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本发明公开了一种高灵敏度柔性压电悬臂梁阵列声传感器及其制备方法，包括底盘，所述底盘上设置有若干个压电悬臂梁；每个所述压电悬臂梁上设置有叉指电极；所述压电悬臂梁为上下两层结构，上层为压电材料层，下层为柔性基底材料层。本发明能拓宽单个压电悬臂梁...
该专利属于浙江工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江工业大学授权不得商用。

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