一种ATE探针漏装检测装置及其治具板制造方法及图纸

本发明专利技术一种ATE探针漏装检测装置及其治具板涉及半导体精密仪器技术领域；所述检测装置包括：治具板、传送机构和移除机构，所述治具板包括：外框和治具块，外框的一侧设置有开口，外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块，每个治具块上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔，此结构能够实现：由传送机构将左侧的治具板的外框内的治具块移动至右侧空的外框内，在移动过程中，移除机构将内部未装入零件的治具块移除，使右侧空的外框内部的治具块均为装载有零件的治具块，使右侧的治具板的装入率达到百分之百，避免了工作人员手动挑选，提高了预组装的成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一种ate探针漏装检测装置及其治具板涉及半导体精密仪器。

技术介绍

1、ate（automatic test equipment）指广义上的ic测试设备。包含了软件和硬件的结合，一般由大量的测试机能集合在一起，由电脑控制来测试半导体芯片的功能性。测试设备上需要大量的ate探针，对ate探针的生产提出了新的要求。

2、ate探针主要由针管、针头、弹簧和针尾四个部件构成，在生产过程中，需要先将该四个部件进行预组装，依次将针尾、弹簧和针头装入针管内，预组装完成后，在针管外壁打上铆坑，实现组装。

3、为提高预组装效率，通常采用治具板进行批量组装，如图12所示，图中为落入治具板漏孔内的针管，通过在治具板上设置漏孔，由于漏孔的直径小于针管一端外壁上的凸缘，使针管的下端容易落入漏孔中。因此，在治具板内撒入多个针管，在晃动后，多数针管能够以正确的方向落入漏孔内，便于后续的批量预组装。

4、但是，无法保障所有的针管等零件均能够落入漏孔，在晃动后，仍需要人工进行检查，将未落入漏孔的零件捡出，并在空的漏孔内装入零件，人工检查的效率低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种ATE探针漏装检测装置，包括：治具板（1）、传送机构（2）和移除机构（3），所述治具板（1）包括：外框（1-1）和治具块（1-2），所述的外框（1-1）的一侧设置有开口，外框（1-1）的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块（1-2），每个治具块（1-2）上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔；

2.根据权利要求1所述的一种ATE探针漏装检测装置，其特征在于，所述传送机构（2）包括：传送带（2-1）和引导框架（2-2），所述的传送带（2-1）用于驱动治具块（1-2）滑动，所述引导框架（2-2）用于引导治具块（1-2）从一侧的外框（1-1）内...

【技术特征摘要】

1.一种ate探针漏装检测装置，包括：治具板（1）、传送机构（2）和移除机构（3），所述治具板（1）包括：外框（1-1）和治具块（1-2），所述的外框（1-1）的一侧设置有开口，外框（1-1）的内部设置有若干个朝向开口的滑槽，每个滑槽内均滑动设置有一行治具块（1-2），每个治具块（1-2）上均设置有一个供所述探针的零件落入的漏孔；

2.根据权利要求1所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述传送机构（2）包括：传送带（2-1）和引导框架（2-2），所述的传送带（2-1）用于驱动治具块（1-2）滑动，所述引导框架（2-2）用于引导治具块（1-2）从一侧的外框（1-1）内部移动至另一侧的外框（1-1）内。

3.根据权利要求2所述的一种ate探针漏装检测装置，其特征在于，所述的移除机构（3）包括：摄像头（3-1）和推板（3-2），所述的摄像头（3-1）设置在推板（3-2）前侧的引导框架（2-2）上，摄像头（3-1）用于判断治具块（1-2）内部是否装入探针零件，所述的推板（3-2）设置在引导框架（2-2）上，推板（3-2）用于将漏孔内未装入探针零件的治具块（...

【专利技术属性】
技术研发人员：金永斌，王强，贺涛，丁宁，朱伟，章圣达，陈伟，
申请(专利权)人：苏州法特迪科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：