【技术实现步骤摘要】
本技术属于流体供应，尤其涉及一种化学品流体供应系统。
技术介绍
1、在传统化学品流体供应应用工艺中，化学品在经过雾化器雾化后，由载气提供动能，将雾化后的化学品承载至反应腔内。
2、由于雾化后的化学品在常温或低温的环境中极易凝结回液体，导致反应腔内反应不完全或无法反应，为预防雾化后的化学品运输过程中凝结，一般会在载气管路上加装加热带，通过将载气预加热的方式为雾化后的化学品提供足够的温度，但通过加装加热带的方式预热载气，需要24小时对管路进行加热，既浪费能源，也会增加生产成本。
技术实现思路
1、本技术的目的在于解决上述技术问题之一，提供一种化学品流体供应系统。
2、为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：
3、一种化学品流体供应系统，包括：
4、载气供应装置；
5、雾化器：雾化器包括第一流体入口、第二流体入口和流体出口；
6、涡流器：涡流器包括载气入口和第一气体出口；载气入口与载气供应装置连接，第一气体出口与雾化器的第一流体入口连接；
7、化学品供应装置：连接至雾化器的第二流体入口；
8、反应腔室：连接至雾化器的流体出口。
9、本技术方案解决了使用加热带加热载气能源浪费的技术问题，可以达到无需通电即可在载气通气时自动加热载气的效果。
10、本技术一些实施例中，第一气体出口处安装有调节阀，用于调节涡流器输出的载气的温度。
11、本技术一些实施例中，涡流器还
12、本技术一些实施例中，第二气体出口处安装有调节阀，用于调节涡流器输出的废气的温度。
13、本技术一些实施例中，调节阀包括调节阀体和调整手柄，调整手柄可旋转安装在调节阀体上，以通过转动调整手柄调节第一气体出口输出的载气的温度，或者，调整第二气体出口排出的废气的温度。
14、本技术一些实施例中，进一步包括质量流量控制器，质量流量控制器分别与涡流器的载气入口，以及载气供应装置连接。
15、本技术一些实施例中，进一步包括液体流量检测器，液体流量检测器分别与雾化器的第二流体入口，以及化学品供应装置连接。
16、本技术一些实施例中，进一步包括过滤器，过滤器分别与雾化器的流体出口，以及反应腔室连接。
17、本技术的有益效果在于：
18、1、本技术所提供化学品流体供应系统能够提供具有稳定压力及温度的载气，防止载气承载运输化学品蒸气过程中化学品蒸气因温度降低凝结，有利于反应腔室内的化学品充分反应；
19、2、本技术在载气源与雾化器之间设置涡流器来预热载气，且涡流器在载气通过时可自动工作，通过气体之间的物理碰撞产生热能提高载气自身温度，无需通电，在保证化学反应质量的同时能够有效节约能源，降低生产成本。
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1.一种化学品流体供应系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述第一气体出口处安装有调节阀，用于调节所述涡流器输出的载气的温度。
3.根据权利要求2所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述调节阀包括调节阀体和调整手柄，所述调整手柄可旋转安装在所述调节阀体上，以通过转动所述调整手柄调节所述第一气体出口输出的载气的温度。
4.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述涡流器还包括第二气体出口，用于排出载气加热过程中产生的废气；所述第二气体出口与外界空气连通。
5.根据权利要求4所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述第二气体出口处安装有调节阀，用于调节所述涡流器输出的废气的温度。
6.根据权利要求5所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述调节阀包括调节阀体和调整手柄，所述调整手柄可旋转安装在所述调节阀体上，以通过转动所述调整手柄调整所述第二气体出口排出的废气的温度。
7.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，进一步包括质量流量控制器，所
8.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，进一步包括液体流量检测器，所述液体流量检测器分别与所述雾化器的第二流体入口，以及所述化学品供应装置连接。
9.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，进一步包括过滤器，所述过滤器分别与所述雾化器的流体出口，以及所述反应腔室连接。
...【技术特征摘要】
1.一种化学品流体供应系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述第一气体出口处安装有调节阀，用于调节所述涡流器输出的载气的温度。
3.根据权利要求2所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述调节阀包括调节阀体和调整手柄，所述调整手柄可旋转安装在所述调节阀体上，以通过转动所述调整手柄调节所述第一气体出口输出的载气的温度。
4.根据权利要求1所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述涡流器还包括第二气体出口，用于排出载气加热过程中产生的废气；所述第二气体出口与外界空气连通。
5.根据权利要求4所述的化学品流体供应系统，其特征在于，所述第二气体出口处安装有调节阀，用于调节所述涡流器输出的废气的温度。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：伍至上，张添尚，颜天才，杨列勇，
申请(专利权)人：物元半导体技术青岛有限公司，
类型：新型
国别省市：
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