【技术实现步骤摘要】
本申请涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法。
技术介绍
1、蒸镀工艺是各类芯片制作过程中常见的工艺步骤，在一些蒸镀的过程中，氧气的含量对于膜层的质量起到关键性的作用。为了获得最佳的工艺效果，蒸镀装置腔体内的氧气含量的监测显得尤为重要。然而，在实际蒸镀的过程中，蒸镀装置腔体可能发生微漏等情况导致氧气含量发生改变，而传统的氧气监测方式无法检测蒸镀装置腔体中实际的氧气含量情况。而蒸镀装置腔体中的高温环境也导致无法在蒸镀装置腔体中设置相关的检测仪器。
2、因此，如何准确的测量出蒸镀装置腔体内部的实际氧气含量情况是亟需解决的问题。
技术实现思路
1、鉴于上述相关技术的不足，本申请的目的在于提供一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，旨在解决传统的氧气监测方式无法检测蒸镀装置腔体中实际的氧气含量情况的问题。
2、一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，包括：
3、提供基材，所述基材包括绝缘表面；
4、将所述基材置入腔体内进行蒸镀以在所述...
【技术保护点】
1.一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述根据所述ITO膜层的质量以及电阻率确定出所述腔体内的氧气含量包括：
3.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ITO膜层的质量包括：
4.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ITO膜层的电阻率包括：
5.如权利要求4所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ITO膜层的电阻值包括：p>
6.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述根据所述ito膜层的质量以及电阻率确定出所述腔体内的氧气含量包括：
3.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ito膜层的质量包括：
4.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ito膜层的电阻率包括：
5.如权利要求4所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，其特征在于，所述确定出所述ito膜层的电阻值包括：
6.如权利要求1所述的蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈旋宇，黄琪兵，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。