【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及太阳能电池片生产设备，尤其涉及一种载片舟及镀膜设备。
技术介绍
1、在半导体和太阳能电池的制造设备中，扩散设备、氧化设备以及镀膜设备等均需要用到石墨舟，以承载硅片等片状材料，便于片状材料的镀膜。在传统石墨舟中，一般在舟板上凸出设置多个石墨卡点，用以对硅片进行支撑卡装和定位。
2、但是，随着太阳能电池的发展，硅片的厚度越来越薄，上述利用石墨卡点进行硅片定位的方式会导致硅片出现翘片和烧焦的问题。
3、因此，亟需一种载片舟及镀膜设备，以解决以上问题。
技术实现思路
1、根据本专利技术的一个方面，目的在于提供一种载片舟。
2、本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
3、为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
4、载片舟，用于承载片状材料，包括多个间隔设置的承载部和多个绝缘定位柱。承载部开设嵌设槽，嵌设槽能够容纳片状材料，片状材料沿载片舟长度方向的侧棱与嵌设槽的侧壁接触。绝缘定位柱贯穿设置于多个承载部，其中，每个嵌设槽的周侧布置有多个绝缘定位柱，嵌设槽中的片状材料能够定位于多个绝缘定位柱之间。通过上述设置，增大片状材料与承载部的接触面积，以提高产能；取消卡点接触方式，防止片状材料翘片或烧焦。
5、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，绝缘定位柱开设有容纳槽，片状材料的侧棱可活动地嵌设于容纳槽。通过上述设置，提升片状材料安装的稳定性。
6、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，容纳槽包括导向部，片状材料受热变形或冷却后，能够沿导向部运动。通过上述设置，避免片状材料刚性定位导致受热膨胀变形损坏。
7、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，容纳槽包括第一容纳空间和第二容纳空间，第一容纳空间的两个第一槽壁平行设置，第二容纳空间的两个第二槽壁之间的间距沿容纳槽的开口方向逐渐变大，其中，第一容纳空间包括底壁，第二容纳空间位于第一容纳空间远离底壁的一侧，导向部包括第二槽壁。通过上述设置，能够为片状材料受热膨胀和冷却恢复原状提供变形空间。
8、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，承载部开设有安装孔，安装孔包括相互连通的定位孔和过渡孔，定位孔的孔径小于过渡孔的孔径，绝缘定位柱能够嵌设于定位孔中。通过上述设置，实现绝缘定位柱在承载部上的快速安装。
9、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，绝缘定位柱上设置定位片，定位片能够嵌设于过渡孔中，定位片能够定位绝缘定位柱。通过上述设置，提升片状材料的定位稳定性，并防止绝缘定位柱活动偏移。
10、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，载片舟还包括多个绝缘连接件，每个绝缘连接件贯穿并连接于多个承载部。通过上述设置，绝缘连接件在绝缘定位柱的基础上进一步增加该载片舟的结构整体性。
11、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，绝缘连接件上沿轴线方向间隔设置有多个绝缘套管，每个绝缘套管的两端分别抵靠相邻两个承载部。通过上述设置，用绝缘套管隔开相邻的承载部，保证相邻的承载部之间的间隔设置。
12、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，载片舟还包括多个锁紧螺母与多个垫片，绝缘定位柱的端部利用锁紧螺母固定于承载部，垫片夹设于锁紧螺母和承载部之间。通过上述设置，增加载片舟的整体强度。
13、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，载片舟还包括导电部，导电部被配置为连接电极和承载部。通过上述设置，实现载片舟的通电功能。
14、作为本专利技术提供的载片舟的可选方案，载片舟还包括多个舟脚，多个舟脚均匀设置于导电部的底部，以对承载部进行支撑。通过上述设置，利用舟脚作为支撑，保证载片舟的稳定性。
15、根据本专利技术的另一个方面，目的在于提供一种镀膜设备，镀膜设备包括炉管，还包括上述方案任一项提供的载片舟，载片舟设置于炉管内。
16、本专利技术的有益效果：
17、本专利技术提供的载片舟包括多个间隔设置的承载部和多个绝缘定位柱。承载部开设嵌设槽，嵌设槽能够容纳片状材料，片状材料沿载片舟长度方向的侧棱与嵌设槽的侧壁接触。也就是说，通过在承载部上设置嵌设槽，片状材料能够与承载部之间形成面接触，有效扩大片状材料与承载部之间的接触面积，取消卡点接触方式，避免片状材料在扩散镀膜过程中出现翘片和烧焦的问题。绝缘定位柱贯穿设置于多个承载部，其中，每个嵌设槽的周侧布置有多个绝缘定位柱，嵌设槽中的片状材料能够定位于多个绝缘定位柱之间。也就是说，该绝缘定位柱能够在对多个承载部进行连接的基础上，为片状材料提供支撑，保证片状材料在嵌设槽中的安装稳定性，提升镀膜效果。
