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本申请涉及一种蒸镀装置腔体内部氧含量的测量方法，该方法包括提供包括绝缘表面的基材；将基材置入腔体内进行蒸镀以在绝缘表面上形成预定厚度的ITO膜层；确定出ITO膜层的质量以及电阻率；根据质量以及电阻率确定出腔体内的氧气含量。本申请的蒸镀装置腔...
该专利属于重庆康佳光电技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过重庆康佳光电技术研究院有限公司授权不得商用。

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