【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显影，具体涉及到一种具备清洗功能的显影设备。
技术介绍
1、芯片涂胶显影设备是一种用于在半导体制造过程中，将光刻胶等化学材料涂抹到芯片表面上，并通过显影技术将电路图案从光掩模(掩膜)上转移到芯片的设备，它是半导体制造过程中光刻工艺的关键设备之一，目前实验型涂胶显影设备多为手动操作，从放置晶片到工艺实验全部为纯手工进行，人工操作稳定性不能保障。
2、现有技术中，公告号为cn207408743u的技术公开了一种显影设备，包括旋转机台和显影液喷洒清洗机构，显影液喷洒清洗机构包括喷洒清洗喷头和用于将喷洒清洗喷头移动到旋转机台上方的第一喷头移动件，喷洒清洗喷头包含显影液喷嘴和环绕在显影液喷嘴外周的环形清洗液喷嘴，显影液喷嘴具有显影液入口和向下开设的显影液出口，环形清洗液喷嘴具有清洗液入口和清洗液出口，环形清洗液喷嘴的清洗液出口的喷淋方向朝向显影液喷嘴的显影液出口，该装置通过设置环形清洗液喷嘴，可以实现喷嘴出口处和设置在旋转机台上的彩色滤光片的清洗，从而提高喷淋稳定性和喷淋效果，但是该装置并不能实现清洗过程中的自动化。
技术实现思路
1、本专利技术所要解决的技术问题在于克服上述现有技术的缺点，提供一种自动化清洗、匀胶去边的显影设备。
2、解决上述技术问题所采用的技术方案是：型材架上设置有中控台，所述中控台控制整体设备的电控程序，所述型材架上设置有亚克力板，所述亚克力板对内部结构进行防护，所述亚克力板内设置有点胶机构，所述点胶机构对晶片进行点胶、匀胶和去边，
3、进一步的，所述点胶机构中包括螺纹板，所述螺纹板的第二端面与第一齿环固定连接，所述第一齿环与第一齿轮啮合连接，所述第一齿轮转动安装在第二支撑板上，所述第一齿轮与第二齿轮啮合连接，所述第二齿轮与螺纹轴滑动连接，所述第二支撑板的一端转动安装有第三齿轮，所述第三齿轮与第二齿环啮合连接，所述第二齿环与螺纹轴转动连接，所述第三齿轮与去边块固定连接，所述去边块与托举板的外缘滑动接触。
4、进一步的，所述清洗机构中包括定位筒，所述定位筒固定安装在第三电机的驱动轴上，所述定位筒与底板固定连接，所述底板的两端分别固定安装有凹槽块，所述凹槽块上固定安装有第二气缸，所述第二气缸与连接板的一端转动连接，所述连接板的第二端与v形夹块的中部转动连接，所述v形夹块的一端与滑槽块滑动连接，所述滑槽块固定安装在凹槽块的两侧。
5、进一步的，所述第一电机固定安装在型材架上，所述第一电机的驱动轴与螺纹轴的一端固定连接，所述螺纹轴第二端与托举板固定连接，所述托举板中心凹槽固定安装有第一气缸，所述第一气缸与负压板固定连接。
6、进一步的，所述型材架上固定安装有第一支撑柱，所述第一支撑柱与第一支撑板固定连接，所述第一支撑柱上转动安装有第一转动块，所述第一转动块与折叠板的一端转动连接，所述折叠板的第二端与第二转动块转动连接，所述第二转动块转动安装在螺纹板的第一端面上，所述螺纹板与螺纹轴螺纹连接。
7、进一步的，所述型材架上固定安装有挡板，所述挡板内壁上固定安装有供胶装置，所述挡板内壁上固定安装有滴胶盒。
8、进一步的，所述型材架上固定安装有直线模组，所述直线模组与多轴机械手固定连接，所述多轴机械手上固定安装有夹爪气缸。
9、进一步的，所述型材架上固定安装有第二电机，所述第二电机的驱动轴与第四齿轮固定连接，所述第四齿轮与第五齿轮啮合连接，所述第五齿轮与转动轴转动连接，所述转动轴与腰型板的一端固定连接，所述腰型板的第二端与转动圆板转动连接，所述转动轴转动安装在型材架上，所述转动轴的一端与第一皮带的一端转动连接，所述第一皮带的第二端与转动圆板转动连接，所述转动圆板内部空间设置有螺旋凸起，所述螺旋凸起与匀胶板滑动连接，所述型材架内部固定安装有储胶桶。
10、进一步的，所述型材架上固定安装有第三电机，所述型材架上固定安装有第二支撑柱，所述第二支撑柱上固定安装有清洗盒，所述清洗盒上固定安装有盖板，所述第三电机的驱动轴与第二皮带的一端转动连接，所述第二皮带的第二端与去边块转动连接。
11、进一步的，所述型材架上固定安装有第一封门，所述型材架靠近储胶桶处设置有第二封门，所述型材架靠近第二封门处设置有第三封门。
12、本专利技术的有益效果如下：(1)人工放入晶片到装置后，整个点胶-清洗胶头-匀胶-去边过程都是自动化工作；(2)机械手把胶头放入清洗机构后，点胶头被夹爪气缸固定，跟随一起旋转，同时喷水板喷射水流至胶头上，清洗点胶液；(3)机械手点完胶后回缩，匀胶结构转动至晶片托举板上方，对点完胶的晶片进行匀胶处理，保证晶片上的胶液均匀分布；(4)晶片托举板高速旋转的时候，会带动去边结构上移，与晶片圆盘的外缘接触，对圆盘上吸附的晶片进行边缘去胶。
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1.一种具备清洗功能的显影设备，包括型材架(1)，其特征在于：所述型材架(1)上设置有中控台(2)，所述中控台(2)控制整体设备的电控程序，所述型材架(1)上设置有亚克力板(3)，所述亚克力板(3)对内部结构进行防护，所述亚克力板(3)内设置有点胶机构(4)，所述点胶机构(4)对晶片进行点胶、匀胶和去边，所述亚克力板(3)内部设置有清洗机构(5)，所述清洗机构(5)对胶头进行清洗；