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1.载片舟，用于承载片状材料(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述绝缘定位柱(200)开设有容纳槽(210)，所述片状材料(10)的侧棱可活动地嵌设于所述容纳槽(210)。
3.根据权利要求2所述的载片舟，其特征在于，所述容纳槽(210)包括导向部，所述片状材料(10)受热变形或冷却后，能够沿所述导向部运动。
4.根据权利要求3所述的载片舟，其特征在于，所述容纳槽(210)包括第一容纳空间和第二容纳空间，所述第一容纳空间的两个第一槽壁(211)平行设置，所述第二容纳空间的两个第二槽壁(212)之间的间距沿所述容纳槽(210)的开口方向逐渐变大，其中，所述第一容纳空间包括底壁，所述第二容纳空间位于所述第一容纳空间远离所述底壁的一侧，所述导向部包括所述第二槽壁(212)。
5.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述承载部(100)开设有安装孔(120)，所述安装孔(120)包括相互连通的定位孔(121)和过渡孔(122)，所述定位孔(121)的孔径小于所述过渡孔(122)的孔径，所述绝缘定位
6.根据权利要求5所述的载片舟，其特征在于，所述绝缘定位柱(200)上设置定位片(220)，所述定位片(220)能够嵌设于所述过渡孔(122)中，所述定位片(220)能够定位所述绝缘定位柱(200)。
7.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述载片舟还包括多个绝缘连接件(300)，每个所述绝缘连接件(300)贯穿并连接于多个所述承载部(100)。
8.根据权利要求7所述的载片舟，其特征在于，所述绝缘连接件(300)上沿轴线方向间隔设置有多个绝缘套管(310)，每个所述绝缘套管(310)的两端分别抵靠相邻两个所述承载部(100)。
9.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述载片舟还包括多个锁紧螺母(400)与多个垫片(500)，所述绝缘定位柱(200)的端部利用所述锁紧螺母(400)固定于所述承载部(100)，所述垫片(500)夹设于所述锁紧螺母(400)和所述承载部(100)之间。
10.根据权利要求1-9任一项所述的载片舟，其特征在于，所述载片舟还包括导电部(600)，所述导电部(600)被配置为连接电极和所述承载部(100)。
11.根据权利要求10所述的载片舟，其特征在于，所述载片舟还包括多个舟脚(700)，多个所述舟脚(700)均匀设置于所述导电部(600)的底部，以对所述承载部(100)进行支撑。
12.镀膜设备，包括炉管，其特征在于，还包括如权利要求1-11任一项所述的载片舟，所述载片舟设置于所述炉管内。
...【技术特征摘要】
1.载片舟，用于承载片状材料(10)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述绝缘定位柱(200)开设有容纳槽(210)，所述片状材料(10)的侧棱可活动地嵌设于所述容纳槽(210)。
3.根据权利要求2所述的载片舟，其特征在于，所述容纳槽(210)包括导向部，所述片状材料(10)受热变形或冷却后，能够沿所述导向部运动。
4.根据权利要求3所述的载片舟，其特征在于，所述容纳槽(210)包括第一容纳空间和第二容纳空间，所述第一容纳空间的两个第一槽壁(211)平行设置，所述第二容纳空间的两个第二槽壁(212)之间的间距沿所述容纳槽(210)的开口方向逐渐变大，其中，所述第一容纳空间包括底壁，所述第二容纳空间位于所述第一容纳空间远离所述底壁的一侧，所述导向部包括所述第二槽壁(212)。
5.根据权利要求1所述的载片舟，其特征在于，所述承载部(100)开设有安装孔(120)，所述安装孔(120)包括相互连通的定位孔(121)和过渡孔(122)，所述定位孔(121)的孔径小于所述过渡孔(122)的孔径，所述绝缘定位柱(200)能够嵌设于所述定位孔(121)中。
6.根据权利要求5所述的载片舟，其特征在于，所述绝缘定位柱(200)上设置定位片(220)，所述定位片(220)能够嵌设于所述过渡孔(...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘官炫，朱太荣，张武，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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