【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光刻材料，具体涉及一类基于多硫鎓盐的单分子树脂及其光刻胶组合物、光刻胶涂层及其应用。
技术介绍
1、分子玻璃是一类由小的单分散有机分子组成的功能材料，在室温下可形成稳定的非晶玻璃。与传统聚合物光刻胶相比，分子玻璃具有更小尺寸的单分散结构块、明确分子量和立体化学的可重复结构，可以实现精确的合成，有利于获得高分辨率和低lwr/ler图形。传统上使用的化学放大型光刻胶(cars)依赖于混合或聚合物键合光产酸剂(pags)来实现溶解度差异。该化学放大体系存在一系列问题，如具有高的线边缘粗糙度(ler)和曝光后不稳定性等。为了解决这些问题，新型非化学放大型光刻胶(n-cars)的研究正受到越来越多的关注。n-cars是一种对辐射直接敏感的材料，在其配方中不需要pags的加入，仅包含主体材料一种组分，因此可以有效解决主体材料与添加剂相容性问题，以及曝光后酸扩散不均匀的问题，从而降低ler值。然而，与迄今报告的car数量相比，n-cars的数量非常有限，尤其是基于分子玻璃的n-cars。因此，开发具有强光刻潜力的分子玻璃n-cars具有...
【技术保护点】
1.式(I)所示的化合物：
2.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，式(I)化合物中具有2-6个基团-S+RS1RS2。
3.根据权利要求1或2所述的化合物，其特征在于，R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11、R12、R13、R14、R15、R16、R17、R18、R19、R20相同或不同，各自独立地选自H、-S+RS1RS2、C1-6烷基、C1-6烷氧基；RS1、RS2选自C1-6烷基、C6-12芳基；
4.根据权利要求1-3任一项所述的化合物，其特征在于，式(I)所示化合物选自如下化合物：>
5.一种光刻...
【技术特征摘要】
1.式(i)所示的化合物：
2.根据权利要求1所述的化合物，其特征在于，式(i)化合物中具有2-6个基团-s+rs1rs2。
3.根据权利要求1或2所述的化合物，其特征在于，r1、r2、r3、r4、r5、r6、r7、r8、r9、r10、r11、r12、r13、r14、r15、r16、r17、r18、r19、r20相同或不同，各自独立地选自h、-s+rs1rs2、c1-6烷基、c1-6烷氧基；rs1、rs2选自c1-6烷基、c6-12芳基；
4.根据权利要求1-3任一项所述的化合物，其特征在于，式(i)所示化合物选自如下化合物：
5.一种光刻胶组合物，其包括权利要求1-4任一项所述式(i)所示的化合物。
6.根据权利要求5所述的光刻胶组...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈金平，王亚珂，李嫕，曾毅，于天君，
申请(专利权)人：中国科学院理化技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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