一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器及其制备方法，包括底盘，所述底盘上设置有若干个压电悬臂梁；每个所述压电悬臂梁上设置有叉指电极；所述压电悬臂梁为上下两层结构，上层为压电材料层，下层为柔性基底材料层。本发明专利技术能拓宽单个压电悬臂梁的带宽，且不同固有频率的压电悬臂梁可以放大其共振带宽区间频率的声音且保持良好的频率均匀性,该声传感器能通过共振效应放大所有人发出的声音，并且输出的电压信号不会由于频率特性的不均匀导致与原声信号差异过大；还有压电悬臂梁结构设计成具有梳状的图案化结构，有助于提高压电悬臂梁的电压输出；且本发明专利技术具有结构紧凑、成本低、不受外界干扰、环保无污染的优点，且可实现微型化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及声学应用及电力领域，尤其涉及一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器及其制备方法。

技术介绍

1、在即将到来的人工智能和物联网时代，由于超互联社会中直观的人机交互，语音用户界面一直吸引着虚拟秘书、智能家电、移动电子和生物识别技术的极大兴趣。声学传感器将模拟声波转换为数字信号，这对于通过机器学习算法实现语音通信至关重要。商用电容式和压电式麦克风通过将谐振频率定位在远超过人声频率之上，呈现出低灵敏度的平坦频率响应。由于灵敏度低的前置放大器，单通道电容式麦克风也具有诸如高功耗和不稳定电路操作的缺点。相比之下，人类可以使用约15000个毛细胞通道检测共振声音，从而实现远距离准确识别。

2、通过模拟人类耳蜗基底膜的多谐振压电声学传感器。使用无机钙钛矿pb(zr0.52ti0.48)o3[锆钛酸铅(pzt)]薄膜开发了一种具有多可调谐频带的高灵敏度柔性压电声学传感器。在语音频率范围内，该压电声学传感器的共振电信号的灵敏度是可以超过电容式麦克风。在声学传感器中，最具挑战性的任务是通过拓宽有限通道的尖锐共振峰来覆盖整个语音频谱。

3、声本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，包括底盘(3)，所述底盘(3)上设置有若干个压电悬臂梁(1)；每个所述压电悬臂梁(1)上设置有叉指电极(2)；所述压电悬臂梁(1)为上下两层结构，上层为压电材料层，下层为柔性基底材料层。

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，所述叉指电极(2)上覆盖一层硅胶。

3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，所述底盘(3)为刚性支座镂空结构。

4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，设置在所述底盘...

【技术特征摘要】

1.一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，包括底盘(3)，所述底盘(3)上设置有若干个压电悬臂梁(1)；每个所述压电悬臂梁(1)上设置有叉指电极(2)；所述压电悬臂梁(1)为上下两层结构，上层为压电材料层，下层为柔性基底材料层。

2.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，所述叉指电极(2)上覆盖一层硅胶。

3.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，所述底盘(3)为刚性支座镂空结构。

4.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，其特征在于，设置在所述底盘(3)上的压电悬臂梁(1)的一端悬空，靠近所述底盘(3)的悬空一端具有梳状的图案化结构。

5.根据权利要求1所述的一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：诸骏，黄江峰，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：发明
国别省市：