【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，尤其涉及一种导流筒悬挂装置。
技术介绍
1、单晶炉是生产单晶材料的专业设备。在单晶生产过程中，需要将导流筒悬挂于硅熔液上方，来为单晶炉内提供稳定的热场生产环境。以生产单晶硅棒为例，稳定的热场环境是生产高品质单晶硅棒必不可少的条件。在硅料融化过程中，由于炉内气体环境的扰动，悬挂安装的导流筒会出现晃动的现象。导流筒是否稳定的悬挂非常重要，导流筒悬挂越稳定，对升降螺杆的磨损越低，且定位销被抖掉的风险越小。
2、然而，传统的导流筒悬挂方式不能解决导流筒晃动的问题，这对生产过程中单晶所处的气流环境以及温度梯度环境有很大的影响，会直接影响单晶硅棒的品质。并且，由于导流筒晃动的原因，悬挂于导流筒上的定位销存在掉落风险，对生产时的液位监控非常不利。
技术实现思路
1、本公开实施例提供了一种导流筒悬挂装置，能够提高导流筒的悬挂稳定性，降低导流筒晃动的几率，从而减少对挂臂等提升组件的磨损，降低定位销掉落风险，提高单晶品质。
2、本公开实施例所提供的技术方案如下：
3、本公开实施例中提供了一种导流筒悬挂装置，用于将导流筒悬挂于单晶炉内，所述导流筒上沿周向分布有四个悬挂点；所述导流筒悬挂装置包括：
4、提升机构，所述提升机构包括两个提升单元，两个所述提升单元用于分别安装至所述单晶炉的轴向顶部的径向相对两侧；及
5、挂臂机构，所述挂臂机构包括两个挂臂单元，两个所述挂臂单元用于分别安装至所述导流筒的径向相对两侧，且一个所述挂
6、每个所述挂臂单元包括：间隔设置的两个提升杆、及两个连接臂，一个所述提升杆的轴向底端通过一个所述连接臂可拆卸地连接至所述对应的一个所述悬挂点上，以通过四个所述悬挂点悬挂所述导流筒。
7、示例性的，每个所述挂臂单元中的两个所述提升杆能够同步升降。
8、示例性的，所述挂臂单元还包括升降主杆和连接横杆，所述升降主杆的轴向沿所述竖直方向延伸布置，所述连接横杆的轴向沿水平方向延伸布置，且所述升降主杆的轴向顶端连接至所述提升单元上，所述升降主杆的轴向底端连接至所述连接横杆的中部，两个所述提升杆的轴向顶端分别连接至所述连接横杆的轴向相对两端，以使所述挂臂单元中的两个所述提升杆可同步升降。
9、示例性的，所述连接臂包括：
10、第一臂部，所述第一臂部上设有第一安装孔，所述第一安装孔内穿装有第一紧固件，且所述第一安装孔通过所述第一紧固件与所述悬挂点可拆卸连接；
11、第二臂部，所述第二臂部连接至所述第一臂部的径向外侧，所述第二臂部上设有第二安装孔，所述提升杆的轴向底端设有卡合结构，所述第二安装孔被构造为与所述卡合结构适配可相互卡合或分离，以使所述提升杆与所述第二臂部可拆卸连接。
12、示例性的，所述第二安装孔被构造为沿所述导流筒的径向延伸的长条孔，所述第二安装孔包括沿其延伸方向依次连通的卡槽区、延伸区及进出区，所述卡槽区被构造为贯通所述第二臂部的底面、且未贯通所述第二臂部的顶面，所述延伸区和所述进出区被构造为从所述第二臂部的顶面贯通至底端；
13、其中，所述进出区被构造为供所述卡合结构穿入或穿出，所述卡槽区被构造为与所述卡合结构之间可卡合配合或分离，以使所述连接臂沿所述第二安装孔延伸方向相对所述卡合结构移动时可安装或拆卸所述提升杆。
14、示例性的，所述第一安装孔被构造为与所述第一安装孔平行的长条孔，以使沿所述第二安装孔延伸方向移动所述连接臂时，所述第一紧固件相应的沿所述第一安装孔的延伸方向移动。
15、示例性的，所述卡合结构包括细径部和粗径部；其中，在所述提升杆的轴向上，所述细径部位于所述粗径部与所述提升杆之间，所述进出区和所述卡槽区的内径尺寸大于或等于所述粗径部的直径，所述延伸区的内径尺寸小于所述粗径部的直径且大于所述细径部的直径。
16、示例性的，所述提升单元包括：
17、升降螺杆，所述升降螺杆的轴向沿竖直方向布置，且所述升降螺杆的轴向底端连接至所述挂臂单元；
18、安装座，所述安装座安装至所述单晶炉的顶部，且所述安装座上设有螺纹孔，所述升降螺杆穿过所述螺纹孔，且与所述螺纹孔之间螺纹连接，以使所述升降螺杆转动时沿所述竖直方向可升降。
19、示例性的，所述升降螺杆的轴向顶端设有一检测端；所述提升单元还包括用于检测所述挂臂单元的升降高度的激光测距元件，所述激光测距元件固定设置在所述安装座上，且沿竖直方向位于所述检测端的上方或下方，所述激光测距元件用于向所述检测端端面上沿竖直方向发射激光，并基于从所述检测端反射回的激光，生成表征所述激光测距元件与所述检测端之间的距离的感应信号。
