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本发明涉及真空泵技术领域，公开了一种自动稳压分子泵及其控制方法，自动稳压分子泵包括：电机、第一电磁阀组、真空规、控制系统、多级正向涡轮、多级反向涡轮，其中，多级正向涡轮和多级反向涡轮直联在自动稳压分子泵的电机上；第一电磁阀组与每级流口引出的...
该专利属于北京中科科仪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科科仪股份有限公司授权不得商用。

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