一种匀胶显影机的晶圆冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、辅助装料机构和循环水机构等；密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管。在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。又能够不损坏晶圆达到有效的降温。又能够不损坏晶圆达到有效的降温。

【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的晶圆冷却装置


[0001]本技术涉及一种冷却装置，尤其涉及一种匀胶显影机的晶圆冷却装置。

技术介绍

[0002]匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等，晶圆在光刻完成后，对光刻后留下的痕迹进行保留则需要使用显影机，将光刻胶加热取下后需要对晶圆进行冷却降温。
[0003]根据公开号为CN207542215U的专利文件中，公开了一种晶圆冷却装置，其通过“腔体、均流板、喷嘴、分隔层和透气性填充物”部件配合，解决了“即使冷却装置腔体内设置有均流板，也难以避免喷气气流不均现象”，但该专利只有冷却室，而每个冷却室内都只有一个冷盘，在冷却过程中，冷却室不仅占用面积大，一次也只有一个晶圆冷却，冷却效率较低，并且若是多个放置容易对晶圆造成碰撞损坏提高不良率。
[0004]针对上述问题，我们设计一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。

技术实现思路

[0005]本技术为了克服现有的匀胶显影机冷却效率较低的缺点，本技术要解决的技术问题是提供一种能够提升效率、冷却效果好的匀胶显影机的晶圆冷却装置。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室、冷却室、晶圆托盘、循环水机构、输液管、连接头、导流板和辅助装料机构，密封室内通过滑槽滑动式连接冷却室，冷却室有若干分层，冷却室底部设有循环水机构，冷却室内固接晶圆托盘，冷却室左右两侧设置辅助装料机构，冷却室侧壁内排布输液管，输液管穿出冷却室侧壁与导流板通过连接头连接，且输液管的输入端和输出端均和循环水机构连接。
[0007]优选地，所述循环水机构还包括有防护板和水泵，冷却室底层设有储水室，储水室内固接隔板，隔板的一侧安装水泵，输液管的输入端与水泵的输出端连接，输液管的输出端位于隔板上方且贯穿固接，储水室通过防护板密封固接。
[0008]优选地，所述辅助装料机构还包括有托板、电动滑轨、滑杆和限位板，密封室顶部两侧均固接限位板，限位板与密封室底部共同均固接滑杆，滑杆上设置电动滑轨，冷却室底部固接托板，电动滑轨与托板固接。
[0009]优选地，还包括有灯板和温度传感器，晶圆托盘上设置温度传感器，密封室外侧两侧安装灯板，温度传感器和灯板电连接。
[0010]优选地，还包括有观察玻璃，密封室前侧设置观察玻璃。
[0011]优选地，所述灯板分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器电连接。
[0012]本技术的有益效果为：
[0013]在输液管和循环水机构的作用下，冷却室能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。
[0014]在温度传感器的作用下，检测到晶圆小于温度阈值后，灯板亮起，以此提示人们晶圆已经冷却到指定温度范围内。
附图说明
[0015]图1为本技术的立体结构示意图。
[0016]图2为本技术的冷却室，输液管等零部件部分立体结构示意图。
[0017]图3为本技术的电动滑轨、滑槽等零部件部分立体结构示意图。
[0018]图4为本技术的防护玻璃，限位板等零部件部分立体结构示意图。
[0019]图5为本技术的A处局部放大部分立体结构示意图。
[0020]附图中的标记为：1
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密封室，2
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冷却室，21
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托板，3
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晶圆托盘，4
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循环水机构，41
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防护板，5
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水泵，6
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输液管，61
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导流板，7
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辅助装料机构，70
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电动滑轨，71
