下载抛光与原位检测装置及抛光加工方法的技术资料

文档序号:40634135

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本发明涉及光学元件加工技术领域,涉及一种抛光与原位检测装置及抛光加工方法;装置包括工作台、抛光机构、原位检测装置及检测定位装置,检测定位装置设于工作台上;原位检测装置包括可翻转设在工作台上的检测支架、设在检测支架上的条纹显示装置及图像摄取装...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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