一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具技术方案

技术编号:40690347 阅读:2 留言:0更新日期:2024-03-18 20:16
本技术公开了一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,涉及芯片测试系统探针夹具技术领域,包括第一支架和第二支架,所述第第一支架和第二支架之间通过第一直线导轨和第二直线导轨连接,两个所述第一直线导轨位于两个第二直线导轨正上方,所述第一直线导轨和第二直线导轨上套设有打磨夹管,所述第一支架和第二支架两侧的侧壁上均贯穿开设有圆孔,两个所述圆孔的两侧均设有环形导轨。本技术通过采用多个卡块的设置,且卡块移动速度一致,使得测试探针被固定在第一支架上时,圆心不会发生偏移,从而可以避免抛光不均匀的情况,同时,在固定测试探针时,只需要转动摇把,使得该装置很容易调节来适用于不同直径的测试探针。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片测试系统探针夹具,具体为一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具


技术介绍

1、近年来半导体制程技术突飞猛进,超前摩尔定律预估法则好几年,现阶段已向7奈米以下挺进。产品讲求轻薄短小,ic体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多,为了降低芯片封装所占的面积与改善ic效能,现阶段覆晶方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及cpu等,上述高阶封装方式单价高昂,如果能在封装前进行芯片测试,发现有不良品存在晶圆当中,即进行标记,直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃,可省下不必要的封装成本。

2、测试探针在生产加工的过程中,需要对其进行打磨抛光,使得探针更加纤细光滑,但探针结构较小,因此工作人员手持抛光不便,同时无法进行不同程度的打磨抛光效果,使得抛光效果不佳,导致产品的光滑程度不够完善,进而使得成品率降低,所以提出一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具来解决上述出现的问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、本技术提供一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,采用如下的技术方案:

3、一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,包括第一支架和第二支架,所述第第一支架和第二支架之间通过第一直线导轨和第二直线导轨连接,两个所述第一直线导轨位于两个第二直线导轨正上方;

4、所述第一直线导轨和第二直线导轨上套设有打磨夹管,所述第一支架和第二支架两侧的侧壁上均贯穿开设有圆孔,两个所述圆孔的两侧均设有环形导轨,每对所述环形导轨内均转动连接有环形支架,所述环形支架外壁中线处均设有齿条环。环形支架能够在环形导轨上进行转动。

5、优选的,所述环形支架内壁中心处均匀开设有多个滑孔,所述滑孔内滑动连接有卡块,所述卡块中线处均焊接有排齿条,每个所述环形支架内均均匀转动连接有多个齿轮组,每个所述环形支架上的齿轮组之间通过链条传动连接。使得控制一个齿轮组转动在链条的作用下能够带动多个齿轮组转动。

6、优选的,多个所述齿轮组均设有两个齿轮,其中一个齿轮与排齿条啮合连接,另一个齿轮与链条啮合连接,每个所述环形支架上均有一个齿轮组的主轴延伸出环形支架表面,并在末端设有摇把。在固定测试探针时,只需要转动摇把,使得该装置很容易调节来适用于不同直径的测试探针。

7、优选的,所述卡块、圆孔、摇把、齿条环、齿轮组、排齿条、链条、滑孔构成夹持结构。使得测试探针被固定在第一支架上时,圆心不会发生偏移,从而可以避免抛光不均匀的情况。

8、优选的,所述第一支架上固定安装有电机支架,所述电机支架上固定安装有驱动电机,所述驱动电机的输出端固定连接有转动齿轮,所述转动齿轮与齿条环相互啮合。

9、优选的,所述转动齿轮、驱动电机、齿条环、环形支架、环形导轨构成旋转结构。保证了转动齿轮能够在驱动电机的驱动下与齿条环啮合连接,使得环形支架进行转动,从而带动测试探针进行转动,使其进行很好的抛光工作。

