本实用新型专利技术涉及一种喷洒装置，尤其涉及一种匀胶显影机的显影液喷洒装置。本实用新型专利技术提供一种喷洒均匀的匀胶显影机的显影液喷洒装置。一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，包括有工作台、承载架和放置架等，工作台前侧连接有承载架，工作台顶部连接有用于放置晶圆的放置架。本实用新型专利技术的电动滑轨可以带动扫描式喷洒嘴左右移动，从而实现将显影液均匀的喷洒到晶圆上。圆上。圆上。
【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的显影液喷洒装置
[0001]本技术涉及一种喷洒装置，尤其涉及一种匀胶显影机的显影液喷洒装置。
技术介绍
[0002]匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，其中，晶圆是匀胶显影机中的重要部件，匀胶显影机使用过一次之后，晶圆需要重新喷洒显影液，以便下次使用，目前，大多数的喷洒装置都是固定式的喷洒显影液，喷洒显影液的喷头不会移动，难以将显影液均匀的喷洒到晶圆上，从而影响晶圆的使用。
[0003]针对目前存在的问题，设计一种喷洒均匀，使得晶圆能够正常使用的喷洒装置。
技术实现思路
[0004]为了克服喷洒显影液的喷头不会移动，难以将显影液均匀的喷洒到晶圆上，从而影响晶圆的使用的缺点，本技术的技术问题是：提供一种喷洒均匀，使得晶圆能够正常使用的匀胶显影机的显影液喷洒装置。
[0005]本技术的技术实施方案为：一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，包括有工作台、承载架、放置架和喷洒机构，工作台前侧连接有承载架，工作台顶部连接有用于放置晶圆的放置架，承载架上设有用于将显影液喷洒在晶圆上的喷洒机构。
[0006]更为优选的是，喷洒机构包括有储料桶、水泵、输料管、电动滑轨、电动滑块和扫描式喷洒嘴，承载架顶部连接有至少三个用于存储显影液的储料桶，相邻的两个储料桶连通，其中一个储料桶的下部安装有水泵，水泵上连接有输料管，工作台顶部连接有电动滑轨，电动滑轨位于放置架的前侧，电动滑轨上滑动式设有电动滑块，电动滑块上连接有用于将显影液喷洒在晶圆上的扫描式喷洒嘴，扫描式喷洒嘴和输料管连接且连通。
[0007]更为优选的是，还包括有观察窗，左侧储料桶的前侧嵌入式连接有观察窗。
[0008]更为优选的是，还包括有废水管和废料框，工作台顶部开有清理槽，清理槽位于放置架的外围，工作台内顶部连接有废水管，废水管和清理槽连通，工作台内底部放置有废料框，废料框位于废水管的正下方。
[0009]更为优选的是，还包括有防护罩，工作台顶部连接有防护罩，放置架位于防护罩内。
[0010]本技术具有以下优点：1、本技术的电动滑轨可以带动扫描式喷洒嘴左右移动，从而实现将显影液均匀的喷洒到晶圆上。
[0011]2、通过工作台内底部放置废料框，使得多余的显影液会流到废料框内，进行收集，方便后续清理。
[0012]3、在防护罩的作用下，可以将显影液挡住，避免显影液四处飘散。
附图说明
[0013]图1为本技术的立体结构示意图。
[0014]图2为本技术的工作台、承载架等部分零件立体结构示意图。
[0015]图3为本技术的储料桶、扫描式喷洒嘴等部分零件立体结构示意图。
[0016]图4为本技术的清理槽、废料框等部分零件立体结构示意图。
[0017]图中附图标记的含义：1
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工作台，2
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承载架，3
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放置架，4
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喷洒机构，41
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储料桶，42
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水泵，43
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输料管，44
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电动滑轨，45
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电动滑块，46
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扫描式喷洒嘴，5
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观察窗，6
