一种loadport上foup防呆装置制造方法及图纸

本技术涉及一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架，所述主体框架的前端连接有安装座，所述安装座上连接有安装平台，所述安装平台上连接有foup，所述主体框架的前端连接有防呆框架，所述防呆框架位于安装座的下方设置，所述防呆框架内连接有用于防呆foup的升降防呆组件，所述升降防呆组件位于foup的前方设置。本技术可以防止操作人员的误操作。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种loadport上foup防呆装置。

技术介绍

1、随着集成电路的半导体元件的积集度日益增加，相对的制程的精确度就显得格外重要。因为一旦制程过程中发生些微的错误或污染，就可能会造成制程的失败，导致晶圆的毁损或报废，因而耗费大量成本。

2、经检索，专利：一种能够兼容8寸和12寸晶圆盒的loadport(cn202211223632.5)，包括主体框架，所述主体框架的前侧设置有安装座，所述安装座上安装有移动平台，所述移动平台上设置有锁紧机构，所述安装座的底部内侧安装有平台驱动机构和锁紧驱动机构，所述平台驱动机构与移动平台之间驱动连接，所述锁紧驱动机构与锁紧机构之间驱动连接。

3、在整个半导体制造设备中，在不同晶圆处理工具或设备的装载端口之间通常通过晶圆载体来分批地传送和存储多个晶圆。这种工具通常执行多种使用在ic芯片制造中的工艺，如光刻、蚀刻、材料/膜沉积、固化、退火、检查或其他工艺。这种晶圆载体是前端开启式晶圆传送盒(foup，front-opening-unified-pod)，这种晶圆载体是被设计成在受控环境下持有多个尺寸在300mm至450mm范围内的晶圆的塑料壳体。通常，每个晶圆载体均持有大约25个晶圆。前开式晶圆传送盒foup，这是半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。在上述loadport中foup直接对外，没有任何的防护，如有操作人员在产品还在工作时，

4、有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的loadport上foup防呆装置，使其更具有产业上的利用价值。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种loadport上foup防呆装置。

2、为实现上述目的，本技术采用如下技术方案：

3、一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架，所述主体框架的前端连接有安装座，所述安装座上连接有安装平台，所述安装平台上连接有foup，所述主体框架的前端连接有防呆框架，所述防呆框架位于安装座的下方设置，所述防呆框架内连接有用于防呆foup的升降防呆组件，所述升降防呆组件位于foup的前方设置；

4、所述升降防呆组件包括防呆安装板，所述防呆安装板连接在防呆框架的上，所述防呆安装板上连接有带座轴承，所述带座轴承上连接有丝杆，所述丝杆上连接有在其滑动的滑动块，所述滑动块上连接有连接板，所述连接板上连接有升降的防呆板，所述防呆安装板上连接有与丝杆相驱动连接的驱动电机。

5、优选地，所述的一种loadport上foup防呆装置，所述防呆板升到顶部的高度高于foup的高度。

6、优选地，所述的一种loadport上foup防呆装置，所述防呆安装板上连接有导向杆，所述滑动块上开设有导向孔，所述滑动块通过导向孔穿接于导向杆上。

7、优选地，所述的一种loadport上foup防呆装置，所述防呆框架上包围有遮挡板。

8、优选地，所述的一种loadport上foup防呆装置，所述防呆安装板上连接有用于感应滑动块的感应器，所述感应器设有2个，它们分设在防呆安装板上下两端。

9、优选地，所述的一种loadport上foup防呆装置，所述防呆板通过螺栓连接在连接板上。

10、借由上述方案，本技术至少具有以下优点：

11、本技术通过升降防呆组件可以防止人为拿掉foup，防止撞片的风险，通过升降防呆组件起到提醒操作人员。本技术结构简单，操作方便。

12、上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

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【技术保护点】

1.一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架(1)，所述主体框架(1)的前端连接有安装座(2)，所述安装座(2)上连接有安装平台(3)，所述安装平台(3)上连接有foup(4)，其特征在于：所述主体框架(1)的前端连接有防呆框架(5)，所述防呆框架(5)位于安装座(2)的下方设置，所述防呆框架(5)内连接有用于防呆foup(4)的升降防呆组件(6)，所述升降防呆组件(6)位于foup(4)的前方设置；

2.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆板(66)升到顶部的高度高于foup(4)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆安装板(61)上连接有导向杆(68)，所述滑动块(64)上开设有导向孔，所述滑动块(64)通过导向孔穿接于导向杆(68)上。

4.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆框架(5)上包围有遮挡板。

5.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆安装板(61)上连接有用于感应滑动块的感应器，所述感应器设有2个，它们分设在防呆安装板(61)上下两端。

6.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆板(66)通过螺栓连接在连接板(65)上。

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【技术特征摘要】

1.一种loadport上foup防呆装置，包括主体框架(1)，所述主体框架(1)的前端连接有安装座(2)，所述安装座(2)上连接有安装平台(3)，所述安装平台(3)上连接有foup(4)，其特征在于：所述主体框架(1)的前端连接有防呆框架(5)，所述防呆框架(5)位于安装座(2)的下方设置，所述防呆框架(5)内连接有用于防呆foup(4)的升降防呆组件(6)，所述升降防呆组件(6)位于foup(4)的前方设置；

2.根据权利要求1所述的一种loadport上foup防呆装置，其特征在于：所述防呆板(66)升到顶部的高度高于foup(4)的高度。

3.根据权利要求1所述的一种loadport上f...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈东民，林坚，卢伟，章建，顾阳洋，顾坚强，
申请(专利权)人：泓浒苏州半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：