2.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第一电机(401)，所述第一电机(401)的驱动轴与螺纹轴(402)的一端固定连接，所述螺纹轴(402)第二端与托举板(403)固定连接，所述托举板(403)中心凹槽固定安装有第一气缸(404)，所述第一气缸(404)与负压板(405)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第一支撑柱(407)，所述第一支撑柱(407)与第一支撑板(406)固定连接，所述第一支撑柱(407)上转动安装有第一转动块(408)，所述第一转动块(
4.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有挡板(421)，所述挡板(421)内壁上固定安装有供胶装置(419)，所述挡板(421)内壁上固定安装有滴胶盒(420)。
5.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有直线模组(422)，所述直线模组(422)与多轴机械手(423)固定连接，所述多轴机械手(423)上固定安装有夹爪气缸(424)。
6.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第二电机(425)，所述第二电机(425)的驱动轴与第四齿轮(426)固定连接，所述第四齿轮(426)与第五齿轮(427)啮合连接，所述第五齿轮(427)与转动轴(428)转动连接，所述转动轴(428)与腰型板(429)的一端固定连接，所述腰型板(429)的第二端与转动圆板(431)转动连接，所述转动轴(428)转动安装在型材架(1)上，所述转动轴(428)的一端与第一皮带(430)的一端转动连接，所述第一皮带(430)的第二端与转动圆板(431)转动连接，所述转动圆板(431)内部空间设置有螺旋凸起(432)，所述螺旋凸起(432)与匀胶板(433)滑动连接，所述型材架(1)内部固定安装有储胶桶(434)。
7.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第三电机(501)，所述型材架(1)上固定安装有第二支撑柱(502)，所述第二支撑柱(502)上固定安装有清洗盒(503)，所述清洗盒(503)上固定安装有盖板(513)，所述第三电机(501)的驱动轴与第二皮带(512)的一端转动连接，所述第二皮带(512)的第二端与去边块(418)转动连接。
8.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第一封门(514)，所述型材架(1)靠近储胶桶(434)处设置有第二封门(515)，所述型材架(1)靠近第二封门(515)处设置有第三封门(516)。
...【技术特征摘要】
1.一种具备清洗功能的显影设备，包括型材架(1)，其特征在于：所述型材架(1)上设置有中控台(2)，所述中控台(2)控制整体设备的电控程序，所述型材架(1)上设置有亚克力板(3)，所述亚克力板(3)对内部结构进行防护，所述亚克力板(3)内设置有点胶机构(4)，所述点胶机构(4)对晶片进行点胶、匀胶和去边，所述亚克力板(3)内部设置有清洗机构(5)，所述清洗机构(5)对胶头进行清洗；
2.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第一电机(401)，所述第一电机(401)的驱动轴与螺纹轴(402)的一端固定连接，所述螺纹轴(402)第二端与托举板(403)固定连接，所述托举板(403)中心凹槽固定安装有第一气缸(404)，所述第一气缸(404)与负压板(405)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有第一支撑柱(407)，所述第一支撑柱(407)与第一支撑板(406)固定连接，所述第一支撑柱(407)上转动安装有第一转动块(408)，所述第一转动块(408)与折叠板(409)的一端转动连接，所述折叠板(409)的第二端与第二转动块(410)转动连接，所述第二转动块(410)转动安装在螺纹板(411)的第一端面上，所述螺纹板(411)与螺纹轴(402)螺纹连接。
4.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(1)上固定安装有挡板(421)，所述挡板(421)内壁上固定安装有供胶装置(419)，所述挡板(421)内壁上固定安装有滴胶盒(420)。
5.根据权利要求1所述的一种具备清洗功能的显影设备，其特征在于：所述型材架(...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴想，陈雪冰，吴文学，俞孝灵，陈祥宇，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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