一种匀胶显影机的晶圆拿取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及晶圆拿取技术领域，具体涉及一种匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型专利技术提供一种能多角度拿取晶圆的匀胶显影机的晶圆拿取装置。本实用新型专利技术提供了这样一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构等；基座上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构。通过旋转臂、转动臂和拿取块的转动配合，能对处在不同角度的晶圆进行拿取，通过气缸带动伸缩杆和与伸缩杆连接的零部件进行升降，实现对处在不同高度的晶圆进行有效拿取，从而便捷的对晶圆进行拿取。从而便捷的对晶圆进行拿取。从而便捷的对晶圆进行拿取。

【技术实现步骤摘要】
一种匀胶显影机的晶圆拿取装置


[0001]本技术涉及晶圆拿取
，具体涉及一种匀胶显影机的晶圆拿取装置。

技术介绍

[0002]匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶圆背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶圆表面的去离子水冲洗等；匀胶显影机一般由四部分组成，第一部分是晶圆盒工作站，晶圆盒在这里装载到机器上；机械手从晶圆盒中把晶圆抽出来，传送到工艺处理部分，即第二部分；工艺处理部分是匀胶显影机的主体，增粘模块、热盘、冷盘、旋涂、显影等主要工艺单元都安装在这里，一个或两个机械手在各单元之间传递晶圆，第三部分是为浸没式光刻工艺配套的单元，包括晶圆表面水冲洗单元、背清洗单元等；第四部分是和光刻机联机的接口界面，包括暂时储存晶圆的缓冲盒、晶圆边缘曝光和光刻机交换晶圆的接口等。
[0003]在对晶圆件进行拿取时，一般是通过机械手从晶圆盒中把晶圆件抽出来，再放置指定位置，但是目前机械手只能进行水平方向的抽取和传递晶圆，无法进行多角度拿取晶圆。

