一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法技术

技术编号:40554077 阅读:32 留言:0更新日期:2024-03-05 19:14
本发明专利技术公开了一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,包括以下步骤:A、准备金属转移膜片和受体基片;B、将转移激光作用于金属转移膜片,并在受体基片的顶部沉积形成中间结构;C、将中间结构加热至800℃以上,冷却后得到金属转移结构;金属转移膜片包括相互贴合的透明衬底和转移金属层;转移金属层包括铜和银,且转移金属层的含银量为5~95%;转移金属层至少包括两层转移薄膜,且与透明衬底的内表面相互接触的转移薄膜为铜薄膜或铜合金薄膜,铜合金薄膜的含铜量≥70%。本方案提出转移方法,其通过在转移方法中增设热退火步骤,同时对用于金属转移的转移金属层进行层次结构的优化,有利于获得低孔隙率和低电阻率的金属转移结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光诱导转移,尤其涉及一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法


技术介绍

1、激光诱导转移技术是指利用脉冲激光辐照附着在透明衬底上的材料薄膜,激光能量经薄膜吸收后转化为热量,使激光作用区域下的薄膜发生熔化、汽化等现象,随后在汽化压力、表面张力等的综合作用下脱离衬底并形成喷射液滴,最终沉积到受体基片上形成二维或三维转移结构的激光精密加工技术,该技术主要被应用于金属、浆料、聚合物和细胞组织等的转移过程。

2、在一些应用中,激光诱导前向转移技术(laser-induced forward transfer,lift)希望得到电阻较低的金属转移结构,例如一些特殊器件要求接近于铜的低电阻金属转移结构,以确保信号不损失。但限制于现有技术,利用lift技术制备的金属转移结构一般具有较高的电阻,其原因在于:lift技术需要使用纳米或亚微米厚度的金属薄膜,激光辐照后所形成喷射液滴的体积仅数十飞升;而小体积的微液滴在转移过程中的冷却速度较快,使得沉积到受体基片上的微液滴的液相时间极短,无法实现有效的界面填充、冶金结合等过程,导致成型的金属转本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,按照质量百分比,所述转移金属层的含银量为71~73%。

3.根据权利要求1所述的一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,与所述透明衬底的内表面相互接触的转移薄膜的厚度≤100nm。

4.根据权利要求1所述的一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,所述转移金属层包括第一转移薄膜和第二转移薄膜,且所述第一转移薄膜与所述透明衬底的内表面相互接触;...

【技术特征摘要】

1.一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,按照质量百分比,所述转移金属层的含银量为71~73%。

3.根据权利要求1所述的一种用于形成高导电金属结构的激光诱导前向转移方法,其特征在于,与所述透明衬底的内表面相互接触的转移...

【专利技术属性】
技术研发人员:龙江游林境豪罗炳军
申请(专利权)人:广东工业大学
类型:发明
国别省市:

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