【技术实现步骤摘要】
本公开涉及光刻，特别是涉及一种光阻用量监控装置、系统及方法。
技术介绍
1、在光刻制程中，光线透过事先制备的掩模版将掩模版上的图形投影在晶圆表面的光刻胶上，实现曝光，激发光化学反应，再通过显影的过程将掩模版的图形存留在光刻胶上。之后，通过刻蚀等步骤，将图形逐层转移，最终留在衬底上。
2、然而，传统的光刻胶使用装置在厂内实际消耗光刻胶体积会因投片量、线上跑货等情况发生实时变化，需要相关工程师实时监控并补充光阻液。因此，光阻液安全库存机制的灵活度相对较低，且对相关工程师的经验及工作态度严谨性要求较高，容易导致光阻过期或解冻不足的情况发生，增加生产成本甚至延长相应的工艺周期。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述
技术介绍
中的问题，提供一种能够避免人为失误，自动补充光阻的光阻用量监控装置、系统及方法。
2、为实现上述目的及其他目的，在一些实施例中，本公开的第一方面提供了一种光阻用量监控装置，用于监控机台光阻瓶内光阻液位的实时高度值，光阻用量监控装置包括监测器与警示器。监测器设置于光阻瓶沿第一方向的相对两侧，用于在实时高度值低于第一预设值的情况下，生成第一状态变化信息，及在实时高度值低于第二预设值的情况下，生成第二状态变化信息；第一预设值大于第二预设值；第一方向垂直于光阻液位的高度方向；警示器与监测器、光阻管理系统服务器及成本中心系统服务器均相连，用于根据第一状态变化信息经由光阻管理系统服务器生成第一警示信息，及根据第二状态变化信息经由光阻管理系统服务器生成第二警
3、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，通过于光阻瓶沿第一方向的相对两侧设置监测器的发送器与接收器，基于光阻瓶内光阻液位高度变化导致光阻瓶内光线折射率变化的原理，实现根据光阻瓶内光阻液位的高度变化生成不同的状态变化信息，并实现在光阻瓶内光阻液位的实时高度值低于第一预设值的情况下，生成第一状态变化信息，在实时高度值低于第二预设值的情况下，生成第二状态变化信息，利用警示器根据第一状态变化信息经由光阻管理系统服务器生成第一警示信息，及根据第二状态变化信息经由光阻管理系统服务器生成第二警示信息并触发成本中心系统服务器自动生成光阻领料单。由于实现实时监控并在光阻瓶内光阻液位的实时高度值低于第二预设值的情况下触发成本中心系统服务器自动生成光阻领料单，实现了根据光阻领料单自动领取光阻入库并补充对应的安全库存，建立动态安全库存。相对于传统光阻管理系统由人来判断和监控光阻的实时用量，本实施例既能避免产生因人为失误导致未及时储备安全库存的问题，又能减少提前解冻导致的光阻过期问题，节省了生产成本并避免人工失误导致的工艺周期延长。
4、在一些实施例中，监测器包括第一子监测器及第二子监测器，第一子监测器设置于光阻瓶沿第一方向的相对两侧，用于在实时高度值低于第一预设值的情况下，生成第一状态变化信息；第二子监测器设置于光阻瓶沿第一方向的相对两侧，用于在实时高度值低于第二预设值的情况下，生成第二状态变化信息，实现根据光阻瓶内光阻液位的实时高度变化生成不同的状态变化信息，从而实现对光阻用量的实时在线监控。
5、在一些实施例中，第一子监测器包括第一信号处理电路及设置于光阻瓶沿第一方向的相对两侧的第一光发送器、第一光接收器；第一光发送器用于发出平行于第一方向且穿过光阻瓶的第一光信号，光接收器用于接收第一光信号，再将接收的第一光信号传输给第一信号处理电路，经由第一信号处理电路转换为第一状态变化信息。
6、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，当光阻瓶内的液位到达第一光接收器的位置后，光阻瓶内的光线折射率产生变化，导致第一光接收器接收的第一光信号产生变化，使得第一信号处理电路根据第一光信号的变化生成第一状态变化信息，从而可以实现对第一子监测器检测范围内的光阻用量的实时监测。
7、在一些实施例中，第二子监测器包括第二信号处理电路及设置于光阻瓶沿第一方向的相对两侧的第二光发送器、第二光接收器；第二光发送器用于发出平行于第一方向且穿过光阻瓶的第二光信号，第二光接收器用于接收第二光信号，再将接收的第二光信号传输给第二信号处理电路，经由第二信号处理电路转换为第二状态变化信息。
8、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，当光阻瓶内的液位到达第二光接收器的位置后，光阻瓶内的光线折射率产生变化，导致第二光接收器接收的第二光信号产生变化，使得第二信号处理电路根据第二光信号的变化生成第二状态变化信息，从而可以实现对第二子监测器检测范围内的光阻用量的实时监测。