10、优选的,所述第一直线导轨和第二直线导轨上套设有打磨夹管,所述打磨夹管的内侧壁固安装有多个弹力磨块。打磨夹管与第一直线导轨和第二直线导轨滑动连接,在安装时,测试探针会贯穿第一支架、打磨夹管、第二支架,使得该装置在第一支架和第二支架的夹持固定作用下,可以对测试探针的外表面进行抛光。

11、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

12、1.通过采用多个卡块的设置,且卡块移动速度一致,使得测试探针被固定在第一支架上时,圆心不会发生偏移,从而可以避免抛光不均匀的情况,同时,在固定测试探针时,只需要转动摇把,使得该装置很容易调节来适用于不同直径的测试探针。

13、2.通过采用转动齿轮、驱动电机、齿条环的设置,保证了转动齿轮能够在驱动电机的驱动下与齿条环啮合连接,使得环形支架进行转动,从而带动测试探针进行转动,使其进行很好的抛光工作。

14、3.通过将打磨夹管与第一直线导轨和第二直线导轨滑动连接,在安装时,测试探针会贯穿第一支架、打磨夹管、第二支架,使得该装置在第一支架和第二支架的夹持固定作用下,可以对测试探针的外表面进行抛光。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,包括第一支架(1)和第二支架(13),其特征在于:所述第第一支架(1)和第二支架(13)之间通过第一直线导轨(2)和第二直线导轨(8)连接,两个所述第一直线导轨(2)位于两个第二直线导轨(8)正上方;

2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述环形支架(3)内壁中心处均匀开设有多个滑孔(18),所述滑孔(18)内滑动连接有卡块(4),所述卡块(4)中线处均焊接有排齿条(16),每个所述环形支架(3)内均均匀转动连接有多个齿轮组(15),每个所述环形支架(3)上的齿轮组(15)之间通过链条(17)传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:多个所述齿轮组(15)均设有两个齿轮,其中一个齿轮与排齿条(16)啮合连接,另一个齿轮与链条(17)啮合连接,每个所述环形支架(3)上均有一个齿轮组(15)的主轴延伸出环形支架(3)表面,并在末端设有摇把(10)。

4.根据权利要求3所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述卡块(4)、圆孔(9)、摇把(10)、齿条环(11)、齿轮组(15)、排齿条(16)、链条(17)、滑孔(18)构成夹持结构。

5.根据权利要求4所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述第一支架(1)上固定安装有电机支架,所述电机支架上固定安装有驱动电机(7),所述驱动电机(7)的输出端固定连接有转动齿轮(6),所述转动齿轮(6)与齿条环(11)相互啮合。

6.根据权利要求5所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述转动齿轮(6)、驱动电机(7)、齿条环(11)、环形支架(3)、环形导轨(5)构成旋转结构。

7.根据权利要求6所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述第一直线导轨(2)和第二直线导轨(8)上套设有打磨夹管(12),所述打磨夹管(12)的内侧壁固安装有多个弹力磨块(14)。

...

【技术特征摘要】

1.一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,包括第一支架(1)和第二支架(13),其特征在于:所述第第一支架(1)和第二支架(13)之间通过第一直线导轨(2)和第二直线导轨(8)连接,两个所述第一直线导轨(2)位于两个第二直线导轨(8)正上方;

2.根据权利要求1所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:所述环形支架(3)内壁中心处均匀开设有多个滑孔(18),所述滑孔(18)内滑动连接有卡块(4),所述卡块(4)中线处均焊接有排齿条(16),每个所述环形支架(3)内均均匀转动连接有多个齿轮组(15),每个所述环形支架(3)上的齿轮组(15)之间通过链条(17)传动连接。

3.根据权利要求2所述的一种适用于半导体芯片测试系统的探针夹具,其特征在于:多个所述齿轮组(15)均设有两个齿轮,其中一个齿轮与排齿条(16)啮合连接,另一个齿轮与链条(17)啮合连接,每个所述环形支架(3)上均有一个齿轮组(15)的主轴延伸出环形支架(3)表面,并在末端设有摇把...

【专利技术属性】
技术研发人员:卢小品
申请(专利权)人:昆山捷誉兴精密机械有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1