【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件加工的，具体提供一种抛光与原位检测装置及抛光加工方法。
技术介绍
1、科学技术的不断发展，对各类光学系统的成像性能和质量提出了更高的要求，这对于仅使用球面、非球面光学元件的传统光学系统提出了巨大的挑战。自由曲面可以在不增加光学元件数量的前提下增加光学系统设计自由度，可以有效减少光学系统设计残差和光学元件数量，同时实现成像质量的改善和光学系统结构的简化，采用自由曲面光学元件，以其具有的非对称结构形式，提供灵活的空间布局、拓展优化自由度、提升轴外像差平衡能力、改善视场适应能力，逐渐成为必然趋势。
2、金属材料由于其具有良好的加工特性，依托现代的超精密机械加工技术，可以实现大口径、高陡度、高精度自由曲面光学元件的制造，并且，利用单点金刚石车削技术能够快速的获得满足高质量、高性能光学系统要求的光滑镜面，加工时间仅为玻璃反射镜磨削、研磨、抛光过程的几十分之一。此外，使用金属作为光学元件的基底，还具有表面质量较高、成本较低、适合批量化制造等优点。因此，金属基光学元件作为高效、高质量制造技术的代表，在激光通信、光学遥...
【技术保护点】
1.一种抛光与原位检测装置，其特征在于，包括用于抛光与原位检测的工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置，其中：
2.根据权利要求1所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述原位检测装置还包括第一位置微调机构和第二位置微调机构，其中：
3.根据权利要求1所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述检测定位装置包括间隔设于所述工作台上的第一定位模块和第二定位模块，所述原位检测装置包括设在所述检测支架上的第一定位杆和第二定位杆，其中：
4.根据权利要求3所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述原位检测装置还包括连接于所述检测支架上的...
【技术特征摘要】
1.一种抛光与原位检测装置，其特征在于，包括用于抛光与原位检测的工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置，其中：
2.根据权利要求1所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述原位检测装置还包括第一位置微调机构和第二位置微调机构，其中：
3.根据权利要求1所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述检测定位装置包括间隔设于所述工作台上的第一定位模块和第二定位模块，所述原位检测装置包括设在所述检测支架上的第一定位杆和第二定位杆，其中：
4.根据权利要求3所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述原位检测装置还包括连接于所述检测支架上的连接杆，所述工作台上还设有用于配合所述原位检测装置翻转的定位件，所述连接杆和所述定位件可翻转设置；
5.根据权利要求1-4任一项所述的抛光与原位检测装置，其特征在于，所述抛光机构包括用于连接运动机构的连接装置和抛光装置，所述抛光...
【专利技术属性】
技术研发人员：王孝坤，李凌众，张学军，彭利荣，胡海翔，罗霄，李龙响，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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