【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及晶圆自动光学检测，尤其是涉及一种基准晶粒图像的生成方法、装置及电子设备。
技术介绍
1、晶圆检测的第一步一般需要建立基准晶粒图像，即一张表示晶圆上单个晶粒的图像。相关技术中，当晶粒的尺寸较大时，需要控制相机拍摄覆盖基准晶粒图像的多个fov图像，假设每个fov图像的尺寸为(w，h)，设横向方向每隔x mm进行拍摄，纵向方向每隔y mm进行拍摄，扫描图像横向之间的重合距离为overlapx mm，纵向之间的重合距离为overlapymm，但受限于机台整体运动精度和成像相关影响，以横向扫描为例，实际扫描图像之间间距并非完全为x mm，而是(x+δ)mm，其中δ为随机抖动变量，因此实际的图像之间的重合距离也在抖动，将其表示为(overlapx+overlapδ)mm。由于该随机抖动的原因，导致如果图像按照重合区域为overlapx进行直接拼接，会使拼接得到的基准晶粒图像存在明显的拼接缝，降低了基准晶粒图像的质量。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种基准晶粒图像的生成方法、装置及电子设备，以避免基准晶粒图像出现明显的拼接缝的问题，提高基准晶粒图像的质量。
2、本专利技术提供的一种基准晶粒图像的生成方法，方法包括：获取目标晶粒对应的多个待拼接图像对；其中，每个待拼接图像对中包括相邻的第一图像和第二图像，第一图像和第二图像之间具有重合区域；针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点；获
3、进一步的，针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点的步骤包括：针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定与当前重合区域对应的第一区域；基于第一区域确定图像匹配区域；从图像匹配区域中确定目标像素点。
4、进一步的，目标像素点为图像匹配区域中，处于中心位置的像素点。
5、进一步的，获取目标像素点在当前第一图像中的第一坐标值，以及在当前待拼接图像对中的当前第二图像中的第二坐标值的步骤包括：获取目标像素点在第一坐标系下的第一坐标值；其中，第一坐标系为当前第一图像对应的坐标系；将图像匹配区域与当前待拼接图像对中的当前第二图像进行匹配，得到当前第二图像中，与图像匹配区域相匹配的目标区域；基于目标区域，获取目标像素点在第二坐标系下的第二坐标值；其中，第二坐标系为当前第二图像对应的坐标系。
6、进一步的，根据第一坐标值和第二坐标值，确定当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像的步骤包括：根据第一坐标值，确定当前第一图像的第一裁剪区域；根据第二坐标值，确定当前第二图像的第二裁剪区域；对第一裁剪区域和第二裁剪区域进行拼接，得到当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像。
7、进一步的，基于每个待拼接图像对分别对应的拼接图像，确定目标晶粒对应的基准晶粒图像的步骤包括：根据每个待拼接图像对分别对应的拼接图像，确定整体拼接图像；基于整体拼接图像，确定目标晶粒对应的基准晶粒图像。
8、进一步的，获取目标晶粒对应的多个待拼接图像对的步骤包括：获取目标晶粒对应的多个扫描图像；其中，多个扫描图像为按预设扫描顺序扫描目标晶粒得到；基于多个扫描图像确定多个待拼接图像对；其中，每个待拼接图像对中包括相邻的第一图像和第二图像，第一图像和第二图像之间具有重合区域。
9、本专利技术提供的一种基准晶粒图像的生成装置，装置包括：第一获取模块，用于获取目标晶粒对应的多个待拼接图像对；其中，每个待拼接图像对中包括相邻的第一图像和第二图像，第一图像和第二图像之间具有重合区域；第一确定模块，用于针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点；第二获取模块，用于获取目标像素点在当前第一图像中的第一坐标值，以及在当前待拼接图像对中的当前第二图像中的第二坐标值；第二确定模块，用于根据第一坐标值和第二坐标值，确定当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像；第三确定模块，用于基于每个待拼接图像对分别对应的拼接图像，确定目标晶粒对应的基准晶粒图像。
10、本专利技术提供的一种电子设备，包括处理器和存储器，存储器存储有能够被处理器执行的机器可执行指令，处理器执行机器可执行指令以实现上述任一项的基准晶粒图像的生成方法。
11、本专利技术提供的一种机器可读存储介质，该机器可读存储介质存储有机器可执行指令，该机器可执行指令在被处理器调用和执行时，机器可执行指令促使处理器实现上述任一项的基准晶粒图像的生成方法。
12、本专利技术提供的基准晶粒图像的生成方法、装置及电子设备，获取目标晶粒对应的多个待拼接图像对；其中，每个待拼接图像对中包括相邻的第一图像和第二图像，第一图像和第二图像之间具有重合区域；针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点；获取目标像素点在当前第一图像中的第一坐标值，以及在当前待拼接图像对中的当前第二图像中的第二坐标值；根据第一坐标值和第二坐标值，确定当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像；基于每个待拼接图像对分别对应的拼接图像，确定目标晶粒对应的基准晶粒图像。该方式可以根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从当前第一图像中确定目标像素点，并根据该同一个目标像素点在当前第一图像中的第一坐标值和在当前第二图像中的第二坐标值，确定相应的当前拼接图像，可以避免在当前拼接图像中出现拼接缝的问题，提升了最终生成的基准晶粒图像的质量。
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1.一种基准晶粒图像的生成方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从所述当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述目标像素点为所述图像匹配区域中，处于中心位置的像素点。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获取所述目标像素点在所述当前第一图像中的第一坐标值，以及在当前待拼接图像对中的当前第二图像中的第二坐标值的步骤包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述第一坐标值和所述第二坐标值，确定当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像的步骤包括：
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，基于每个待拼接图像对分别对应的拼接图像，确定所述目标晶粒对应的基准晶粒图像的步骤包括：
7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，获取目标晶粒对应的多个待拼接图像对的步骤包括：
8.一种基准晶粒图像的生成装置，其特征在于，所述装置包括：<...
【技术特征摘要】
1.一种基准晶粒图像的生成方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，针对每个待拼接图像对，根据当前待拼接图像对所对应的当前重合区域，从所述当前待拼接图像对中的当前第一图像中，确定目标像素点的步骤包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述目标像素点为所述图像匹配区域中，处于中心位置的像素点。
4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，获取所述目标像素点在所述当前第一图像中的第一坐标值，以及在当前待拼接图像对中的当前第二图像中的第二坐标值的步骤包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述第一坐标值和所述第二坐标值，确定当前待拼接图像对所对应的当前拼接图像的步骤包括：
6.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：雷可，郑军，
申请(专利权)人：聚时科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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