加料时机检测方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

本发明专利技术实施例提供了一种加料时机检测方法、装置、设备及介质。该方法包括：在直拉单晶的加料阶段的首次加料之后，获取直拉单晶设备的热屏的下端开口的目标图像，将所述目标图像输入加料时机检测模型，其中，所述加料时机检测模型通过目标图像样本，以及对应标记的可否加料标签训练得到，根据所述目标图像，由所述加料时机检测模型输出所述加料阶段中的加料时机检测结果，使得加料阶段时自动检测加料时机，无需操作人员全程介入，避免了占用操作人员的工时较多的问题，提高了工作效率，而且实时自动检测能够避免操作人员错过加料时机，继而提高了加料时机确定的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体制备，特别是涉及一种加料时机检测方法、一种加料时机检测装置、一种电子设备以及一种存储介质。

技术介绍

1、单晶硅材料的制备工艺以直拉法(czochralski process/cz)为主，利用直拉法将多晶硅原料提炼成单晶硅。在直拉单晶过程中生成棒状单晶硅晶体的过程分为装料、加热熔料、调温、引晶、放肩、转肩、等径、收尾等步骤。

2、其中，当多晶硅原料融化完成后，还不能马上开始引晶，因为这时的温度要高于引晶温度，还必须经过降温，将温度调整到引晶的温度。引晶是将事先装到钢丝绳末端的籽晶(也就是加工成一定形状的单晶)与液面接触，在引晶温度下，硅分子将沿着籽晶的晶格方向生长，从而形成单晶。放肩是将晶体直径逐步生长到生成所要求的直径，在放肩的过程中将拉出随着长度逐渐变长，直径逐渐变大到要求的直径左右的一段晶体，以便消除晶体位错。当晶体在放肩过程中生长到生产要求的直径后，进入转肩过程。转肩是将晶体直径控制在生产所要求的直径。当转肩完成后进入等径控制步骤，在该步骤中，通过对拉速和温度的自动控制，让晶体将按照设定的直径等径生长。

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【技术保护点】

1.一种加料时机检测方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在直拉单晶的加料阶段的首次加料之后，获取直拉单晶设备的热屏的下端开口的目标图像，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述去除所述拍摄图像中所述热屏的区域图像，得到所述目标图像，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述二值化图像中的熔料区域，按照预设切割方式切割所述拍摄图像，得到所述目标图像，包括：

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述将所述目标图像输入加料时机检测模型之前，所述方法还包括：

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【技术特征摘要】

1.一种加料时机检测方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在直拉单晶的加料阶段的首次加料之后，获取直拉单晶设备的热屏的下端开口的目标图像，包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述去除所述拍摄图像中所述热屏的区域图像，得到所述目标图像，包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述二值化图像中的熔料区域，按照预设切割方式切割所述拍摄图像，得到所述目标图像，包括：

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述将所述目标图像输入加料时机检测模型之前，所述方法还包括：

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述加料时机检测模型包括第一卷积层，第一池化层，第二卷积层，第二池化层和全连接层，所述第一卷积层和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭力，张伟建，王正远，李广砥，杨正华，
申请(专利权)人：隆基绿能科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：