技术实现思路

[0004]本技术为了克服现有技术中机械手只能进行水平方向的抽取晶圆的缺点，本技术要解决的技术问题是提供一种能多角度拿取晶圆的匀胶显影机的晶圆拿取装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术提供了这样一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构，基座上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构。
[0006]优选地，所述辅助拿取机构包括有固定块、滚珠、旋转块、气缸、旋转臂、转动臂和拿取块，基座顶部以其中心点为圆心点安装有固定块，固定块顶部沿其周向均匀间隔地连接有若干滚珠，固定块通过滚珠转动式连接有旋转块，电机输出轴通过联轴器转动式地贯穿固定块，并与旋转块固定连接，旋转块的顶部连接有气缸，气缸伸缩杆的两侧对称地连接有旋转臂，旋转臂远离气缸伸缩杆的一端转动式地连接有转动臂，转动臂上与旋转臂和气缸伸缩杆连接端的另一端转动式连接有用于拿取晶圆的拿取块。
[0007]优选地，还包括有照明灯，基座上安装有用于为便捷操作控制终端提供而提供照明辅助的照明灯。
[0008]优选地，还包括有摄像头，气缸伸缩杆上连接有用于精准识别晶圆位置的摄像头。
[0009]优选地，还包括有信号灯，拿取块与拿取端相对的一侧连接有用于指示拿取块是否与晶圆在同一直线上的信号灯。
[0010]有选地，所述电机为伺服电机。
[0011]本技术具有的有益效果是：通过旋转臂、转动臂和拿取块的转动配合，能对处
在不同角度的晶圆进行拿取，通过气缸带动伸缩杆和与伸缩杆连接的零部件进行升降，实现对处在不同高度的晶圆进行有效拿取，从而便捷的对晶圆进行拿取；通过电机与旋转块的配合，可实现周向转动，实现转动式拿取或搬运晶圆件的功能，由此实现可升降、多角度地拿取晶圆件。
附图说明
[0012]图1为本技术的立体结构示意图。
[0013]图2为本技术的基座、控制终端等部分零件立体结构示意图。
[0014]图3为本技术的电机、旋转块等部分零件立体结构示意图。
[0015]图4为本技术的拿取块、摄像头等部分零件立体结构示意图。
[0016]附图中的标记为：1
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基座，2
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控制终端，3
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电机，4
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辅助拿取机构，41
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固定块，42
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滚珠，43
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旋转块，44
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气缸，45
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旋转臂，46
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转动臂，47
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拿取块，5
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照明灯，6
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摄像头，7
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信号灯。
具体实施方式
[0017]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。
[0018]实施例1
[0019]如图1和2所示，一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座1、控制终端2、电机3和辅助拿取机构4，基座1前侧下部电性连接有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端2，基座1中心通过螺栓连接有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机3，所述电机3为伺服电机，基座1还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构4。
[0020]如图1、3和4所示，所述辅助拿取机构4包括有固定块41、滚珠42、旋转块43、气缸44、旋转臂45、转动臂46和拿取块47，基座1顶部以基座1中心点为圆心安装有圆柱形的固定块41，固定块41顶部沿其周向均匀间隔地连接有若干滚珠42，固定块41通过滚珠42转动式连接有与其适配的旋转块43，电机3输出轴通过联轴器转动式地贯穿固定块41，并与旋转块43通过键连接的方式进行连接，旋转块43的顶部通过螺栓连接有气缸44，气缸44伸缩杆的左右两侧对称地连接有旋转臂45，旋转臂45远离气缸44伸缩杆的一端转动式地连接有转动臂46，转动臂46上与旋转臂45和气缸44伸缩杆连接端的另一端转动式连接有用于拿取晶圆的拿取块47。
[0021]当需要使用本装置拿取晶圆件时，工作人员通过控制终端2控制气缸44按照预定指令使其伸缩杆进行伸缩运动，由此带动左右两侧的旋转臂45按照预设指令进行上下升降，与旋转臂45连接的转动臂46按照预设指令以旋转臂45和转动臂46连接点为中心进行转动，转动臂46通过拿取块47拿取晶圆件，拿取块47成功拿取晶圆件后，工作人员通过控制终端2控制电机3进行转动，电机3转动便带动旋转块43沿着滚珠42在固定块41顶部进行转动，由此旋转块43便带动气缸44及与气缸44连接的零部件进行转动，通过控制终端2控制旋转臂45和转动臂46转动配合，实现将拿取块47拿取的晶圆件按照指令放置到指定位置的目的。
[0022]实施例2
[0023]如图1所示，在实施例1的基础之上，还包括有摄像头6，气缸44伸缩杆后部连接有
用于精准识别晶圆位置的摄像头6。
[0024]如图1所示，还包括有信号灯7，拿取块47与拿取端相对的一侧的顶部电性连接有用于指示拿取块47是否与晶圆在同一直线上的信号灯7。
[0025]摄像头6能将其识别到的晶圆件所处的具体位置实时传送至控制终端2，控制终端2根据晶圆件调节旋转臂45和转动臂46转动的夹角，以便于拿取块47能精准拿取晶圆件；信号灯7能精准指示拿取块47与晶圆件是否在同一直线上并将信号实时传递至控制终端2，控制终端2根据拿取块47与晶圆件所处的具体位置关系，实时调整拿取块47的与转动臂46的夹角，便于拿取块47精准拿取晶圆件。
[0026]如图1所示，还包括有照明灯5，基座1上安装有用于为便捷操作控制终端2提供而提供照明辅助的照明灯5。
[0027]照明灯的设置为工作人员操作控制终端2提供照明辅助本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，包括有基座(1)、控制终端(2)和电机(3)，基座(1)上设置有用于控制本装置对晶圆进行精准拿取的控制终端(2)，基座(1)中心设置有用于为拿取晶圆提供动力支持的电机(3)，其特征在于，还包括有辅助拿取机构(4)，基座(1)还设有用于对晶圆的进行精准拿取的辅助拿取机构(4)。2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶圆拿取装置，其特征在于，所述辅助拿取机构(4)包括有固定块(41)、滚珠(42)、旋转块(43)、气缸(44)、旋转臂(45)、转动臂(46)和拿取块(47)，基座(1)顶部以其中心点为圆心点安装有固定块(41)，固定块(41)顶部沿其周向均匀间隔地连接有若干滚珠(42)，固定块(41)通过滚珠(42)转动式连接有旋转块(43)，电机(3)输出轴通过联轴器转动式地贯穿固定块(41)，并与旋转块(43)固定连接，旋转块(43)的顶部连接有气缸(44)，气缸(44)伸缩杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴萍，罗词雷，
申请(专利权)人：江西维易科半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：