System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪制造技术_技高网

一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪制造技术

技术编号:40560860 阅读:11 留言:0更新日期:2024-03-05 19:23
本发明专利技术涉及一种电子枪,具体为一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,包括共轴线依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极,聚焦极与阳极之间设有光阑结构,光阑结构靠近聚焦极。通过在聚焦极与阳极之间,且靠近聚焦极位置设置的光阑结构来控制通过的电子束直径大小,有效吸收了电子发射过程中离轴过远的边缘电子,从而保证电子流能够沿轴心移动到达阳极,缩小阳极焦斑直径,实现更好聚焦效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种电子枪,具体涉及一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪


技术介绍

1、x射线管普遍应用于医疗卫生、工业检测和安检等领域。随着科技的不断发展,对更高检测精度的需求越来越大,微焦点x射线管作为一种重要的高精度检测设备,其能够实现高精度检测的关键组件在于电子枪。在x射线管中,为实现更高精度检测,通常要求电子枪具有更好的性能,即要求电子枪具备焦点小、强度大,以使其形成更大的功率密度。现有技术中,已有不少用于x射线管的电子枪,但这些电子枪仍存在一定的提升。

2、如公开号为cn103843104a的中国专利公开的一种电子枪,该电子枪在栅极栅孔使用两个光阑对电子进行引出,并涂敷碳、硼等涂层抑制二次电子导致的闪光。但在栅孔加装光阑会使栅孔进一步变小,通过栅极的电子减少,造成较大的能量损失。

3、又如公开号为cn101529550a的中国专利中,在差动排气孔设置辅助部件光阑来进行压力调节,针对光阑上通过的电流判断内部气体压力,控制排气装置进行排气或控制电流发射,进而控制电子束聚焦。对于一些真空电子器件而言,内部气体气压不足以完成调节电流的作用,因此应用范围有一定的局限性。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,以解决现有电子枪聚焦在阳极上的焦斑较大的问题,从而提升电子枪性能。

2、为实现上述目的,本专利技术采用如下技术方案:

3、一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,包括共轴线依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极;

4、所述聚焦极与阳极之间设有光阑结构,光阑结构靠近聚焦极,以用于控制聚焦极输出的电子束直径大小,使电子束主要沿轴线运动。

5、进一步的,所述光阑结构与聚焦极相连形成一个整体,且光阑结构的通孔孔径小于聚焦极的通孔孔径。

6、进一步的,所述光阑结构为孔径光阑。

7、本专利技术提供的一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,通过在聚焦极与阳极之间,且靠近聚焦极位置设置的光阑结构来控制通过的电子束直径大小,有效吸收电子发射过程中离轴过远的边缘电子,从而保证电子流能够沿轴心移动到达阳极,缩小阳极焦斑直径,实现更好聚焦效果。

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【技术保护点】

1.一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,包括共轴线依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,其特征在于:所述光阑结构与聚焦极相连形成一个整体,且光阑结构的通孔孔径小于聚焦极的通孔孔径。

3.根据权利要求1或2所述的一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,其特征在于:所述光阑结构为孔径光阑。

【技术特征摘要】

1.一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,包括共轴线依次设置的阴极、栅极、聚焦极和阳极,其特征在于:

2.根据权利要求1所述的一种使用光阑结构进行辅助聚焦的微焦点电子枪,其特征在于:所...

【专利技术属性】
技术研发人员:王艳于思明张鹏程
申请(专利权)人:电子科技大学
类型:发明
国别省市:

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