一种狭缝式光斑扫描检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种狭缝式光斑扫描检测装置，具体包括安装底座、内筒组件及锁止组件，内筒组件穿设安装底座的贯通孔，与安装底座转动连接；内筒组件内形成有开设透光孔的安装腔体；内筒组件的第一旋转轴线与透光孔的母线重合；安装腔体中安装有检测底座和狭缝底座，检测底座上安装有传感单元和旋转组件，狭缝底座上设有狭缝结构，狭缝结构位于传感单元与透光孔之间；旋转组件的旋转端与狭缝底座连接；第一旋转轴线能穿过狭缝结构，且第二旋转轴线与第一旋转轴线垂直且相交。工作人员可以通过旋转内筒组件，实现狭缝结构与光斑轴线相互平行，以完成不规则光斑的测量工作，且检测底座、旋转组件等结构均位于内筒组件中，具备结构紧凑的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光测量结构，尤其涉及一种狭缝式光斑扫描检测装置。

技术介绍

1、光测量结构包括光谱仪、光度计、衍射仪、干涉仪、光斑分析仪等，光测量结构的主要作用是测量光的特性（如光强、波长、色散、干涉等）。其中，光斑分析仪是一种用于测量激光束质量和特性的仪器，其利用一个移动的狭缝和光电探测器来扫描激光束的横截面，从而获得激光束的尺寸、形状、发散角、峰值位置、功率密度等参数，能够为激光应用提供精确的激光束信息，从而帮助优化激光系统的性能和效率。

2、目前，本
中的光斑分析仪至少包括狭缝结构、微型电机及传感器；在对激光束进行测量时，令激光束穿过狭缝结构并抵达传感器，然后通过微型电机驱动狭缝结构转动，以将激光束的光斑分割成多个区域，实现对激光束的分区检测。上述方案仅适用于规则圆形的激光束检测；当激光束的轮廓呈椭圆形，或者，呈不规则的非对称形状时，上述方案由于狭缝结构相对于激光束的角度不可调，无法保障狭缝与激光束的长轴或短轴平行，因此，需要通过改变夹具夹持角度的方式，来改变狭缝结构的角度，显然该夹具是需要额外设计及布置的，否则无法保障狭缝结构的其他本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，包括安装底座（10）、内筒组件（20）及锁止组件（30），所述内筒组件（20）穿设所述安装底座（10）的贯通孔（101），并与所述安装底座（10）转动连接；

2.根据权利要求1所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，沿所述第二旋转轴线的延伸方向，所述检测底座（40）开设有旋转孔（401），所述旋转孔（401）穿设有旋转轴组件（42），所述旋转轴组件（42）与所述旋转孔（401）转动连接；

3.根据权利要求2所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，所述狭缝底座（50）包括与所述转盘单元（62）固定连接的第一狭缝...

【技术特征摘要】

1.一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，包括安装底座（10）、内筒组件（20）及锁止组件（30），所述内筒组件（20）穿设所述安装底座（10）的贯通孔（101），并与所述安装底座（10）转动连接；

2.根据权利要求1所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，沿所述第二旋转轴线的延伸方向，所述检测底座（40）开设有旋转孔（401），所述旋转孔（401）穿设有旋转轴组件（42），所述旋转轴组件（42）与所述旋转孔（401）转动连接；

3.根据权利要求2所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，所述狭缝底座（50）包括与所述转盘单元（62）固定连接的第一狭缝安装板（52），所述第一狭缝安装板（52）的边沿凸设有第二狭缝安装板（53），所述第二狭缝安装板（53）环绕所述检测底座（40）设置；

4.根据权利要求3所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，所述狭缝结构（51）包括多组扫描槽（511），各组所述扫描槽（511）的槽宽度互不相同；且所述扫描槽（511）包括间隔且延伸方向相正交设置的第一平行槽（501）和第二平行槽（502）。

5.根据权利要求1所述的一种狭缝式光斑扫描检测装置，其特征在于，所述内筒组件（20）包括自所述贯通孔（101）的一端伸入所述贯通孔（101）中的内筒部（21）；于所述贯通孔（101）的另一端，所述内筒部（21）还连接有筒盖部（22）；所述内筒部...

【专利技术属性】
技术研发人员：周其，黄梁才，罗奇桓，陈礼连，
申请(专利权)人：深圳市维度科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：