20、示例性的，所述安装座包括：
21、底座，所述螺纹孔设于所述底座上；
22、顶座，所述顶座设于所述底座的上方，所述激光测距元件设于所述顶座上，且所述升降螺杆的顶端位于所述顶座的下方；
23、支撑部，连接并支撑于所述底座与所述顶座之间。
24、本公开实施例所带来的有益效果如下：
25、本公开实施例所提供的导流筒悬挂装置中，在导流筒的周向设有四个悬挂点，该导流筒悬挂装置中设置有两个提升单元、两个挂臂单元，一个提升单元对应地可提升一个挂臂单元，每个挂臂单元中包括两个提升杆及两个连接臂，一个提升杆的轴向底端可通过一个连接臂可拆卸地连接至对应的一个悬挂点上，从而使得可通过四个提升杆分别对应地连接四个悬挂点，而实现导流筒的四点式悬挂结构，相较于传统的两点式导流筒悬挂方式来说，可以减少导流筒的晃动，减少由于导流筒晃动而导致的提升杆磨损，提高了提升杆的使用寿命，并且，降低了导流筒底部定位销掉落的风险，进而可提高单晶品质。
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1.一种导流筒悬挂装置，用于将导流筒悬挂于单晶炉内，所述导流筒上沿周向分布有四个悬挂点；其特征在于，所述导流筒悬挂装置包括：
2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，每个所述挂臂单元中的两个所述提升杆能够同步升降。
3.根据权利要求2所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述挂臂单元还包括升降主杆和连接横杆，所述升降主杆的轴向沿所述竖直方向延伸布置，所述连接横杆的轴向沿水平方向延伸布置，且所述升降主杆的轴向顶端连接至所述提升单元上，所述升降主杆的轴向底端连接至所述连接横杆的中部，两个所述提升杆的轴向顶端分别连接至所述连接横杆的轴向相对两端，以使所述挂臂单元中的两个所述提升杆同步升降。
4.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述连接臂包括：
5.根据权利要求4所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述第一安装孔被构造为与所述第一安装孔平行的长条孔，以使沿所述第二安装孔延伸方向移动所述连接臂时，所述第一紧固件相应的沿所述第一安装孔的延伸方向移动。
...【技术特征摘要】
1.一种导流筒悬挂装置，用于将导流筒悬挂于单晶炉内，所述导流筒上沿周向分布有四个悬挂点；其特征在于，所述导流筒悬挂装置包括：
2.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，每个所述挂臂单元中的两个所述提升杆能够同步升降。
3.根据权利要求2所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述挂臂单元还包括升降主杆和连接横杆，所述升降主杆的轴向沿所述竖直方向延伸布置，所述连接横杆的轴向沿水平方向延伸布置，且所述升降主杆的轴向顶端连接至所述提升单元上，所述升降主杆的轴向底端连接至所述连接横杆的中部，两个所述提升杆的轴向顶端分别连接至所述连接横杆的轴向相对两端，以使所述挂臂单元中的两个所述提升杆同步升降。
4.根据权利要求1所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述连接臂包括：
5.根据权利要求4所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，
6.根据权利要求5所述的导流筒悬挂装置，其特征在于，所述第一安装孔被构造为与所述第一安装孔平行的长条孔，以使沿所述第二安装孔延伸方向移动...
【专利技术属性】
技术研发人员：代俊乐，余崇江，田闰博，
申请(专利权)人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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