下载一种ATE探针漏装检测装置及其治具板的技术资料

文档序号:40710370

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本发明一种ATE探针漏装检测装置及其治具板涉及半导体精密仪器技术领域;所述检测装置包括:治具板、传送机构和移除机构,所述治具板包括:外框和治具块,外框的一侧设置有开口,外框的内部设置有若干个朝向开口的滑槽,每个滑槽内均滑动设置有一行治具块,...
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