晶圆定位方法、装置、设备和存储介质制造方法及图纸

本公开提供了一种晶圆定位方法、装置、设备和存储介质，该方法包括通过线阵相机对平台上晶圆进行扫描，得到晶圆的扫描图像；由扫描图像中提取晶圆的边缘点作为图像边缘点，并获取各图像边缘点的坐标；采用预先构建的坐标转换模型，将各图像边缘点的坐标转换到平台坐标系下，得到各平台边缘点的坐标；将各平台边缘点的坐标进行圆拟合，得到目标拟合圆；计算目标拟合圆的圆心，并将目标拟合圆的圆心作为晶圆在平台上的位置。本公开通过坐标转换模型可以直接将图像边缘点坐标转换到平台坐标系下，进而基于平台坐标系下各平台边缘点的坐标，确定出晶圆在平台上的位置，不再需要特定的转换装置，也可以实现晶圆定位，降低了晶圆的定位成本。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及晶圆测试，尤其涉及一种晶圆定位方法、装置、设备和存储介质。

技术介绍

1、在晶圆测试流程中，需要将晶圆放置在测试平台的标准位置处进行测试，所以需要先对晶圆进行定位，确定晶圆当前位置与标准位置的偏移，然后再根据偏移将晶圆调整到标准位置处。

2、在目前的晶圆定位方法中，一般是先通过(线阵或面阵)ccd相机采集晶圆当前位置处和标准位置处的两张图像；然后，针对每张图像，分别提取出晶圆边缘点坐标并拟合成圆，计算两个拟合圆的圆心偏移，则计算出的圆心偏移即晶圆当前位置与标准位置在相机坐标系下的偏移；接着，基于相机坐标系下的偏移，采用特定的转换装置将晶圆调整到标准位置处。也就是说，在现有的晶圆定位方法需要基于特定的转换装置才能实现。

技术实现思路

1、有鉴于此，本公开提出了一种晶圆定位方法、装置、设备和存储介质，可以直接确定出晶圆在平台上的位置，从而不再需要特定的转换装置，也可以实现晶圆的定位，从而降低了晶圆的定位成本。

2、根据本公开的第一方面，提供了一种晶圆定位方法，包括：

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【技术保护点】

1.一种晶圆定位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述坐标转换模型基于所述线阵相机到相机扫描线两端的距离、所述相机扫描线的长度、所述线阵相机与所述平台所在平面的夹角、所述相机扫描线的像素当量、所述线阵相机每行像素所占的扫描角度、所述线阵相机图像原点在所述平台坐标系下的坐标以及所述相机扫描线与所述平台坐标系的横轴夹角中的至少一个参数构建。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述坐标转换模型如下所示：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将各所述平台边缘点的坐标进行圆拟合，得到目标拟合圆时，包括：

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【技术特征摘要】

1.一种晶圆定位方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述坐标转换模型基于所述线阵相机到相机扫描线两端的距离、所述相机扫描线的长度、所述线阵相机与所述平台所在平面的夹角、所述相机扫描线的像素当量、所述线阵相机每行像素所占的扫描角度、所述线阵相机图像原点在所述平台坐标系下的坐标以及所述相机扫描线与所述平台坐标系的横轴夹角中的至少一个参数构建。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述坐标转换模型如下所示：

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在将各所述平台边缘点的坐标进行圆拟合，得到目标拟合圆时，包括：

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述晶圆为...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡坤，云洋，李龙飞，
申请(专利权)人：北京博视智动技术有限公司，
类型：发明
国别省市：