【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，更具体的说，涉及一种用于半导体设备维护的便携无尘式的可调节龙门吊。
技术介绍
1、半导体设备是当今电子科技领域中最重要的器件之一。在半导体芯片制造过程中，反应腔是至关重要的组成部分，它直接影响半导体器件的质量和产量。
2、图1揭示了现有技术的半导体反应腔的机械手更换示意图，如图1所示，当多个半导体反应腔之间需要吊装更换机械手时，例如在搭配高反应腔的平台在反应腔满配的情况下，由于吊装空间狭小，容易出现真空机械手更换困难的问题。
3、龙门式起重机，俗称龙门吊，龙门起重机。现有的龙门吊主要用于室外的货场、料场货、散货的装卸作业。门式起重机具有场地利用率高、作业范围大、适应面广、通用性强等特点。
4、图2揭示了现有技术的普通龙门吊的结构示意图，如图2所示，应用于fab(代工厂)的普通龙门吊通常是一体性不可调节的，适应性较差，因此当其在半导体设备领域应用时拆卸使用并不方便。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种可调节龙门吊，解决现有技术多个半导体反应腔直接真空机械手更换困难的问题。
2、为了实现上述目的，本技术提供了一种可调节龙门吊，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：
3、所述横梁结构，为多段主梁可拆卸地连接组成；
4、所述支架结构，数量为两个，分别与横梁结构的两端连接；
5、所述支架结构，包括底座和立柱；
6、所述立柱，底部设置若干个限位孔；
7、所述
8、在一实施例中，所述横梁结构，包括若干段主梁和若干个连接板：
9、所述若干段主梁之间，通过连接板进行连接。
10、在一实施例中，所述横梁结构，包括至少三段及以上主梁。
11、在一实施例中，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与支架结构或连接板连接；
12、每个连接板的两端均设置连接孔位，用于与主梁进行连接。
13、在一实施例中，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与立柱连接；
14、所述立柱顶部设置连接孔位，用于与主梁进行连接。
15、在一实施例中，所述连接孔位之间通过螺栓连接。
16、在一实施例中，所述底座通过螺栓与立柱的限位孔连接。
17、在一实施例中，所述底座为三角支架。
18、在一实施例中，所述立柱的若干限位孔，沿立柱的竖直方向等间隔设置。
19、在一实施例中，所述底座，底部设有移动装置。
20、在一实施例中，所述底座，底部设有万向脚轮。
21、针对半导体腔室狭小空间下的真空机械手更换问题，本技术提出了一种可调节龙门吊，闲时拆卸以减少占地面积，用时组装，对于不同设备跨度可实现不同跨度调节，并且无尘便于对半导体设备的维护。
22、应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本技术。
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1.一种可调节龙门吊，其特征在于，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：
2.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括若干段主梁和若干个连接板：
3.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括至少三段及以上主梁。
4.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与支架结构或连接板连接；
5.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与立柱连接；
6.根据权利要求4或权利要求5所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述连接孔位之间通过螺栓连接；
7.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座为三角支架。
8.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述立柱的若干限位孔，沿立柱的竖直方向等间隔设置。
9.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座，底部设有移动装置。
10.根据权利要求9所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述底座，底部设
...【技术特征摘要】
1.一种可调节龙门吊，其特征在于，包括铝合金的横梁结构和铝合金的支架结构：
2.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括若干段主梁和若干个连接板：
3.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，所述横梁结构，包括至少三段及以上主梁。
4.根据权利要求2所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于与支架结构或连接板连接；
5.根据权利要求1所述的可调节龙门吊，其特征在于，每段主梁的两端均设置连接孔位，用于...
【专利技术属性】
技术研发人员：李宇，沙俊汀，潘禄，
申请(专利权)人：拓荆创益沈阳半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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