9、在一些实施例中，第一信号处理电路包括第一检测电路及第一放大电路，第一检测电路与第一光接收器的输出端连接，用于根据第一光信号生成第一初始电信号；第一放大电路与第一检测电路的输出端连接，用于放大第一初始电信号，并生成第一状态变化信息。
10、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，将第一检测电路与第一光接收器的输出端连接，用于根据第一光信号生成第一初始电信号，通过把光强度的变化转换成电信号的变化来实现控制的。根据波粒二象性，光是由光速运动的光子所组成，当物体受到光线照射时，其内部的电子吸收了光子的能量后改变状态，自身的电性质也会发生改变。从而，通过把光强度的变化转换成电信号的变化来实现后续控制。电信号更便于后续对信号的处理，具有更高的抗干扰能力，更远的传输距离，且失真幅度小。将第一放大电路与第一检测电路的输出端连接，用于放大第一初始电信号，将第一检测电路提供的功率较小的电信号放大，使得电信号可以驱动负载，提高对微弱信号的感知能力。
11、在一些实施例中，第一检测电路包括第一开关电路，第一开关电路与第一光接收器的输出端、第一放大电路的输入端均连接，用于在实时高度值低于第一预设值的情况下，根据接收的第一光信号生成第一初始电信号并提供至第一放大电路。
12、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，第一开关电路与第一光接收器的输出端、第一放大电路的输入端均连接，通过输入信号与开关电路预先设定的阈值进行对照来决定开关电路输出的电平状态，然后将信号输出给第一放大电路。利用光线的折射及反射原理，光线在两种不同介质的分界面将产生反射或折射现象。当被测液体处于高位时则被测液体与光电开关形成一种分界面，当被测液体处于低位时，则空气与光电开关形成另一种分界面，这两种分界面使光电开关内部光接收晶体所接收的反射光强度不同，即对应两种不同的开关状态。
13、在一些实施例中，第二信号处理电路包括第二检测电路及第二放大电路，第二检测电路与第二光接收器的输出端连接，用于根据第二光信号生成第二初始电信号；第二放大电路与第二检测电路的输出端连接，用于放大第二初始电信号，并生成第二状态变化信息。
14、于上述实施例中的光阻用量监控装置中，将第二检测电路与第二光接收器的输出端连接，用于根据第二光信号生成第二初始电信号，通过把光强度的变化转换成电信号的变化来实现控制的。根据波粒二象性，光是由光速运动的本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光阻用量监控装置，其特征在于，用于监控机台光阻瓶内光阻液位的实时高度值，所述装置包括：
2.根据权利要求1所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述监测器包括：
3.根据权利要求2所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第一子监测器包括：
4.根据权利要求2所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第二子监测器包括：
5.根据权利要求3所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第一信号处理电路包括：
6.根据权利要求5所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第一检测电路包括：
7.根据权利要求4所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第二信号处理电路包括：
8.根据权利要求7所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第二检测电路包括：
9.根据权利要求3所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第一光信号、所述第二光信号均包括红光及/或红外光。
10.根据权利要求3-8任一项所述的光阻用量监控装置，其特征在于，所述第一光信号、所述第二光信号的波长均大于760nm。
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