整自动稳压分子泵的转速以及第一电磁阀组、第二电磁阀组的开关状态。

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【技术特征摘要】

5.根据权利要求1所述的自动稳压分子泵，其特征在于，所述控制系统还与所述电机连接，所述控制系...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝猛，李赏，宋海燕，
申请(专利权)人：北京中科科仪股份有限公司，
类型：发明
国别省市：

全部详细技术资料下载我是这个专利的主人