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清理槽，7
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废水管，8
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废料框，9
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防护罩。
具体实施方式
[0018]下面结合具体的实施例来对本技术做进一步的说明，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语如：设置、安装、相连、连接应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]实施例1
[0020]一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，如图1
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2所示，包括有工作台1、承载架2、放置架3和喷洒机构4，工作台1前侧下部通过螺栓连接有承载架2，工作台1顶部前侧通过螺钉连接有放置架3，放置架3用于放置晶圆，承载架2上设有喷洒机构4，喷洒机构4用于将显影液喷洒在晶圆上。
[0021]如图3所示，喷洒机构4包括有储料桶41、水泵42、输料管43、电动滑轨44、电动滑块45和扫描式喷洒嘴46，承载架2顶部均匀间隔的连接有三个储料桶41，储料桶41用于存储显影液，相邻的两个储料桶41连通，中间的储料桶41前侧下部通过螺栓安装有水泵42，水泵42上通过螺纹连接有输料管43，输料管43为软管，工作台1顶部前侧通过螺栓连接有电动滑轨44，电动滑轨44位于放置架3的前侧，电动滑轨44上滑动式设有电动滑块45，电动滑块45上连接有扫描式喷洒嘴46，扫描式喷洒嘴46用于将显影液喷洒在晶圆上，扫描式喷洒嘴46和输料管43连接且连通。
[0022]如图4所示，还包括有观察窗5，左侧的储料桶41前侧嵌入式连接有观察窗5。
[0023]如图1所示，还包括有防护罩9，工作台1顶部通过螺栓连接有防护罩9，放置架3位于防护罩9内，输料管43滑动式贯穿防护罩9前侧。
[0024]人们将显影液倒入储料桶41内，通过观察窗5可以观察储料桶41内显影液的量，储料桶41内装有适量的显影液时，停止倒入显影液，然后将晶圆放到放置架3上，再启动水泵42，水泵42将显影液吸入输料管43，显影液通过扫描式喷洒嘴46喷出，喷到晶圆上，人们再控制电动滑轨44带动电动滑块45左右移动，电动滑块45带动扫描式喷洒嘴46左右移动，将显影液均匀的喷洒到晶圆上，使得晶圆能够正常使用，防护罩9可以将显影液挡住，避免显影液四处飘散，喷洒完成之后，关闭水泵42和电动滑轨44。
[0025]实施例2
[0026]在实施例1的基础之上，如图1和图4所示，还包括有废水管7和废料框8，工作台1顶部开有清理槽6，清理槽6位于放置架3的外围，工作台1内顶部左侧连接有废水管7，废水管7和清理槽6连通，工作台1内底部左侧放置有废料框8，废料框8位于废水管7的正下方。
[0027]显影液喷洒到晶圆上，多余的显影液会流到清理槽6内，然后通过废水管7流到废
料框8内，进行收集，方便后续清理，喷洒完成之后，人们可以将废料框8取出，然后对废料框8内的废料进行处理。
[0028]以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，包括有工作台(1)，其特征是：还包括有承载架(2)、放置架(3)和喷洒机构(4)，工作台(1)前侧连接有承载架(2)，工作台(1)顶部连接有用于放置晶圆的放置架(3)，承载架(2)上设有用于将显影液喷洒在晶圆上的喷洒机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的显影液喷洒装置，其特征是：喷洒机构(4)包括有储料桶(41)、水泵(42)、输料管(43)、电动滑轨(44)、电动滑块(45)和扫描式喷洒嘴(46)，承载架(2)顶部连接有至少三个用于存储显影液的储料桶(41)，相邻的两个储料桶(41)连通，其中一个储料桶(41)的下部安装有水泵(42)，水泵(42)上连接有输料管(43)，工作台(1)顶部连接有电动滑轨(44)，电动滑轨(44)位于放置架(3)的前侧，电动滑轨(44)上滑动式设有电动滑块(4...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺武峰，刘娥慧，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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