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滑杆，72
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限位板，73
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滑槽，8
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隔板，9
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灯板，91
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温度传感器，10
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观察玻璃，11
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连接头。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。
[0022]实施例1
[0023]一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，如图1
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图5所示，包括有密封室1、冷却室2、晶圆托盘3、循环水机构4、输液管6、连接头11、导流板61和辅助装料机构7，密封室1内通过滑槽73滑动式连接冷却室2，冷却室2有四层分层，冷却室2底部设有循环水机构4，冷却室2内焊接晶圆托盘3，晶圆托盘3上设有缓冲材质，能够防止晶圆碰损，冷却室2左右两侧设置辅助装料机构7，冷却室2侧壁内排布输液管6，输液管6穿出冷却室2侧壁与导流板61通过连接头11连接，且输液管6的输入端和输出端均和循环水机构4连接，导流板61内部中空，能够通过冷却液。
[0024]如图2、图3所示，所述辅助装料机构7还包括有托板21、电动滑轨70、滑杆71和限位板72，密封室1顶部左右两侧均焊接限位板72，限位板72与密封室1底部共同均固接滑杆71，滑杆71上设置电动滑轨70，冷却室2底部栓接托板21，电动滑轨70与托板21固接，限位板72能够对电动滑轨70进行限位，启动电动滑轨70能够带动托板21上升，从而实现冷却室上升。
[0025]需要对晶圆进行冷却时，将辅助送料机构启动，冷却室2升起后，机械臂将高温的晶圆夹住放置在晶圆托盘3上，冷却室2内能够放置四片晶圆，晶圆放置好之后，启动循环水机构4，循环水机构4将冷却液沿输液管6输围绕冷却室2的侧壁进行流动，使得冷却室2整体温度降低，冷却室2的温度低于晶圆，晶圆的热量将传递到冷却室2内，同时晶圆自身温度下降，并且一直处于流动的冷却液将冷却室2吸收的热量带走，最后回到储水室，通过上述方式，使得冷却室2能够放置多片晶圆同时进行降温散热，通过热传导既能够快速的将晶圆热量传递走，又能够不损坏晶圆达到有效的降温。
[0026]实施例2
[0027]在实施例1的基础之上，如图4、图5所示，所述循环水机构4还包括有防护板41和水泵5，冷却室2底层设有储水室，储水室内固接隔板8，储水室在隔板8的作用下分割成两个部
分，且连接处采用防水密封，隔板8的右侧安装水泵5，隔板8右侧储存冷却液，输液管6的输入端与水泵5的输出端连接，输液管6的输出端位于隔板8上方且贯穿固接，储水室通过防护板41密封栓接，防护板41上设有进水和出水口，两个口外接换水机构。
[0028]如图4所示，还包括有灯板9和温度传感器91，晶圆托盘3上设置温度传感器91，密封室1外侧左右两侧安装灯板9，温度传感器91和灯板9电连接，灯板9呈分段式设计，每段分别与对应位置处的温度传感器91电连接，能够显示冷却室2不同位置的晶圆的状态。
[0029]如图1所示，还包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，包括有密封室(1)和冷却室(2)，密封室(1)内通过滑槽(73)滑动式连接冷却室(2)，其特征在于，还包括有晶圆托盘(3)、循环水机构(4)、输液管(6)、连接头(11)、导流板(61)和辅助装料机构(7)，冷却室(2)有若干分层，冷却室(2)底部设有循环水机构(4)，冷却室(2)内固接晶圆托盘(3)，冷却室(2)左右两侧设置辅助装料机构(7)，冷却室(2)侧壁内排布输液管(6)，输液管(6)穿出冷却室(2)侧壁与导流板(61)通过连接头(11)连接，且输液管(6)的输入端和输出端均和循环水机构(4)连接。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆冷却装置，其特征在于，所述循环水机构(4)还包括有防护板(41)和水泵(5)，冷却室(2)底层设有储水室，储水室内固接隔板(8)，隔板(8)的一侧安装水泵(5)，输液管(6)的输入端与水泵(5)的输出端连接，输液管(6)的输出端位于隔板(8)上方且贯穿固接，储水室通过防护板(41)密...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴想，全有涛，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：